2022/08/29 15:43
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产品配置单:
上海伯东普发氦质谱检漏仪ASM 340
型号: ASM340
产地: 法国
品牌: 普发真空
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氦质谱检漏仪半导体流量控制阀 MFC 检漏
上海伯东德国普发 Pfeiffer 氦质谱检漏仪成功应用于深圳某半导体设备生产商, 此次共采购 5台德国 Pfeiffer 氦质谱检漏仪,用于流量控制阀 MFC 检漏.
流量控制阀 MFC 主要用于对气体的质量流量进行精密测量和控制. 流量控制阀 MFC 在半导体和集成电路工业, 特种材料学科, 化学工业, 石油工业和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用.
伯东公司客户主要生产流量控制阀 MFC, 由于产品的特殊性. 对密封性要求特别高,达5E-11 Pa m3/s,选用其他氦质谱检漏仪根本达不到实际生产测量要求, 或者生产效率特别低下,经过实际论证, 最终确定选用上海伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪.
伯东公司德国普发 Pfeiffer氦质谱检漏仪 ASM 340 采用触屏设计, 中文操作界面, 使用业界最新工艺设计生产, 具有坚固耐用, 操作简单, 抽气速度快, 数据可靠等特点. 伯东公司协助客户选型并提供完善的售后服务.
氦质谱检漏仪 ASM 340 技术参数:
型号 | ASM 340 W | ASM 340 D | ASM 340 I |
对氦气的最小检测漏率 | 5E-13 Pa m3/s | 5E-13 Pa m3/s | 5E-13 Pa m3/s |
检测模式 | 真空模式和 吸枪模式 | 真空模式和 吸枪模式 | 真空模式和 吸枪模式 |
检测气体 | 4He, 3He, H2 | 4He, 3He, H2 | 4He, 3He, H2 |
启动时间 min | 3 | 3 | 3 |
对氦气的抽气速度 l/s | 2.5 | 2.5 | 2.5 |
进气口最大压力 hPa | 25 | 25 | 5 |
前级泵抽速 m3/h | 油泵 15 | 隔膜泵 3.4 | 不含前级泵 |
重量 kg | 56 | 45 | 32 |
若您需要进一步的了解氦质谱检漏仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式
上海伯东: 罗先生
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