从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机
用途
● 高分子材料表面的官能基付与→粘合性、密着性提高。通 过氧化反应,在表面生成-OH,>C=O,-COOH等官能 基(微量的水分及二氧化碳影响)。 同样在氮气等离子体中,氮原子被吸收在表面中,生 成-NH 2等官能基。
● 硅晶圆蚀刻。
● 材料表面改性(金属、聚合物、薄膜、陶瓷等)。
● 石棉预处理(膜过滤灰化)。
● 从电子设备到生化市场。
● 低温灰化(高分子材料、煤炭、食品等)。
● 使用玻璃和PDMS板粘贴PDMS芯片。
● 表面有机物去除
特点
● RF为200 W的高性能输出类型(PR200)。
● 由于是尺寸紧凑的台式机,很小的位置都可以安装。
● 同步,自动调谐,操作简单(PR200)。
● 等离子体反应器(灰化设备)(PR200)。
● 同步、自动调谐(PR200)。
反应腔
[例]石棉分析前处理
规格
型号 |
PR200 |
PR300 |
PR301 |
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模式 |
DP模式,桶型 |
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控制部 |
高频输出 |
Max300W |
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频率 |
13.56MHz |
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同调方式 |
手动2轴同调方式 |
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反应部 |
反应腔 |
耐热玻璃 Φ100×160mm |
超硬质玻璃 Φ64×160mm×3室 |
耐热玻璃 Φ118×160mm |
反应气体 |
1系统(氧气)流量计 |
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控制 |
手动密闭阀 |
自动减压、自动密闭阀 |
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配管材质 |
不锈钢、特氟龙、铜、铜合金 |
不锈钢、特氟龙 |
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外形尺寸 |
W350×D400×H500mm |
W438×D520×H556mm |
W438×D520×H630mm |
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重量 |
约10kg |
约36kg |
约34kg |
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电源 |
AC100V 15A |
AC100V 7A |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 无
免费仪器保养: 无
保内维修承诺: 正常使用情况下免费提供更换零部件
报修承诺: 及时维修
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