产地类别： 国产
应力测量范围： 1-10000 MPa，压应力或拉应力
测量技术： 双激光波长扫描技术
工作温度： 室温
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1.测试原理
基于经典基片弯曲法Stoney公式测量原理，采用先进的激光扫描方式和探测技术，以及智能化的操作，使得FST5000薄膜应力仪特别适合于晶圆类光电薄膜样品的弓高、轮廓形貌、曲率半径和薄膜
应力测量。
2.为什么检测薄膜应力？
薄膜应力作为半导体制程、MEMS微纳加工、光电薄膜镀膜过程中性能测试的必检项，直接影响着薄膜器件的稳定性和可靠性，薄膜应力过大会引起以下问题：
1.膜裂
2.膜剥离
3.膜层皱褶
4.空隙
检测薄膜应力是半导体制程、MEMS微纳加工、光电薄膜品检及改进工艺的有效手段！
半导体 2021-06-02
半导体 2021-06-02
| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| 贵州大学 | 2022-10-17 |
| 西安龙翔半导体有限公司 | 2022-07-08 |
| 江苏多维科技有限公司 | 2022-06-16 |
| 宁波新材料测试评价中心有限公司 | 2022-07-20 |
| 华为机器有限公司 | 2022-07-22 |
| 江西师范大学 | 2022-07-26 |
| 香港科技大学（广州） | 2022-07-29 |
| 长光集智光学科技有限公司 | 2022-09-26 |
| 芜湖长信科技股份有限公司 | 2022-05-10 |
| 江西杰创半导体有限公司 | 2022-04-30 |
| 深圳技术大学 | 2022-04-15 |
| 松山湖材料实验室 | 2022-03-08 |
| 华为技术有限公司 | 2022-01-20 |
| 浙江光特科技有限公司 | 2021-10-18 |
| 宁波大学 | 2020-01-03 |
| 西安交通大学 | 2020-05-20 |
| 安徽熙泰智能科技有限公司 | 2020-05-29 |
| 深圳力策科技有限公司 | 2020-09-30 |
| 电子科技大学 | 2021-02-26 |
| 深圳北理莫斯科大学 | 2021-04-30 |
| 中国工程物理研究院 | 2021-06-22 |
| 华为技术有限公司 | 2021-08-11 |
| 华中科技大学 | 2021-08-13 |
| 中国科学院物理研究所 | 2021-09-15 |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 5人次以内培训
免费仪器保养: 6个月一次
保内维修承诺: 免费维修更换零件
报修承诺: 24小时到达现场并维修
速普仪器【SuPro】薄膜应力测量仪FST5000
型号：FST5000 60万
速普仪器【SuPro】薄膜残余应力仪FST1000
型号：FST1000 50万
【速普仪器】硬质涂层残余应力测试仪FST1000
型号：FST-1000 50万针对硬质涂层，半导体薄膜等薄膜残余应力测试表征。基于基片弯曲法Stoney公式测量原理，利用光杠杆技术获得基本曲率半径，进而换算获得应力数据。根据不同应用场景，具有两种测试模式：测试范围内各个数据点应力mapping数据或样品表面整体平均残余应力。
速普仪器薄膜应力测试仪FST 5000的工作原理介绍
薄膜应力测试仪FST 5000的使用方法?
速普仪器FST 5000多少钱一台?
薄膜应力测试仪FST 5000可以检测什么？
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