SUPEC 2050 半导体AMC综合监测系统
SUPEC 2050 半导体AMC综合监测系统

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谱育科技

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SUPEC 2050

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中国大陆

  • 白金
  • 第7年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

产品概述SUPEC 2050半导体AMC综合监测系统由采样预处理子系统、气体监测子系统以及辅助设备和数据采集与处理子系统等构成:

采样预处理子系统:由多路样气传输管、采样泵和分布式多通道采样仪组成,可以对多个点位进行不间断实时采样,并通过管路切换实现不同采样点样气的循环监测。

气体监测子系统:由多个分析仪组成,可以根据不同的监测需求进行定制化的搭配,实现不同物质的在线监测。

辅助系统:由集成机柜和校准单元组成,可以保证整套系统的正常运行,校准单元可以定期对系统进行校准,保证监测数据的稳定和准确。

数据采集与处理子系统:可以监控查询所有测量信息和系统工作状态信息,并将监测数据传输至企业的中控平台。


性能优势

采样覆盖面广

多点位同时采样,覆盖面广,成本低,可支持200m点位监测,多点位形成网格化分析体系。

轮巡速度快

系统具备预抽功能,节约管路传输等待时间。

自由配置通道数量

系统可扩展,可自由配置采样点位数量。

样品间干扰小

具备反吹功能.确保各路样品互不影响,低残留。

样品超标留样

可搭配超标留样,系统可搭配苏玛罐留样系统,当点位污染超标时自动留样。


应用领域

半导体行业检测




售后服务承诺

保修期: 标准一年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 购买新仪器或购买老仪器延保服务享一次公司免培训费的集训,1-2个名额

免费仪器保养: 不定期顺路上门回访

保内维修承诺: 耗材易损件不保修,非客户人为操作原因的备件故障免费更换

报修承诺: 热线7*24小时开通,接到报障 2 小时内给予处理方案

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