伯东 pfeiffer 普发真空在高精度表面加工的应用

随着科技不断发展，对工件加工的精度要求越来越高，像天文观测台运用的凹透镜，在其生产过程中需要对透镜进行打磨和抛光，达到 150 到 30 Nm 的精度。实现这一精度绝佳方法是使用离子束加工透镜及其他光学元件，这种技术可对外形进行极其准确的修正，从而产生超高质量的表面。

离子束加工有可以精确控制、污染少、加工应力小、热变形小、加工表面质量高等优点。

离子束加工(mM)利用具有较高能量的离子束射到材料表面时所发生的撞击效应、溅射效应和注入效应来进行不同的加工。由于离子束轰击材料是逐层去除原子，所以可以达到纳米级的加工精度。

离子束加工是在真空条件

离子束加工是在真空条件下先由电子枪产生电子束，再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中，使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤，获得具有一定速度的离子投射到材料表面，产生溅射效应和注入效应。由于离子带正电荷，其质量比电子大数千、数万倍，所以离子束比电子束具有更大的撞击动能，是靠微观的机械撞击能量来加工的。

NTG GmbH & Co. KG使用普发真空解决方案

NTG GmbH & Co. KG 总部设在德国黑塞，是使用离子束处理具有纳米公差光学器件和表面领域的行家之一。近 25 年来，该公司已经为各种各样的应用开发出各种规模的离子束加工设备。它的系统不仅应用于天文学，还用于 EUV 光刻技术和传统的光学应用。

NTG 凭借 IBF-2000 的建造树立了纳米技术史上的里程碑。这个世界上最大的离子束加工设备加工应用于天文的大规格透镜（如用于上文提到的天文观测台中）既快速又简单。它可以容纳直径高达2,000 mm、最大厚度为 600 mm 的透镜或光学器件，总重量最高达 1.5 吨。巨大的腔室采用普发真空的真空解决方案快速抽空为必需的 10-6 hPa 最终压力为，然后可以按要求利用离子束加工透镜表面。该过程不会在表面上留下任何痕迹或张力，并且几乎可以加工任何几何形状或材料。

IBF-2000 安装了普发真空的罗茨泵组 CombiLine，由一台单级旋片泵 Hena 300、一台罗茨泵 Okta 1000 以及一台涡轮分子泵HiPace 2300 组成。该真空解决方案使普发真空能够满足客户各种要求。

伯东 pfeiffer 普发单级旋片泵 Hena 300 产品优点:

1.抽速 25 至 1,920 m3/h 完整的单级旋片泵系列

2.集成的油雾分离器用于排出干净的空气

3.紧凑、可靠、功能强大

4.运行可靠、维护简单

5.静音设计、低震动运行

上海伯东 Pfeiffer 罗茨泵 OktaLine 优点

1.完整的罗茨泵产品系列，具有高度的灵活性，能最大程度满足工艺需求

2.风冷模式无需水冷，坚固耐用，设计紧凑

3.高压缩比配合溢流阀实现快速排气

4.磁耦合驱动，免维护，运行可靠，无故障运行时间长

5.风冷结合磁耦合驱动大大降低运行成本

6.得益于溢流阀的整体设计，有效防止泵体温度过高

7.保养间隔时间长，现场维护简单易操作

8.超过50年的专业经验和实力

9.具有过热保护装置

上海伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 2300 优点、

1.高抽速，抽速可达到 2050 l/s

2.分子泵通过保护等级IP54认证

3.高气体吞吐量

4.集成驱动电路

5.通过分子泵控制器，监控操作数据保证分子泵的最大安全性

6.集成水冷系统

7.有防腐蚀款 C 和倒置款 U 供选择。

NTG GmbH & Co. KG对pfeiffer普发真空高度肯定

NTG GmbH & Co. KG 依靠普发真空解决方案已经超过了 15 年。

NTG 总经理 Thomas Franz：“根据光学器件的性质和大小，在我们 IBF-2000 中执行的加工步骤用时一到五十小时。为了能够向我们的客户保证尽可能最快的加工时间，所使用的真空泵能够在非常短的时间内抽空腔室并创造 10-6 hPa 的真空是非常，这一点非常重要。”

Thomas Franz：“我们使用普发真空产品很多年了。这些泵绝对可靠，我们为客户提供的高技术标准它们都可以满足。因此，我们毫不犹豫地再次在我们迄今最大、技术上最先进的设备 IBF-2000 中使用普发真空的真空解决方案。”

上海伯东 Pfeiffer Vacuum 德国普发真空产品授权代理商, 销售维修普发 Pfeiffer 真空产品已余20年. 可协助客户选型并提供完善的售后维修服务. 拥有100% 原装进口维修设备和备品配件, 提供快速维修服务.

伯东已准备就绪,随时都能帮助您为您的特定用途配置理想的真空解决方案.请随时与我们联系！

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