关注
已关注
已认证
粉丝量 0
400-860-5168转0338
仪器信息网认证电话，请放心拨打
AC-系列臭氧发生器采用顶尖的技术在非常狭小的空间内利用无声电晕放电产生臭氧。它属于陶瓷片臭氧发生器，
基于工业级产能需求，可以产生非常高浓度的臭氧。产生的臭氧浓度可以超过200g/Nm3或14%w/w。它在同级别产品中体积最小，却是市场上产生臭氧浓度最高的。
AC-系列臭氧发生器在ALD应用这个领域非常有用，因为其产生的臭氧可以作为ALD需要的氧化性前驱体。采用臭氧可以很大程度地降低成本，因为无需运输，存储或者处理所使用的氧化剂。ALD领域使用臭氧的优点如下：
更高产能
更低成本
更精确厚度控制
更好的均匀性
AC-系列臭氧发生器可以安装在19英寸的支架框内，也可安装在凹凸不平墙面上的不锈钢防溅式支架内，此支架是专门为苛刻的工业环境需求所设计。
AC-系列臭氧发生器简便易用，每个发生器均配有内置的控制器，可以让使用者原位操作或远程操作。原位操作模式，使用者通过前面板的旋钮调节发生器功率达到自己所需的臭氧浓度。远程操作模式，使用者可以远程打开与关闭发生器，也可远程调节功率以达到自己所需的浓度。
AC-系列臭氧发生器采用空气冷却，无需水冷。内置的强制空气冷却系统可以高效地把空气循环起来，以达到冷却臭氧发生器及电源。唯一的维护费用就是定期更换空气滤芯组件，这使得本产品在同等级的市场具有最低的成本效率。
应用:
原子层 沉积（ALD）
表面清洁
光阻去除
有机杂质去除
金属污染去除
杀菌
化学搅拌
水循环
扩大试验研究
其它领域
工业:
存储器
微处理器
商用集成电路
复杂芯片SOC
研究实验室
MEMS
其它应用
特点:
无声电晕放电
需要氧气
空气冷却
防溅不锈钢支架（选项）
紧凑型
低成本
企业名称
北京正通远恒科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110105001988017
成立日期
2001-03-09
注册资本
30
经营范围
科技产品的技术开发、技术培训、技术服务、技术咨询;信息咨询(不含中介服务);市场调研;财务咨询;零售仪器仪表、机械设备、电器设备、化工产品(不含一类易制毒化学品)、建筑材料、五金交电、计算机及配件、百货;承办展览展示;组织文化艺术交流。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
北京正通远恒科技有限公司
公司地址
北京市朝阳区胜古中路2号院7号楼A座611室
客服电话
公司名称： 北京正通远恒科技有限公司
公司地址： 北京市朝阳区胜古中路2号院7号楼A座611室 联系人： 邮编： 100029 联系电话： 400-860-5168转0338
仪器信息网APP
展位手机站