智能型多功能椭偏仪
智能型多功能椭偏仪

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HORIBA

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  • 银牌
  • 第2年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数
  • 光谱分辨率: 优于3nm
  • 光源: 卤素灯和蓝光LED
  • 测试时间: 小于1秒到10秒

Smart SE 是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快,准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数(n, k)以及薄膜结构特性(如粗糙度、光学梯度及各向异性等)

光谱范围:450nm to 1000nm

光谱分辨率:优于3nm

光源:卤素灯和蓝光LED

测试时间:小于1秒到10

光斑尺寸:

Ø 75µm * 150µm, 100µm * 250µm,

Ø 100µm * 500µm, 150µm * 150µm,

Ø 250µm * 250µm, 250µm * 500µm,

Ø 500µm*500µm

入射角:450 to 900 ,步径50

样品尺寸:200mm以内

样品准直:手动调整样品台高度(17mm以内)和倾角

空气对射精度:Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20

厚度准确性:0.04%

厚度重复性:±0.02%

可选附件:

Ø 全自动量角器,入射角度从450 900可调,步径0.010

Ø 可通过法兰耦合在反应腔实现在线监测

Ø 冷热台,液体样品池和电化学反应池

十字星自准直系统


售后服务承诺

产品货期: 60天

整机质保期: 1年

培训服务: 安装调试现场免费培训

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HORIBA椭偏仪customized的工作原理介绍

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