涡旋无油真空泵技术的现状与发展趋势（二）

众所周知，涡旋无油真空泵(OilfreescrolIvacuumpump)与普通油真空泵相比具有显著的特点。下面以普通旋片真空泵为例，说明其差别： 表1涡旋无油真空泵与普通直联式旋片真空泵技术指标的对比 技术指标旋片式油真空泵涡旋无油真空泵 抽速(l/s)2.0，4.0，82.0，4.4，8.7 极限真空度(Pa)0.61.0 使用寿命(h)4000040000 大修间隔(h)800010000 冷却介质油空气 噪声(dB)7560 质量(kg)7041 电机相数31 电压(V)220/380220 功率(kw)1.10.6 转数(r/min)14001437 4、涡旋无油真空泵的优点及其能给用户解决的问题 4.1涡旋无油真空泵性能优越 涡旋真空泵的主要优点是间隙晓、泄漏少，具有较高的压缩比，在较宽的陋力范围内有稳定的抽速，工作压力范围宽；由于压缩腔容积的变化市连续的，因而驱动扭矩变化小，功率变化小，振动噪声低，可靠性高。这是其它类型的干式真空泵所不具备的。 4.2涡旋无油真空泵解决了污染与振动等基础、共性问题 由于普通旋片油泵的漏油、噪声、返油污染、高能耗以及振动等问题给用户造成不良影响，如生物制品行业与半导体行业的油蒸汽污染与工艺系统返油阀题。真空镀膜设备的镀膜工艺中，在20~40Pa真空条件下镀膜时，如果应用普通旋片机械真空泵作为前级真空泵将对镀膜工艺设备造成污染，影响成膜量。半导体晶片制造工艺当中使用油泵与使用干泵相比，成品率存在509l左奋涸的差距，并且排出的油雾蒸汽对环境也有污染。科学仪器行业尤其是在分析试仪器行业，采用油泵对测试结果将造成不良影响。大型同步辐射光束线上采涸用涡旋无油真空泵作为前级真空泵的作用也相当明显。另外涡旋无油真空泵消酒除了普通油泵的漏油给用户带来的环境污染与烦恼。 4.3涡旋无油真空泵使系统制造与运行成本降低 为防止普通旋片油真空泵对真空系统的返油污染，需要在抽气系统中加冷阱捕获油分子；系统运行过程当中还需要定期清洗除油；有的需要定期更换真空泵油。采用涡旋无油真空泵第一不需要加冷阱之类捕油机构、第二不需要换真空泵油、第三振动更小、运行更平稳、第四能耗降低、第五重量更轻、第六突破了油泵使用范围的限制，上述优点使涡旋无油真空泵成为普通旋片油真空泵的更新换代产品。