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德国 Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 推出气密离子源型号

上海伯东

2023/09/25 10:13

阅读:68

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上海伯东德国 Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 推出气密离子源型号, 适合与进气系统组合使用, 并具有低气体消耗和高信噪比的特点. 残余气体分析仪 PrismaPro 模块化设计满足多种应用: 例如工业 ( 冷冻干燥 )和分析仪器, 研发, 半导体生产和真空镀膜技术等.
Pfeiffer 普发残余气体分析仪 PrismaPro


Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 技术参数:

型号

QMG 250 F1

QMG 250 F2

QMG 250 F3

QMG 250 M1

QMG 250 M2

QMG 250 M3

检测器

法拉第 Faraday (F)

电子倍增器/法拉第 C-SEM / Faraday (M)

质量数 amu

1–100

1–200

1–300

1–100

1–200

1–300

四极杆直径/长度

6 / 125 mm

最小检测极限 F hPa *1,2

4X10-13

5X10-13

7X10-13

-

-

-

最小检测极限 M hPa *1,2

-

-

-

3X10-15

4X10-15

5X10-15

对Ar的灵敏度 F A/hPa*3

5X10-4

4X10-4

3X10-4

5X10-4

4X10-4

3X10-4

最大工作压力 F hPa

5X10-4

最大工作压力 M hPa

-

-

-

5X10-5

5X10-5

5X10-5

对临近质量数的影响*1

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

操作温度 分析

200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)

操作温度 电子

5 – 50 °C

烘烤温度 分析

300 °C

连接法兰

DN 40 CF-F

保压时间

1 ms – 16 s/amu

重量

2.5 kg

3.2 kg

* 1  开放式离子源
* 2  停留时间 4秒
* 3   与 C-SEM 相比, 具有较高的灵敏度


若您需要进一步的了解残余气体分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东:罗女士


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