2022/08/31 14:45
阅读:67
分享:方案摘要:
产品配置单:
伯东公司德国普发Pfeiffer吸枪便携式氦质谱检漏仪 ASM 102 S
型号: ASM 102 S
产地: 德国
品牌: 普发真空
面议
参考报价
联系电话
方案详情:
‍‍
氦质谱检漏仪半导体设备及材料检漏应用
真空设备在半导体行业中的应用愈来愈广泛,例如真空镀膜设备(蒸发,溅射),干法雷设备(ICP,RIE,PECVD),热处理设备(合金炉,退火炉),掺杂设备(离子注入机等)这些真空设备作为半导体技术发展不可或缺的条件必将起到越来越重要的作用。上海伯东德国 Pfeiffer 氦质谱检漏仪现已广泛应用于半导体设备检漏。
半导体设备及材料需要检漏原因:
1、半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,耗时耗力;
2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染,对半导体的特性改变并破坏其性能,因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏;
3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体,经过氦质谱检漏后,在低漏率真空条件下,这些气体不易外泄,设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物,保障工作人员安全和大气环境。
4、芯片封装,一旦出现泄漏,芯片就会失效。
综上所述,上海伯东德国 Pfeiffer 氦质谱检漏仪在半导体行业起着至关重要的作用。
半导体设备及材料检漏方法:
半导体氦质谱检漏有两种方法
1.真空法 2.吸枪法
上海伯东客户某大型半导体厂商使用德国 Pfeiffer 吸枪便携式氦质谱检漏仪 ASM 102 S检漏。
吸枪便携式氦质谱检漏仪 ASM 102 S 主要优势:
高灵敏度:1x10-7 mbar.l/s或0.1 ppm的氦气。高水平的解决方案带来高诊断性和高灵敏性的测试
测试范围广:从0.1 ppm到100 %氦气
氦质谱检漏仪快速反应时间:一秒钟内(使用5 m/16 ft吸枪探头)
快速的恢复时间
杰出的稳定性:氦气的信号稳定性对小型漏点检测十分关键。
氦质谱检漏仪3种示踪气体选择:使氦气(He3)与氢气(H2)检漏成为可能。
通过自动清零(忽略本底)功能使氦气背景信号增强,确保氦气信号始终保持在零以上。
卓越的特性加上电子时代的最新标准
语音分析器增添操作界面的功能
1号与2号灯丝独立连接,方便分别更换。
氦质谱检漏仪便携性:便于运输(干泵系统)、所有附件均内置在一个隔间,并可通过简单连接进行操作。
使用方便:熟悉ASM102S的操作只需简单的几分钟时间:自动校准、自动清零(忽略本底)功能使敏感度更高、氦信号直接读出功能,无须操作者进行释读。
上海伯东主营产品:德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵,干式真空泵,罗茨真空泵,旋片真空泵;应用于各种真空环境下的真空计,氦质谱检漏仪,质谱分析仪以及美国考夫曼公司 KRI 离子源 离子枪 霍尔源,美国 HVA 真空阀门,Polycold 冷冻机等。
下载本篇解决方案:
更多
普发 Pfeiffer 真空计 维修校准服务
上海伯东为普发真空计/真空规IKR TPR BPR 等各种系列提供维修/校准服务(根据 ISO/TS 3567 或DAkkS校准进行工厂校准), 以确保真空测量的准确性.
机械设备
2024/04/16
Hicube 80 classic 用于科研 OEM 高温真空炉系统
真空炉, 即在炉腔这一特定空间内利用真空系统将炉腔内部分物质排出, 使炉腔内压强小于一个标准大气压, 炉腔内空间从而实现负空状态. 上海伯东某科研客户研究方向是特种高温合金, 材料需要在1000℃的环境进行熔合, 在这个温度下空气会影响金属原料熔合的品质, 客户考虑用分子泵来保证炉子的真空度不低于 1E-4Pa, 经过多次技术交流, 客户选择上海伯东 Pfeiffer Hicube 80 classic 分子泵组搭配全量程真空规 PKR 251 来解决需求. 该中型分子泵组在科研、小型工业生产领域应用广泛.
机械设备
2024/01/03
上海伯东 Pfeiffer 旋片真空泵在造纸业中的应用
造纸工业是我国的基础工业之一, 国内纸浆造纸企业数量大, 分布广, 旧的造纸机传动系统多采用直流电动机带动各传动辊轴的传动方式, 可做到无级调速, 但由于碳刷的存在使维护相当麻烦. 目前市场上的真空泵广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业, 但是, 对于造纸用真空泵来说, 由于在使用时可能因真空泵的工作造成较大的振动, 影响了工作环境质量;且在进行安装时, 不利于进行安装, 造成操作的不便, 降低了安装效率. 因此, 针对上述问题, 上海伯东代理 pfeiffer 双级旋片泵 DuoVane抽速快, 体积小, 重量轻, 噪声低, 维修方便, 极限真空度高等优点, 符合造纸用真空泵的要求.
机械设备
2024/01/03
KRI 离子源应用于舞台灯光滤光片镀膜
舞台灯光虽然呈现是五颜六色的, 但光源一般都是白色. 通过在光源前加上特定的光学滤光片, 对光进行“加工”, 反射和透过特定的波段, 来达到不同的色彩变化. 加上颜色滤光片, 让不同颜色的镜片不停切换, 产生不同颜色. 而在光学元件或独立基板上, 镀上或涂布一层或多层介电质膜或金属膜或这两类膜的组合, 即光学薄膜, 可以改变光波之传递特性, 包括光的透射、反射、吸收、散射、偏振及相位改变. 上海伯东美国进口KRI离子源辅助国产镀膜设备镀制舞台灯光滤光片, 透亮且温漂小, 满足客户降低生产成本、提高产品质量的需求, 为国内镀膜厂家进行工艺升级提供新方向!
机械设备
2024/01/03