上海伯东德国 Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 推出气密离子源型号, 适合与进气系统组合使用, 并具有低气体消耗和高信噪比的特点. 残余气体分析仪 PrismaPro 模块化设计满足多种应用: 例如工业 ( 冷冻干燥 )和分析仪器, 研发, 半导体生产和真空镀膜技术等.
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 技术参数:
型号 | QMG 250 F1 | QMG 250 F2 | QMG 250 F3 | QMG 250 M1 | QMG 250 M2 | QMG 250 M3 | |
检测器 | 法拉第 Faraday (F) | 电子倍增器/法拉第 C-SEM / Faraday (M) | |||||
质量数 amu | 1–100 | 1–200 | 1–300 | 1–100 | 1–200 | 1–300 | |
四极杆直径/长度 | 6 / 125 mm | ||||||
最小检测极限 F hPa *1,2 | 4X10-13 | 5X10-13 | 7X10-13 | - | - | - | |
最小检测极限 M hPa *1,2 | - | - | - | 3X10-15 | 4X10-15 | 5X10-15 | |
对Ar的灵敏度 F A/hPa*3 | 5X10-4 | 4X10-4 | 3X10-4 | 5X10-4 | 4X10-4 | 3X10-4 | |
最大工作压力 F hPa | 5X10-4 | ||||||
最大工作压力 M hPa | - | - | - | 5X10-5 | 5X10-5 | 5X10-5 | |
对临近质量数的影响*1 | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | |
操作温度 分析 | 200 °C (max. 150 °C when operating with SEM) | ||||||
操作温度 电子 | 5 – 50 °C | ||||||
烘烤温度 分析 | 300 °C | ||||||
连接法兰 | DN 40 CF-F | ||||||
保压时间 | 1 ms – 16 s/amu | ||||||
重量 | 2.5 kg | 3.2 kg |
* 1 开放式离子源
* 2 停留时间 4秒
* 3 与 C-SEM 相比, 具有较高的灵敏度
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上海伯东:罗女士
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