产地类别: 国产
测量原理: 电容式
台阶高度重复性: 5Å
垂直方向分辨率: <0.01Å(档位为13μm时)
看了台阶仪的用户又看了
NS系列台阶仪测试薄膜厚度,可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。其采用LVDC电容传感器,具有的亚埃级分辨率和超微测力等特点使得其在ITO导电薄膜厚度的测量上具有很强的优势。
当触针沿被测表面轻轻滑过时,由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。
针对测量ITO导电薄膜的应用场景,CP200台阶仪提供如下便捷功能:
1)结合了360°旋转台的全电动载物台,能够快速定位到测量标志位;
2)对于批量样件,提供自定义多区域测量功能,实现一键多点位测量;
3)提供SPC统计分析功能,直观分析测量数值变化趋势;
NS系列台阶仪测试薄膜厚度对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求,样品适应面广,数据复现性高、测量稳定、便捷、高效,是微观表面测量中使用非常广泛的微纳样品测量手段。
1.出色的重复性和再现性,满足被测件测量精度要求
线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率,13um量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差,使得产品能够扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。
2.超微力恒力传感器:(1-50)mg可调
测力恒定可调,以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制,实现无接触损伤的精准接触式测量。
3.超平扫描平台
系统配有超高直线度导轨,杜绝运动中的细微抖动,提高扫描精度,真实反映工件微小形貌。
4.顶视光学导航系统,5MP超高分辨率彩色相机
5.全自动XY载物台, Z轴自动升降、360°全自动θ转台
6.强大的数据采集和分析系统
NS系列台阶仪测试薄膜厚度软件包含多个模块,为对不同被测件的高度测量及分析评价提供充分支持。
型号 | NS200 |
测量技术 | 探针式表面轮廓测量技术 |
探针传感器 | 超低惯量,LVDC传感器 |
平台移动范围X/Y | 电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平) |
样品R-θ载物台 | 电动,360°连续旋转 |
单次扫描长度 | 55mm |
样品厚度 | 50mm |
载物台晶圆尺寸 | 150mm(6吋),200mm(8吋) |
尺寸(L×W×H)mm | 640*626*534 |
重量 | 40kg |
仪器电源 | 100-240 VAC,50/60 Hz,200W |
相对湿度:湿度 (无凝结)30-40% RH
温度:16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)
地面振动:6.35μm/s(1-100Hz)
音频噪音:≤80dB
空气层流:≤0.508 m/s(向下流动)
恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。
产品货期: 30天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
台阶仪接触式表面形貌测量仪器
型号:NS 60万中图仪器chotest国产台阶仪品牌NS200
型号:NS200 面议晶圆几何形貌量测系统
型号:WD系列 面议中图仪器沉积薄膜台阶高度测量仪NS200
型号:6 60万台阶仪用于测量台阶高、膜厚及表面粗糙度等微观形貌参数,基于触针上下运动转换电信号原理。CP系列台阶仪具高精度、高效率、多功能、适应性强及操作简便等特点,广泛应用于材料科学和精密工程中。
台阶仪具备亚埃级垂直分辨率,可实现纳米级别测量和分析。在纳米加工领域,台阶仪能评估材料表面形貌和结构,优化纳米加工过程。其线性可变差动电容传感器具有高分辨率,可测量蚀刻、溅射等多种工艺。台阶仪的应用不仅能解决纳米材料表面形貌难题,还提高加工效率和材料工程研究水平。
台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪,能高精度测量微观表面形貌,揭示表面微观特征。它具有高速扫描能力,测量范围广泛,可应用于科学研究、材料表征、纳米技术等领域。台阶仪的优势包括高精度、快速测量和广泛适用范围。
中图仪器台阶仪200的工作原理介绍
台阶仪200的使用方法?
中图仪器200多少钱一台?
台阶仪200可以检测什么?
台阶仪200使用的注意事项?
中图仪器200的说明书有吗?
中图仪器台阶仪200的操作规程有吗?
中图仪器台阶仪200报价含票含运吗?
中图仪器200有现货吗?
最多添加5台