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【技术参数】
发射源:预对中钨灯丝
分辨率:
高真空成像
3.0 nm@ 30 kV(SE);8.0 nm@ 3 kV(SE)
高真空下减速模式
7.0 nm@ 3 kV(BSE)
低真空成像
3.0 nm@ 30 kV(SE);4.0 nm@ 3 kV(BSE);10 nm@ 3 kV(SE)
放大倍数:5 ~ 1,000,000×(宝丽来相纸放大)
加速电压范围:200 V ~ 30 kV
探针电流范围:最高可达到2 μA,连续可调
低真空范围:高达150 Pa
X-Ray工作距离:10 mm,EDS检出角:35°
样品室:内宽280 mm,端口10个
样品台:五轴全自动马达驱动
X=120 mm,
Y=120 mm,
Z=55 mm,
T=-15o~90o,
R=360o (连续旋转)
最大样品尺寸 240 x 280 x 128 mm3
最大样品承重 10 kg
探测器系统:
高真空二次电子探测器ETD
可伸缩式背散射探测器BSED
样品室内红外相机CCD
图像导航彩色光学相机Nav-Cam+™
具有ChemiSEM技术的TrueSight X EDS 探测器
控制系统:
操作系统:Windows 10
图像显示:24寸LCD显示器,最高显示分辨率1920×1200
支持用户自定义的GUI,可同时实时显示四幅图像
软件支持Undo和Redo功能
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 免费安装培训
免费仪器保养: 质保期内免费仪器保养
保内维修承诺: 质保期内免费非人为损坏免费维修
报修承诺: 24小时内到达现场并维修
赛默飞扫描电镜Axia ChemiSEM 的工作原理介绍
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