小型二次离子质谱仪

Millbrook公司的MiniSIMS在一个紧凑的台式仪器中开发了SIMS技术。仅需一个标准的主电源，它可以放置在任何最需要放置的位置。完全的计算机控制使得MiniSIMS操作简便并且可以自动采集数据。因特网的远距离控制意味着可移动的SIMS是目前的理想选择。

MiniSIMS使得很多情况下室内表面分析仪器成为一种经济适用的解决方案。这种分析方法比求助于SIMS分析实验室的合同测试更快，更方便。低成本和维护费用，以及高样品量，保证了单位样品的总成本比使用传统的SIMS仪器减少了90%。

MiniSIMS系列的入门级仪器是MiniSIMS alpha。这种热销的仪器，非常适合测定样品的特定性质。按照已知标准进行质量监控，或者研究以及工艺优化中的多样品比较分析方面，该仪器非常高效。这种情形下，预置的分析条件意味着很多不同的操作者能够获得重复性的数据。通常每个样品的分析时间短至5分钟。

飞行时间质谱仪的引入使得MiniSIMS的性能跃升到一个新的水平。对未知样品的测定像测量已知组成那样简单，该功能使得MiniSIMS ToF尤其适合研究性应用。在失效分析中，比如污染鉴定，附加的细节能够准确地查明问题的确切原因。

MiniSIMS一个主要的特征是对表面的局部区域进行原位分析（静态SIMS）。仅需数秒（而非数分钟），扫描聚焦探测光束（成像SIMS）生成一个表面成分图。随后的分析通过顺序的刻蚀表面而显示表层下面变化的组成（动态SIMS）。所有这些可在只需少量或不需任何样品制备的情况下操作成功，并且灵敏度高，分析时间最少。

MiniSIMS另外一个主要特征是其对操作人员的要求-----实验室技术人员，不需要专业的技术人员进行维护和管理。

应用范围及优势：

单层表面信息
全元素检测
有机物质鉴定
高灵敏度分析
快速成分影像
薄膜纵切片
台式设计、移动便捷
经济实用、操作简单