上海伯东inTEST便携式冰水机在半导体刻蚀上的应用

随着科技的不断发展，现代超精密制造、加工、测量仪器对工作环境提出了苛刻要求，尤其是以半导体刻蚀为代表的超大规模集成电路制造设备，其高集成度导致常规散热方法远远不能满足要求，同时刻蚀质量、运动部件的定位精度以及测量装置的测量精度等都对环境参数的变化特别是温度的变化尤为敏感。

半导体晶圆在电器元件中起到至关重要的作用，而半导体晶圆在生产制造过程中为了保证半导体晶圆的质量需要对半导体晶圆快速降温，但是由于降温装置直接将温度降到下限值往往容易造成半导体晶圆皲裂。

因此，环境参数尤其是温度的控制成为一项关键问题，而冰水机的出现正好解决了这一难题。

上海伯东inTEST便携式冰水机在半导体刻蚀上的应用

美国inTEST为了满足市场的需求，推出了可为汽车/能源/化学加工/工业和半导体等行业的超低温风冷和水冷式冰水机的新系列。

每个过程冷却器类型的三种型号-W-80水冷和A-80风冷系列-为实现24/7温度控制期间的可靠性而设计。

便携式冰水机在精确的温度下循环传热流体，每种型号都提供各种冷却能力以支持特定的应用，在-80°C时高达2.5kW。

便携式冰水机的温度范围在-80℃~50℃，其温度控制温度性高达±0.5℃，可以精确掌控半导体刻蚀工艺过程中温度，保证半导体刻蚀工艺中对温度的变化尤为敏感的测量精度的准确性，保证半导体晶圆快速降温的同时不会由于降温装置直接将温度降到下限值而造成半导体晶圆皲裂的问题。

上海伯东inTEST便携式冰水机的优势：

1. 冰水机组配备了车载诊断程序，可帮助预测冰水机组的运行状况并避免意外停机

2. 通过选择水冷凝器或风冷冰凝器，该系统可轻松集成到生产设备中

3. 直观的触摸屏界面允许设置热曲线，查看数据和趋势以及记录诊断信息

4. 通信接口包括（以太网，RS232，USB）用于远程冷却器控制。

除了用于半导体刻蚀工艺外，上海伯东美国 inTEST Thermonics 超低温流体冰水机还搭配 MCT IC 自动测试分选机 SH-5000 成功应用于有铅测试引线半导体封装和无铅测试引线半导体封装的测试市场.

上海伯东是美国 Thermonics 超低温冰水机中国总代理.

美国 inTEST 旗下 Thermonics® 提供 -80°C 低温冰水机和 -120°C 超低温冰水机用于冷却工艺过程中的气体和液体. 型号包含低温液体冰水机, 超低温气体冰水机和超低温液氮, 液态二氧化碳制冰机. Thermonics 低温冰水机可选水冷或气冷, 并与各种导热液体兼容. 满足各种超低温工艺冷却需求, 广泛应用于化学, 能源, 半导体, 汽车等领域.