国仪量子场发射扫描电镜SEM4000Pro

场发射扫描电镜

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品牌

国仪量子

样本

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型号

SEM4000Pro

荣誉奖项

产地

中国大陆

国仪量子技术（合肥）股份有限公司

白金
第6年
生产商

营业执照已审核

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核心参数

仪器种类： 落地式/传统大型

电子枪种类： 热场发射

产地类别： 国产

二次电子图象分辨率： 0.9nm @ 30 kV,SE

放大倍数： 1 x ～ 1,000,000 x

加速电压： 200V ～ 30 kV

背散射电子图像分辨率： 2.5 nm @ 30 kV，BSE，30 Pa

样品台： 五轴全自动样品台，X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm，R=360°，T:-10°~+70°

检测器系统： 旁侧二次电子探测器（ETD）、低真空二次电子探测器（LVD）、插入式背散射电子探测器（BSED）

创新点

1.无漏磁物镜设计，可直接观察磁性样品 2.三级磁透镜设计，束流可调范围大，最大支持200 nA的分析束流

场发射扫描电子显微镜
SEM4000Pro

SEM4000Pro是一款分析型热场发射扫描电子显微镜，配备了高亮度、长寿命的肖特基场发射电子枪。三级磁透镜设计，束流最大可达200 nA，在EDS、EBSD、WDS等应用上具有明显优势。标配低真空模式，以及高性能的低真空二次电子探测器和插入式背散射电子探测器，可观察导电性弱或不导电样品。标配的光学导航模式，以及直观的操作界面，让您的分析工作倍感轻松。

产品特点

配备高亮度、长寿命的肖特基场发射电子枪

分辨率高，30kV下优于0.9nm的极限分辨率

三级磁透镜设计，束流可调范围大，最大支持 200 nA 的分析束流

标配低真空模式，以及高性能的低真空二次电子探测器和插入式背散射电子探测器

无漏磁物镜设计，可直接观察磁性样品

标配的光学导航模式，中文操作软件，让分析工作更轻松

应用案例

产品参数

关键参数	高真空分辨率	0.9 nm @ 30 kV，SE
	低真空分辨率	2.5 nm @ 30 kV，BSE，30 Pa
	低真空分辨率	1.5 nm @ 30 kV, SE, 30 Pa
	加速电压	200 V ~ 30 kV
	放大倍率	1 ~ 1,000,000 x
	电子枪类型	肖特基热场发射电子枪
样品室	真空系统	全自动控制
	低真空模式	最大180 Pa
	摄像头	双摄像头
	摄像头	（光学导航+样品仓内监控）
	行程	X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm
	行程	T: -10°~+70°，R: 360°
探测器和扩展	标配	旁侧二次电子探测器（ETD）
		低真空二次电子探测器（LVD）
		插入式背散射电子探测器（BSED）
	选配	能谱仪（EDS）
		背散射衍射（EBSD）
		插入式扫描透射探测器（STEM）
		样品交换仓
		轨迹球&旋钮控制板
软件	语言	中文
	操作系统	Windows
	导航	光学导航、手势快捷导航
	自动功能	自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散

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本手册为国仪量子扫描电镜产品手册，介绍了目前国仪两大类的电镜产品性能参数，包括场发射和钨灯丝扫描电镜，并有丰富行业应用图片供了解。我们在合肥、无锡和广州设有扫描电子显微镜实验室，实验室配备多名电镜技术专家和高级电镜应用工程师，提供包含电镜应用技术开发、样品拍摄在内的多种服务。主要应用领域有锂电池、新型纳米材料、半导体材料、矿物冶金、地质勘探、生物医药等。实验室依托国仪量子电镜产品，在电镜应用领域开展具有自主知识产权的科研项目，致力于实现科学研究和人才培养的目标。与此同时，实验室也为有电镜应用需求的科研院所、大专院校、企事业单位提供优质的服务。

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