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日本电子场发射俄歇电镜升级

日本电子

2005/03/23 09:44

阅读:1407

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日本电子是世界上最大的电子光学供应商,50年来一直为世界理工科和工业发展提供最尖端的电子光学分析设备。
今年,日本电子场发射俄歇电镜升级为JAMP-9500F.主要特点:
1)空间分辨率大大提高,
2)二次电子分辨率达到3nm,
3)俄歇分析时的束斑尺寸为8nm,
4)能量分辨率达到0.05%-0.6%,
5)可以在数十个纳米范围内进行化学状态分析,
6)可以进行非导体材料的俄歇分析


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