关注
已关注
已认证
粉丝量 0
400-860-5168转0727
仪器信息网认证电话，请放心拨打
HVA 真空阀门应用于E-Beam 镀膜机
某知名品牌 Sputtering + E-Beam PVD 镀膜机系统采用 HVA 真空阀门 11000, HVA 真空阀门安装在分子泵口便于泵的检修,同时外系统停机时不破坏系统真空, 只要对泵内部进行破真空即可.
HVA 不锈钢真空闸阀 11000 系列标准技术规格:
阀门材质: | |
- 阀门主体 | 304 不锈钢 |
- 焊接波纹管轴封 | AM - 350 |
阀门密封方式 | |
- 高真空 | 氟橡胶 |
- 超高真空 | 铜垫圈 / 氟橡胶 |
真空: | |
- 压力范围 | 高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar |
- 漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
- 差压关闭 | 1 bar ( 任意位置 ) |
- 开启前最大压力 | ≤ 30 mbar |
烘烤温度（不含电磁阀）: | |
- 弹性体密封阀盖 | 150°C |
- 金属密封阀盖 | -开启温度：200°C -关闭值：150°C |
- 驱动方式 | 手动 60 °c, 气动 60 °c |
机制 | |
手动： | 手摇曲柄 |
电磁阀供电电压 | 120 VAC 50 /60 Hz |
电磁阀可选电压 | 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
电磁阀位置指示器,最大 | 115 VAC |
气动送风： | 80 psig |
使用寿命: 100,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定) | |
公称通径: DN 16 - 800 mm | |
E-Beam 镀膜机设备组成: 系统主要由蒸发室, 电子枪, 进样室 (可选) , 旋转基片加热台, 工作气路, 抽气系统, 真空测量, 电控系统及安装机台等部分组成.
基片在做实验前一般需要做镀前预处理, 镀前预处理的目的是为了得到干净新鲜的金属表面, 为最后获得高质量镀层作准备, 要进行脱脂, 去锈蚀, 去灰尘等工作, 也有客户在 LOADLOCK 腔进行射频反应清洗, 通过使用上海伯东 KRI 离子源将基片的表层打掉, 得到更光滑和均匀的表面.
若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :
上海伯东 : 罗先生
更多
德国普发 Pfeiffer 售后维修保养
厂商
2024.09.06
Pfeiffer 普发分子泵组 HiCube 80 Eco 现货促销
厂商
2024.08.26
上海伯东代理 Pfeiffer 普发检漏仪维修保养服务
厂商
2023.12.28
普发Pfeiffer分子泵维修 | 分子泵启动不了或刚一启动就报警,怎么解决
厂商
2023.12.28
公司名称： 伯东企业（上海）有限公司
公司地址： 上海市浦东新区新金桥路1888号36号楼7楼702室 联系人： 罗小姐 邮编： 200131 联系电话： 400-860-5168转0727
仪器信息网APP
展位手机站