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超声波清洗技术在液晶面板制造过程中的应用

2010-01-12 20:15

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一、LCD制造过程中超声波清洗的应用 液晶显示器LCD的应用越来越广泛,由于LCD显示基板上有大量的微米级精细线路与控制用晶体管。因此,LCD显示屏制造过程的清洗是精密清洗,清洗技术要求之高、洁净度要求之高是业内所公认的,为了提高清洗的能力与技术水平,大家都想尽一切化学与物理的方法来进行,有药液清洗、刷洗、高压汽水清洗。超声波清洗技术也得到了广泛应用。主要有下列使用场合: 1、成盒前的清洗:包括涂光刻胶前的清洗、退膜清洗、涂PI/TOP前的清洗。ITO玻璃在入厂运输及生产过程的运输中很容易被灰尘、有机物、油脂等杂质污染,因此在对玻璃表面进行涂层(光刻胶、PI及TOP)前,需要经过多道工序的清洗后才能进行涂布,这些清洗过程通常采取如下工艺: 入口段 →化学喷淋→ 化学刷洗→ DI水喷淋→浸泡式超声波28KHZ清洗 → DI水喷淋→高压(气)水喷淋→兆高频超声波喷淋1MHZ→FINAL DI水喷淋→ 气刀吹干 →出口段

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