产地类别: 国产
靶材材质: Au
靶材尺寸: 直径50mm
控制方式: 自动
样品仓尺寸: 直径100mm,高100mm
样品台尺寸: 直径50mm
溅射气体: 空气
看了离子溅射仪的用户又看了
ETD-800 型全自动等离子溅射仪外观亮丽做工精致,
机箱大小仅有310mm x 260mm x 115mm。
ETD-800小型离子溅射仪是专门为扫描电子显微镜用户设计的全自动镀膜设备;
操作简便,放入样品后可一键搞定;数字式计数器满足精准定时要求。
特别适用对膜颗粒大小要求高的场发射扫描电子显微镜。
具有成膜均匀,操作简单,所需时间短,过程可控等优点。
可以使用Au,Pt,Cr、Al、Cu等靶材。
配有高位定性的飞跃真空泵
参数:
主机规格:260mm×307mm×260mm(W×D×H)
电源规格:220V(可做110V),50HZ
靶(上部电极):50mm×0.1mm(D×H)
靶材:Au(标配),也可根据实际情况配备银靶、铂靶等。
真空样品室: 硼硅酸盐玻璃 115mm×100mm(D×H)
定时器: 最长时间:3600S
机械泵: 1L/S
最高电压: -1200 DCV
特点:
1、同时可以通过更换不同的靶材(金、铂、银等),以达到更细颗粒的涂层。
2、一键式操作,使用方便。
3、真空保护可避免真空过低造成设备短路。
需要镀膜的样品
1、电子束敏感的样品:
主要包括生物样品,塑料样品等。S EM中的电子束具有较高能量,在与样品的相互作用过程中,它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料,那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下,用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用,防止此类损伤;
2、非导电的样品:
由于样品不导电,其表 面带有“电子陷阱”, 这种表面上的电子积累 被称为“充电”。为了 消除荷电效应,可在样 品表面镀一层金属导电 层,镀层作为一个导电 通道,将充电电子从材 料表面转移走,消除荷 电效应。在扫描电镜成 像时,溅射材料增加信 噪比,从而获得更好的成像质量。
3、新材料:非导电材料和半导体材料
用户单位 | 采购时间 |
---|---|
华侨大学 | 2018-09-04 |
北京工业大学 | 2017-07-05 |
湖南理工学院 | 2017-05-09 |
产品货期: 10天
整机质保期: 2年
培训服务: 额外提供免费培训
安装调试时间: 到货后10天内
电话支持响应时间: 12小时内
是否提供维保合同: 是
维修响应时间: 1天内
节假日是否提供上门服务: 否
核心零部件货期: 5天
核心零部支持时间: 2年
是否支持上门巡检: 否
是否提供预防性维护计划: 否
是否提供期间核查方案: 否
是否提供免费应用支持: 否
是否提供付费应用支持: 是
是否提供线上售后平台: 是
维修付款方式: 先维修后付款
基本维修资料公开: 故障代码
无理由退换货: 不支持
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