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公司简介
资质荣誉
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核心参数
产地类别: 进口
定位检测噪声: 0.03nm
样品尺寸: 200*200*20mm
样品台移动范围: 200*200mm
仪器简介:
Park XE-15具有全面的样品兼容性。其多种样品台设计,为不同尺寸、形状、数量的样品提供了方便可靠的测试环境。解耦合的闭环XY扫描器,消除了弯曲效应误差,提供了无与伦比的线性度。真正的非接触扫描模式,扩大了适合样品种类,同时极大地延长了探针寿命,降低了使用成本。
技术参数:
扫描器
XY扫描器
柔性制导闭环控制单模块扫描器
扫描范围100μm*100μm(可选50μm*50μm)
平面偏移度:<2nm(40μm*40μm扫描)
Z扫描器
柔性制导强力扫描器
扫描范围12μm(可选25μm)
共振频率:>5kHz
表面成像噪声:0.03nm
样品台
样品台种类:16位点样品台/150mm直径真空吸附台(可选200mm直径真空吸附台)
样品尺寸: 150mm*150mm*20mm
样品重量:最大500g
样品台移动范围:150mm*150mm(可选200mm*200mm)
主要特点:
一、创新的多位点样品台设计,提供工作效率
●一次操作最多可以扫描16个样品
●样品安放简单,扫描迅速
●极大提高了数据的精确性和重复性
二、支持超大样品,满足业界发展需要
●最大支持200 mm晶圆,满足用户目前和今后的需要
●满足半导体相关用户实际需要的专门设计
三、丰富的功能模式选择
●完善支持各种SPM功能
●支持多种选配测量模式
●支持各种可选配件,扩展性能优越
企业名称
天美仪拓实验室设备(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91310000MA1J3R217H
成立日期
2019-09-05
注册资本
1000
经营范围
仪器仪表、机械设备及器具、电子设备、医疗器械Ⅰ类及上述商品的零配件的批发(涉及配额许可证管理、专项规定管理的商品按照国家有关规定办理);租赁仪器仪表;批发、零售II类医疗器械;售后服务;货物进出口、技术进出口、代理进出口;批发、零售第III类医疗器械。(批发、零售第III类医疗器械以及依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动。)
天美仪拓实验室设备(上海)有限公司 中国总部
公司地址
上海市松江区民益路201号16幢
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公司名称: 天美仪拓实验室设备(上海)有限公司 中国总部
公司地址: 上海市松江区民益路201号16幢 联系人: 天美 邮编: 201612 联系电话: 400-876-8980
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