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v Smart SE 是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快,准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数(n, k)以及薄膜结构特性(如粗糙度、光学梯度及各向异性等)
v 光谱范围:450nm to 1000nm
v 光谱分辨率:优于3nm
v 光源:卤素灯和蓝光LED
v 测试时间:小于1秒到10秒
v 光斑尺寸:
Ø 75µm * 150µm, 100µm * 250µm,
Ø 100µm * 500µm, 150µm * 150µm,
Ø 250µm * 250µm, 250µm * 500µm,
Ø 500µm*500µm
v 入射角:450 to 900 ,步径50
v 样品尺寸:200mm以内
v 样品准直:手动调整样品台高度(17mm以内)和倾角
v 空气对射精度:Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20
v 厚度准确性:0.04%
v 厚度重复性:±0.02%
v 可选附件:
Ø 全自动量角器,入射角度从450 到900可调,步径0.010
Ø 可通过法兰耦合在反应腔实现在线监测
Ø 冷热台,液体样品池和电化学反应池
十字星自准直系统
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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