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伯东 Pfeiffer 移动型检漏仪 ASM 390, ASM 392 全新上市！
上海伯东德国 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 asm 390, asm 392 全新上市！asm 39x 系列是针对大型检漏部件设计研发, 检漏仪配有干式非接触式前级真空泵和涡轮分子泵, 完全符合 semi s2 标准. 适用于半导体和平板显示器行业以及其他要求极高的应用. asm 390, asm 392 对氦气的快速抽空能力和较短的响应时间使其成为同类型检漏仪中的佼佼者！
上海伯东 pfeiffer 移动型检漏仪 asm 390, asm 392 与 asm 380 技术参数对比:
型号 | asm 390 | asm 392 | asm 380 |
检测气体 | 4he, 3he, h2 | ||
最小检测漏率 | 真空模式: 1x10-12 mbar l/s | ||
对氦气的抽速 | 10 l/s | 25 l/s,内置2台分子泵 | 7 l/s |
前级泵抽速 | 35 m3/h | ||
进气口最大压力 | 20 mbar | 20 mbar | 15 mbar |
无校准的启动时间(20°c) | 2 min | 2 min | < 4.5 min |
进气口 | dn 40 iso-kf | ||
响应时间 | < 1 s | ||
interface, 选配 | rs-232, i/o, ethernet | ||
噪音 | ≤ 55 db (a) | ≤ 55 db (a) | 53 db (a) |
重量 | 125 kg | 130 kg | 110 kg |
尺寸(lxwxh) | 1072 x 455 x 1025 mm | 1072 x 455 x 1025 mm | 1065 x 455 x 1025 mm |
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