钢研纳克高分辨场发射扫描电镜SEM FE-1050T

仪器种类： 落地式/传统大型

电子枪种类： 热场发射

产地类别： 国产

二次电子图象分辨率： ≤0.9nm（15kV），≤1.3nm(1KV)

放大倍数： ×3 ~ ×1,000,000

最大样品尺寸： 样品室大小：内部直径≥230mm

样品室可拓展接口数量： ≥12个

样品台： 五轴马达控制全自动样品台：具有接触报警与自停功能； 样品台移动范围：（1）X≥130mm；Y≥130mm；Z≥95mm； （2）样品台旋转：360°连续；样品台倾斜角度：－80°～＋80°；

检测器系统： 至少配置二次电子探测器、镜筒内二次电子探测器和可伸缩闪烁体式背散射电子探测器，三个探测器可以同时成像，还可以任意两个任意比例混合成像； 配置红外CCD相机； 配置束流测量的皮安计，提供防碰撞功能