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概述:采用四端测量法适用于生产企业、高等院校、科研部门,实验室;是检验和分析导体材料和半导体材料质量的工具。可配置不同测量装置测试不同类型材料之电阻率。液晶显示,温度补偿功能,自动量程,自动测量电阻,电阻率,电导率数据。恒流源输出;选配:PC软件过程数据处理和标准电阻校准仪器,薄膜按键操作简单,中文或英文两种语言界面选择,电位差计和电流计或数字电压表,量程为1mV¯100mV,分辨率为0.1%,直流输入阻抗不小250μm的半球形或半径为50 μm~125 μm的平的圆截面。探针(带有弹簧及外引线)之间或探针系统其他部分之间的绝缘电照至少为10°Ω.探针排列和间距,四探针应以等距离直线排列,探针阀距及针突状况应符合GB/T 552 中的规定。R=1(R +R, )…………………………(3)R2=与(R; +R,)计算试样平均直径D与平均操针间距S之比,由表3中查出修正因子F,也可以见GB/T11073中规定的几何修正因子。 9.4计算几何修正因子F,见式(4)。对于薄层厚度小于3μm的试样,选用针尖半径为100μm250μm的半球形探针或针尖率径为50μm~125 pm平头探针,针尖与试样间压力为0.3 N¯0.8Ni对于薄层厚度不小于3μ的试样,选用针尖半径为35μm100 pm 半球形操针,针尖与试样间压力不大于 0.3 N.Rr=V; R,/V=V/I,…… …
标准要求:
该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。利用电流探针、电压探针的变换,进行两次电测量,对数据进行双电测分析,自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响,它与单电测直线或方形四探针相比,大大提高精确度,特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。
产品货期: 15天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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