高精度纳米定位平台的应用
nPoint高精度纳米定位和位移控制平台可在微、纳米范围内,快速实现纳米级精度的位移控制及精确定位。可在三维空间任一轴向、二个轴向和三个轴向的六个自由度上精确定位,也可按预先设定的角度完成倾斜或旋转方向定位;各个自由度的定位互不耦联影响;同时借助闭环回路控制系统和计算机软件操作,使定位装置真正实现了全方位精确的纳米位移控制和
定位。
技术参数范围: 特点:
运动范围:50um~500um 六自由度上任意准确定位
传感器:电容传感器 闭环回路控制系统
分辨率:0.1nm~1nm 高的准确度
共振频率:300Hz~4000Hz 高速定位
滞回度:≤0.02% 高精度定位
线性度:≤0.05% 线性度好