2022/03/22 15:50
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方案摘要:
产品配置单:
上海伯东普发氦质谱检漏仪ASM 340
型号: ASM340
产地: 法国
品牌: 普发真空
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方案详情:
上海伯东某客户是日本半导体设备厂精密零件供应商, 生产的镭射焊接电磁阀用于半导体设备上, 由于半导体工业上用的气体如矽烷 SiH4, 氨气 NH3 等等都是有毒或有腐蚀性的气体, 所以对所用的阀及相关部件, 漏率要求非常严格, 要求电磁阀成品最终漏率低于 5-10 mbar l / s, 经过伯东推荐采用氦质谱检漏仪 ASM 340 完成电磁阀阀芯的泄漏检测.
电磁阀阀芯需要检漏
客户生产的电磁阀阀芯, 经过镭射焊接后, 怀疑焊缝存在微小的泄漏, 单个阀芯最终漏率需要低于 5-10 mbar l / s.
电磁阀阀芯检漏方法:
来料先用放大镜目视检测, 阀芯镭射焊接完成后再目视检测, 最后用氦质谱检漏仪检漏, 漏率值以检漏仪检测的数据作为标准.
一共有5个型号, 月产量 2000-3000 个.
氦质谱检漏仪 ASM 340 特性:
1. 前级泵可选油泵或干泵或不配前级泵, 满足各类应用
2. 高压缩比分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s, 检测时间短
3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的最小检测漏率:
真空模式: 5E-13 Pa m3/s
吸枪模式: 5E-10 Pa m3/s 目前业界公认漏律
4. 最大的进气口压力 25 hPa, 快速进入检漏模式
5. 触摸式人机界面, 7英寸大屏幕高分辨率移动式操作面板, 易操作
6. Usb 端口, 方便数据传输
7. 抗破大气, 抗震动, 降低由操作失误带来的风险性
8. 丰富的可选配件, 如吸枪, 遥控器, 小推车, 旁路装置, 标准漏孔等
氦质谱检漏仪 ASM 340 尺寸图:
若您需要进一步的了解 氦质谱检漏法 详细信息或讨论, 请联络上海伯东.
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