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中图仪器国产高精度台阶仪品牌NS200是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器,其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。
测量时通过使用2μm半径的金刚石针尖在超精密位移台移动样品时扫描其表面,测针的垂直位移距离被转换为与特征尺寸相匹配的电信号并最终转换为数字点云信号,数据点云信号在分析软件中呈现并使用不同的分析工具来获取相应的台阶高或粗糙度等有关表面质量的数据。
主要组成部分
1、测量系统
(1)中图仪器国产高精度台阶仪品牌NS200单拱龙门式设计,结构稳定性好,而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响,提高了测量精度。
(2)线性可变差动电容传感器(LVDC),具有亚埃级分辨率,13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差,使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。
(3)传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和正常力测量。测力恒定可调,以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制,实现无接触损伤的精准接触式测量。
2、工件台
(1)精密的XY平台结合360°连续旋转电动旋转台,可以对样品的位置以及角度进行调节,三维位置均可以调节,利于样品调整。
(2)超高直线度导轨,有效避免运动中的细微抖动,提高扫描精度,真是反映工件微小形貌。
3、成像系统
500万像素高分辨率彩色摄像机,即时进行高精度定位测量。可以将探针的形貌图像传输到控制电脑上,使得测量更加直观。
4、软件系统
测量软件包含多个模块。
5、减震系统
防止微小震动对测量结果的影响,使实验数据更加准确。
1.参数测量功能
1)台阶高度:能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度,可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料;
2)粗糙度与波纹度:能够测量样品的粗糙度和波纹度,分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线,可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数;
3)翘曲与形状:能够测量样品表面的2D形状或翘曲,如在半导体晶圆制造过程中,因多层沉积层结构中层间不匹配所产生的翘曲或形状变化,或者类似透镜在内的结构高度和曲率半径。
2.数采与分析系统
1)自定义测量模式:支持用户以自定义输入坐标位置或相对位移量的方式来设定扫描路径的测量模式;
2)导航图智能测量模式:支持用户结合导航图、标定数据、即时图像以智能化生成移动命令方式来实现扫描的测量模式。
3)SPC统计分析:支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析,针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。
3.光学导航功能
配备了500W像素的彩色相机,可实时将探针扫描轨迹的形貌图像传输到软件中显示,进行即时的高精度定位测量。
4.样品空间姿态调节功能
配备了精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴,可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节,提高测量精度及效率。
中图仪器国产高精度台阶仪品牌NS200对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求,它可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。台阶仪对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求,应用场景适应性强。
仪器数据复现性高、测量稳定、便捷、高效,能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位,其对表面微观形貌参数的准确表征,对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义,是微观表面测量中使用非常广泛的微纳样品测量手段。
型号 | NS200 |
测量技术 | 探针式表面轮廓测量技术 |
探针传感器 | 超低惯量,LVDC传感器 |
平台移动范围X/Y | 电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平) |
样品R-θ载物台 | 电动,360°连续旋转 |
单次扫描长度 | 55mm |
样品厚度 | 50mm |
载物台晶圆尺寸 | 150mm(6吋),200mm(8吋) |
尺寸(L×W×H)mm | 640*626*534 |
重量 | 40kg |
仪器电源 | 100-240 VAC,50/60 Hz,200W |
相对湿度:湿度 (无凝结)30-40% RH
温度:16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)
地面振动:6.35μm/s(1-100Hz)
音频噪音:≤80dB
空气层流:≤0.508 m/s(向下流动)
恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。
产品货期: 30天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
中图仪器品牌材料共聚焦三维成像显微镜VT6000
型号:23 95万白光干涉表面粗糙度检测仪
型号:20 96万中图仪器沉积薄膜台阶高度测量仪NS200
型号:6 60万中图仪器探针接触式台阶仪NS200
型号:35 60万台阶仪用于测量台阶高、膜厚及表面粗糙度等微观形貌参数,基于触针上下运动转换电信号原理。CP系列台阶仪具高精度、高效率、多功能、适应性强及操作简便等特点,广泛应用于材料科学和精密工程中。
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