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伯东 Atonarp 适用于半导体过程控制在线质谱仪 Aston™
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3D NAND 工艺通过堆叠存储单元, 提供更高的比特密度, 上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪适用于先进半导体工艺(如沉积和蚀刻)所需的定量气体分析. 沉积应用中: 实时过程气体监控,以驱动自动化工具调整以实现过程控制, 沉积步骤之间的终点检测, 实现层的化学计量工程; 蚀刻应用中: 以 ppb 为单位测量的工艺气体和副产品, 启用端点腔室清洁.3D NAND 工艺概述
工艺步骤
ASTON 优势
ASTON优势
来源: Lam Research: 3D NAND - Key Process Steps (2016) url: https://www.youtube.com/watch?v=hglK1cf3meM
Aston™ 质谱仪优势ppb 级灵敏度的高速采样非常适合高纵横比的 3D 结构耐腐蚀性气体, 坚固紧凑易于集成到工具平台中沉积应用中: 实时过程气体监控,以驱动自动化工具调整以实现过程控制, 沉积步骤之间的终点检测, 实现层的化学计量工程蚀刻应用中: 以 ppb 为单位测量的工艺气体和副产品, 启用端点腔室清洁
Atonarp Aston™ 质谱分析仪技术参数
类型
Impact-300
Impact-300DP
Plasma-200
Plasma-200DP
Plasma-300
Plasma-300DP
型号
AST3007
AST3006
AST3005
AST3004
AST3003
AST3002
质量分离
四级杆
真空系统
分子泵
分子泵隔膜泵
检测器
FC /SEM
质量范围
2-285
2-220
分辨率
0.8±0.2
检测限
0.1 PPM
工作温度
15-35“℃
功率
350 W
重量
15 kg
尺寸
299 x 218 x 331 LxWxH(mm)
400 x 240 x 325 LxWxH(mm)
若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:上海伯东: 罗先生
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企业名称
伯东企业(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310115400032917
成立日期
1995-12-01
注册资本
800
经营范围
公司地址
上海市浦东新区新金桥路1888号36号楼7楼702室
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公司名称: 伯东企业(上海)有限公司
公司地址: 上海市浦东新区新金桥路1888号36号楼7楼702室 联系人: 罗小姐 邮编: 200131 联系电话: 400-860-5168转0727
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