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掩模测量
天准为掩模生产过程中的测量提供高精度、高重复性系统，适用产品包括但不限于COG和PSM。
针对掩模来料测量，天准提供长距离工作物镜。测量包括掩模版上CD的分布，同时系统提供可见光和紫外光照明，均可用于反射和透射模式。紫外光照明可用于测量最小300nm的特征尺寸，3sigma重复性通常在纳米范围内。
Spector主要特点
①Mask CD测量
②最大支持14寸掩模以及定制形状
③可配置可见光、紫外光，支持穿透和反射光
④SECS/GEM
⑤长期维护成本低，稳定可靠
产品货期: 30天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
天准掩模检查设备Spector的工作原理介绍
掩模检查设备Spector的使用方法?
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天准Spector有现货吗？
