关注
已关注
已认证
粉丝量 0
400-860-5168转0727
仪器信息网认证电话，请放心拨打
核心参数
产地类别： 进口
离子蚀刻机 4 IBE
伯东公司日本原装进口小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究, 干式制程的微细加工装置, 特别适用于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.
离子蚀刻机 4 IBE 技术规格
型号 | 4 IBE |
样品数量尺寸 | 4”φ, 1片 |
离子束入射角度 | 0～± 90 |
考夫曼离子源 | KDC 40 |
极限真空度 Pa | ≦1x10-4 |
Pfeiffer 分子泵抽速 l/s | 350 |
均匀性 | ≤±5% |
伯东离子蚀刻机主要优点
1. 干式制程的微细加工装置, 使得在薄膜磁头, 半导体元件, MR sensor 等领域的开发研究及量产得以广泛应用.
2. 物理蚀刻的特性, 无论使用什么材料都可以用来加工, 所以各种领域都可以被广泛应用.
3. 配置使用美国考夫曼离子源
4. 射频角度可以任意调整, 蚀刻可以根据需要做垂直, 斜面等等加工形状.
5. 基板直接加装在直接冷却装置上, 所以可以在低温环境下蚀刻.
6. 配置公转自转传输机构, 使得被蚀刻物可以得到比较均匀平滑的表面.
7. 机台设计使用自动化的操作流程, 所以可以有非常友好的使用生产过程.
离子蚀刻机通不同气体的蚀刻速率
Hakuto 日本原装设计制造离子刻蚀机 IBE, 提供微米级刻蚀, 满足所有材料的刻蚀, 即使对磁性材料,黄金 Au, 铂 Pt, 合金等金属及复合半导体材料, 这些难刻蚀的材料也能提供蚀刻. 可用于反应离子刻蚀 RIE 不能很好刻蚀的材料. 自 1970年至今, Hakuto 伯东已累计交付约 500套离子蚀刻机. 蚀刻机可配置德国 Pfeiffer 涡轮分子泵和美国 KRI 考夫曼离子源!
若您需要进一步的了解离子蚀刻机详细信息, 请联络上海伯东叶女士,分机109
上海伯东版权所有, 翻拷必究！
日本NS电子束刻蚀4 IBE的工作原理介绍
电子束刻蚀4 IBE的使用方法?
日本NS4 IBE多少钱一台?
电子束刻蚀4 IBE可以检测什么？
电子束刻蚀4 IBE使用的注意事项？
日本NS4 IBE的说明书有吗？
日本NS电子束刻蚀4 IBE的操作规程有吗？
日本NS电子束刻蚀4 IBE报价含票含运吗？
日本NS4 IBE有现货吗？
更多
企业名称
伯东企业（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310115400032917
成立日期
1995-12-01
注册资本
800
经营范围
伯东企业（上海）有限公司
公司地址
上海市浦东新区新金桥路1888号36号楼7楼702室
客服电话
公司名称： 伯东企业（上海）有限公司
公司地址： 上海市浦东新区新金桥路1888号36号楼7楼702室 联系人： 罗小姐 邮编： 200131 联系电话： 400-860-5168转0727
仪器信息网APP
展位手机站