赛默飞ELEMENT GD Plus辉光放电质谱仪

在《国家集成电路产业发展推进纲要》和国家集成电路产业投资基金的推动下，中国半导体市场已成为全球增长引擎。半导体行业的生产良率与经济效益息息相关，而单晶硅锭和晶圆的品质、生产过程中使用的清洗剂和刻蚀剂、封装材料、环境洁净度等都可能会影响生产良率。同时，在当前对环境保护要求日益严苛的大背景下，工业废水等环保问题也成为半导体及相关企业越来越重视的关注点。

ELEMENT GD PLUS GD-MS 将具有优越属性的不同部件集成在单一仪器中，提供了无与伦比的速度、灵敏度和准确性。ELEMENT GD PLUS GD-MS 离子源和样品夹的设计使换样更容易，适于常规操作，提高样品分析通量。 ELEMENT GD PLUS GD-MS 采用先进的高分辨率扇形磁场技术。GD-MS 的主要限制是存在等离子体中基体元素及放电气体与其它核素聚合物的干扰。因此，通过高分辨将分析物与大部分干扰分开是准确测定的先决条件。质量校准的高度精密、准确性对于快速分析、准确跳峰而言至关重要。ELEMENT GD PLUS 具有全自动质量锁定程序，因此质量校准将不再是分析时的常规步骤。

赛默飞世尔科技作为科学服务行业的领导者，凭借其离子色谱和电感耦合等离子体质谱和辉光放电质谱的技术 实力，不断开发各类半导体材料中痕量无机阴离子、阳离子和金属离子的检测方案，为半导体集成电路制造行 业提供多种解决方案，在晶圆表面清洗化学品、晶圆制程化学品、晶圆基材和靶材等各方面，全方位满足半导 体生产对相关材料的质量要求，从完整制程出发提供全面可靠的分析技术，促进行业整体质量水平的提高，帮 助半导体客户建立起完整质量控制体系，促进中国半导体行业与国际水平接轨。

随着2015版《药典》的问世，中药材中有毒元素及元素形态得到了更高度的认识。近期市场上出现大量的报道涉及到在冬虫夏草相关中药中砷元素超标的问题。而砷元素按照其形态不同，其毒性也完全不同，就目前已知的砷形态毒性排序：As（Ⅲ）＞ As（V）＞ DMA ＝ MMA ＞ AsC ＞ AsB。更加复杂形态的例如砷糖等，均为无毒性。因此仅测定砷元素的总量并不能代表砷元素的毒性， 国标中也有规定，要求分析食品样品中的无机砷[1]。本文采用两种不同的前处理方式分别测定冬虫夏草中的总砷及无机总砷的含量，两组数据进行对比，探讨了总砷及无机砷的差异。采用微波消解前处理方式，对冬虫夏草全消解后，采用ICP-MS测定总砷含量；配制人工肠液对冬虫夏草中不同砷形态进行提取，采用IC-ICPMS联用测定测定无机总砷的含量，采用人工肠液模拟人体吸收过程，则更有利于对研究中药中所含砷形态在人体中的吸收情况。