Attolight Allalin 快速定量阴极发光 SEM-CL 系统中文样本

2023-06-27 10:36

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资料摘要：

Allalin是一种纳米分辨率光谱仪器，基于一种被称为定量阴极发光的突破性技术，它将光学显微镜和扫描电子显微镜（SEM）集成到一个系统中。Allalin允许“不折不扣”的大视场快速扫描同时获得扫描电镜成像与高光谱或全光谱CL图像。该系统的构建是为了在不牺牲扫描电镜（SEM）性能的前提下获得最佳的阴极发光性能：光学显微镜和扫描电镜的物镜被周密的整合在一起，使它们的焦平面相互匹配；光学显微镜以亚微米精度加工，与传统的CL技术相比，具有高数值孔径（N.A.0.71）的消色差、高数值孔径（N.A.0.71）检测，在大视场（高达300 μm）下具有优越的光子收集效率。因此，定量阴极发光，其中与仪器系统相关的组件所引入的误差可以从本质上被排除掉，这使阴极发光首次变的可信。

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