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北京正通远恒科技有限公司

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公司简介

资质荣誉

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当前位置： 北京正通远恒 > 原子层沉积设备 > 原子层沉积系统（ALD) P-300 BV

原子层沉积系统（ALD) P-300 BV

品牌： Picosun
产地： 芬兰
型号： P-300 BV
样本： 下载
报价： ¥100万 - 200万

核心参数

产地类别： 进口

衬底尺寸： 最大300mm晶圆/单片

工艺温度： 50 - 450 °C

前驱体数： 4根独立源管线，最多加载8个前驱体源

重量： 820 kg

尺寸(W x H x D)： 160 cm x 80 cm x 240 cm

均匀性： >99%

产品介绍

PICOSUN® P-300BV ALD系统是专为生产LEDs、分立器件和MEMS器件（如打印头、传感器和麦克风）而设计的。

衬底尺寸和类型

200mm硅片25片/批次

150mm硅片50片/批次

100mm硅片75片/批次

工艺温度50-450℃
基片传送选件气动升降（手动装载）
半自动装载，用线性装载器实现
全自动转载，用工业机器人实现
前驱体液态、固态、气态、臭氧源
前驱源余量传感器，并提供清洗和装源服务
4根独立源管线，最多加载8个前驱体源
重量400 + 300 kg
尺寸 (W x H x D)
149 cm x 191 cm x 111 cm
选件PICOFLOW™ 扩散增强器，N2发生器，尾气处理器，定制设计，与工厂软件连接服务。
工艺Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2, AlN, TiN, and metals


售后服务
产品货期： 90天
整机质保期： 1年
培训服务： 安装调试现场免费培训
维修响应时间： 2天内
工商信息

企业名称

北京正通远恒科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

信用代码

110105001988017

成立日期

2001-03-09

注册资本

30

经营范围

科技产品的技术开发、技术培训、技术服务、技术咨询;信息咨询(不含中介服务);市场调研;财务咨询;零售仪器仪表、机械设备、电器设备、化工产品(不含一类易制毒化学品)、建筑材料、五金交电、计算机及配件、百货;承办展览展示;组织文化艺术交流。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)

联系方式

北京正通远恒科技有限公司

公司地址

北京市朝阳区胜古中路2号院7号楼A座611室

客服电话

400-860-5168转0338
北京正通远恒科技有限公司为您提供Picosun原子层沉积系统（ALD) P-300 BV，Picosun P-300 BV产地为芬兰，属于进口原子层沉积设备，除了原子层沉积系统（ALD) P-300 BV的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多原子层沉积设备,北京正通远恒客服电话400-860-5168转0338，售前、售后均可联系。
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公司名称： 北京正通远恒科技有限公司

公司地址： 北京市朝阳区胜古中路2号院7号楼A座611室 联系人： 邮编： 100029 联系电话： 400-860-5168转0338

主营产品：

分子互作分析仪 纳米压痕仪、划痕仪 其它电化学仪 外延系统 其它无损设备 扫描电镜（SEM） 激光拉曼光谱(RAMAN) 爆炸品检测专用仪器 离子检测仪 原子层沉积设备 物理气相沉积设备

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