核心参数
仪器种类: 落地式/传统大型
电子枪种类: 热场发射
产地类别: 国产
二次电子图象分辨率: 1.5nm@1kV, 0.9nm@15kV
放大倍数: 10x - 1,000,000x
加速电压: 0.02-30KV
背散射电子图像分辨率: 2.5nm@1kV, 1.5nm@15kV
样品室可拓展接口数量: 27个
样品台: 五轴电机驱动,X=140mm,Y=140mm,Z=60mm,R=360°,T=-10°~80°
检测器系统: In-Column SE探测器、ET-SE探测器、插入式BSE探测器(选配)、STEM探测器(选配)、红外CCD主腔室监控-3路
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