日本电子发布分辨率达53pm球差电镜JEM-ARM300F2

仪器信息网讯 2020年02月14日，日本电子（JEOL Ltd.）总裁兼首席运营官Izumi Oi宣布发布全新原子分辨率分析电子显微镜JEM-ARM300F2（GRAND ARM™2），该电子显微镜将于2020年2月发布。

■ 产品开发背景

在电子显微镜技术领域，电镜学者和工程师们始终在追求分辨率的提高。与此同时，JEOL也在努力提高透射电子显微镜（TEM）的稳定性，并将像差校正技术与这些努力相结合，已成功实现了超高的分辨率。

此前JEOL在2014年发布的JEM-ARM300F（GRAND ARM™）是一款原子分辨率的TEM，致力于实现一流的分辨率。但是，现代TEM的需求不仅包括对硬质材料的表征，还包括对软质材料的表征。在这种情况下，TEM用户希望进一步提高分辨率和分析精度。

此背景下，JEOL开发了一种全新TEM，即JEM-ARM300F2（GRAND ARM™2），可以满足用户的以上需求。这款超高原子分辨率分析TEM具有许多特点。特别是，借助新的物镜极靴“ FHP2”，GRAND ARM™2实现了超高原子分辨率成像与同类最佳大立体角EDS元素分析的最佳组合。

GRAND ARM™2的标准配置包括可减轻外部干扰的外壳，从而提高了仪器的稳定性。

■ 主要特点

1 超高空间分辨率与高灵敏度X射线分析的最佳组合。

新开发的FHP2物镜极靴的特点如下：

1）与之前的FHP相比，FHP2提供了更高的X射线检测效率（1.4sr），是FHP的两倍以上。

2）低光学系数，低Cc系数和低Cs系数使得超高空间分辨率和高灵敏度X射线分析能够在一定范围的加速电压下执行。

（保证的STEM分辨率：300kV时53pm，80kV时96pm）^*

*在配置STEM扩展轨迹像差（ETA）校正器时

2 用于物镜的宽间隙极片（WGP）可以进行超高灵敏度的X射线分析。

该磁极片在上磁极和下磁极之间具有较大的间隙，具有以下优点：

1）WGP可使大面积的SDD（硅漂移检测器）靠近样品，从而实现超高灵敏度的X射线分析（总立体角为2.2 sr）。

2）WGP可以容纳更厚的样品架，从而可以进行各种类型的原位实验。

3 JEOL开发的球差（Cs）校正器已集成到显微镜柱中，并提供了超高的空间分辨率。

1）结合FHP2，GRAND ARM™2在300 kV时的STEM分辨率达到53 pm。

2）结合WGP，GRAND ARM™2在300 kV时的STEM分辨率达到59 pm。

3）JEOL COSMO™（校正系统模块）使快速，轻松执行像差校正成为可能。

4 标配冷场发射枪（Cold-FEG）。

GRAND ARM™2配备了Cold-FEG，可从电子源提供较小的能量散布。

5 减轻外部干扰的外壳

这种新外壳是减少外部干扰（例如气流，室内温度变化和噪音）的标准。

■ 主要规格