产地类别: 国产
SR系列膜厚传感器提供快速、稳定的膜厚在线量测解决方案。
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一、产品概述
SR系列膜厚传感器提供快速、稳定的膜厚在线量测解决方案。
二、产品特点
■ 操作简便、小巧易安装;
■ 高速、高分辨率;
■ 多款定制测头满足多场景需求;
■ 宽光谱涵盖多膜厚需求应用;
■ 适用在线膜厚量测与质量评估;
■ 宽光谱实现多应用场景需求。
三、测量原理
技术参数
*1:用玻璃的折射率1.5计算
*2:用硅的折射率3.67计算
*3:测量500 nmSiO2厚度的1σ
*4:测量厚度大于30µm的Si膜的1σ
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 一年内不限次数培训
免费仪器保养: 3月一次
保内维修承诺: 免费更换部件(易损易耗件除外)
报修承诺: 若远程无法解决,承诺24小时内到客户现场进行维修
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