产地类别： 国产
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规格参数：
1、旋涂基材6英寸或更小
2、包括三个真空旋转卡盘
3、用于手套箱的占地面积小
4、易于使用的触摸屏界面
5、可编程旋涂工艺
6、耐用的设计以及耐化学腐蚀的材料
7、耐化学腐蚀HDPE旋转碗
8、耐用的不锈钢机身，具有耐化学腐蚀的透明旋转盖
9、4.3”触摸屏界面
10、基板尺寸：从1厘米到6英寸晶圆
11、转速范围：100-12000 RPM
12、转速分辨率：1RPM
13、加速范围：空载100-30000 RPM / s
14、程序：10个旋转程序，每个程序有10个步骤
15、安全：真空联锁和旋转盖联锁
16、尺寸：270(W)*387(D)*258(H)
产品货期: 15天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
安装调试时间: 到货后3天内
电话支持响应时间: 1小时内
是否提供维保合同: 是
维修响应时间: 3天内
节假日是否提供上门服务: 是
是否支持上门巡检: 是
是否提供预防性维护计划: 是
是否提供期间核查方案: 是
是否提供免费应用支持: 是
是否提供付费应用支持: 是
是否提供线上售后平台: 是
维修付款方式: 先维修后付款
基本维修资料公开: 维修图纸；技术参数；专用工具；故障代码；维修手册
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