钢研纳克低电压超高分辨场发射扫描电镜SEM FE-2050T

仪器种类： 落地式/传统大型

电子枪种类： 热场发射

产地类别： 国产

二次电子图象分辨率： ≤0.7nm(15kV)，≤1.2nm(1kV)，1.5nm(500V)

放大倍数： 2～2,000,000倍

加速电压： ≥50V - 30kV（落点电压）

最大样品尺寸： 样品室：宽度≥340mm，深度≥315mm

样品室可拓展接口数量： ≥18个

样品台： 样品台：5轴优中心马达驱动样品台； 样品台移动范围：X≥130mm，Y≥130mm，Z≥95mm； 样品台T（双向倾斜）：≥-80°～+80°； 样品台R（旋转）：360°（连续旋转）

检测器系统： 样品室内E-T型二次电子探测器； 样品室内电动可伸缩背散射电子探测器； 镜筒内配备具有能量角度选择多功能探测器； 镜筒内配备正光轴向探测器； 样品室内配有红外CCD摄像头； 可选低真空气体二次电子探测器（水蒸气下使用）