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先进半导体应用的原位过程控制
上海伯东日本 Atonarp Aston™ Impact 和 Aston™ Plasma 是超紧凑型质谱仪, 适用于先进半导体工艺（如沉积和蚀刻）所需的定量气体分析.
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Aston™ 质谱仪解决了关键的原位计量问题
• 提高吞吐量: 端点检测而不是基于时间的流程
• 提高产量: 以十亿分之一的灵敏度测量沉积和蚀刻工艺期间的工艺气体 / 副产物
Aston™ 质谱仪先进工艺的优势
ppb 级灵敏度的高速采样
非常适合高纵横比的 3D 结构
耐腐蚀性气体
坚固紧凑
易于集成到工具平台中
沉积应用中: 实时过程气体监控，以驱动自动化工具调整以实现过程控制, 沉积步骤之间的终点检测, 实现层的化学计量工程
蚀刻应用中: 以 ppb 为单位测量的工艺气体和副产品, 启用端点腔室清洁
Atonarp Aston™ 技术参数
类型 | Impact-300 | Impact-300DP | Plasma-200 | Plasma-200DP | Plasma-300 | Plasma-300DP |
型号 | AST3007 | AST3006 | AST3005 | AST3004 | AST3003 | AST3002 |
质量分离 | 四级杆 | |||||
真空系统 | 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 |
检测器 | FC /SEM | |||||
质量范围 | 2-285 | 2-220 | 2-285 | |||
分辨率 | 0.8±0.2 | |||||
检测限 | 0.1 PPM | |||||
工作温度 | 15-35“℃ | |||||
功率 | 350 W | |||||
重量 | 15 kg | |||||
尺寸 | 299 x 218 x 331 LxWxH(mm) | 400 x 240 x 325 LxWxH(mm) | ||||
Aston™ 质谱仪半导体制造应用
先进的工艺 Sub-fab 安全性, 可持续性和节省优化 |
| 沉积
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若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：
上海伯东: 罗先生
Atonarp过程质谱质谱仪Aston™的工作原理介绍
过程质谱质谱仪Aston™的使用方法?
Atonarp质谱仪Aston™多少钱一台?
过程质谱质谱仪Aston™可以检测什么？
过程质谱质谱仪Aston™使用的注意事项？
Atonarp质谱仪Aston™的说明书有吗？
Atonarp过程质谱质谱仪Aston™的操作规程有吗？
Atonarp过程质谱质谱仪Aston™报价含票含运吗？
Atonarp质谱仪Aston™有现货吗？
企业名称
伯东企业（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310115400032917
成立日期
1995-12-01
注册资本
800
经营范围
伯东企业（上海）有限公司
公司地址
上海市浦东新区新金桥路1888号36号楼7楼702室
客服电话
公司名称： 伯东企业（上海）有限公司
公司地址： 上海市浦东新区新金桥路1888号36号楼7楼702室 联系人： 罗小姐 邮编： 200131 联系电话： 400-860-5168转0727
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