关注
已关注
已认证
粉丝量 0
400-860-5168转0727
仪器信息网认证电话，请放心拨打
KRI 考夫曼射频离子源 RFICP380 成功用于复合磁控溅射沉积装置
某 OEM 系统集成商在搭建系统-复合磁控溅射沉积装置, 采用伯东 KRI 考夫曼射频离子源 RFICP380 作为溅射源.
KRI 射频离子源 RFICP380 技术参数:
射频离子源型号 | RFICP380 |
Discharge 阳极 | 射频 RFICP |
离子束流 | >1500 mA |
离子动能 | 100-1200 V |
栅极直径 | 30 cm Φ |
离子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 15-50 sccm |
通气 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型压力 | < 0.5m Torr |
长度 | 39 cm |
直径 | 59 cm |
中和器 | LFN 2000 |
该复合磁控溅射沉积装置主要包含：
1. 溅射源-KRI 考夫曼射频离子源 RFICP380
2. 清洗源-KRI 霍尔离子源 eH3000
3. 高功率脉冲磁控溅射电源
4. 真空泵- Pfeiffer 分子泵 HiPace700
5. 基台
KRI 离子源的独特功能实现了更好的性能, 增强的可靠性和新颖的材料工艺. KRI 离子源已经获得了理想的薄膜和表面特性, 而这些特性在不使用 KRI 离子源技术的情况下是无法实现的.
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗先生 台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
伯东版权所有, 翻拷必究!
更多
上海伯东代理 Pfeiffer 普发检漏仪维修保养服务
厂商
2023.12.28
分子泵维修|分子泵启动不了或刚一启动就报警,怎么解决
厂商
2023.12.28
伯东代理普发分子泵常见问题
厂商
2023.12.28
伯东代理Pfeiffer 旋片泵日常保养及常见故障
厂商
2023.12.28
公司名称： 伯东企业（上海）有限公司
公司地址： 上海市浦东新区新金桥路1888号36号楼7楼702室 联系人： 罗小姐 邮编： 200131 联系电话： 400-860-5168转0727
仪器信息网APP
展位手机站