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采用光干涉法同时测定光伏电池片栅线的线宽和线高，以及光伏电池工艺研发、生产共同面
临的3D特征尺寸。
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光纤式光伏电池片膜厚测试仪
光源型 | 波长范围(nm) | 平均寿命(Hour) |
白色LED | 430～700 | ＞50,000 |
卤钨灯 | 400～900 | 10,000 |
重氢、卤素 | 220～900 | 1,000 |
成像光伏电池片栅线轮廓测试仪
物镜 | 实际视野(mm) | 光学分辨率(um) | 动作距离(mm) |
1x | 6.6 x 8.8 | 11 | 11 |
5x | 1.32 x 1.76 | 2 | 34 |
50x | 0.132 x 0.176 | 0.5 | 13 |
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