产地类别: 进口
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PHI X-tool是一款操作简单,同时具备高效高能的XPS。其秉承PHI-XPS独有的扫描聚焦X-ray系统,可通过单色化石英晶体叫X-ray直接聚焦至20μm。和传统的XPS相比,不采用光阑进行选区,极大的提高了XPS在200μm以下空间尺度的灵敏度。同时,不需要增加磁透镜,即可得到卓越的灵敏度及优秀的信噪比,即使磁性样品,也可轻松应对。
1. 卓越的操作性
PHI X-tool软件支持直观的触摸屏操作,所有XPS测定过程都可在触摸屏上完成。用户可以自由选择手动操作模式和自动操作模式(自动定性、定量、分析及完成报告),操作者无论是否具有丰富的XPS操作经验,均能轻松应对。
2. 自动参数设定、自动完成报告
PHI X-tool具备自动对焦功能(Auto-Z),使分析位置处于X射线的焦平面上,得到最优的分析条件。其可实现中和参数的自动匹配,无论样品的导电性如何,均可轻松应对。
l 自动定性:实现谱峰自动识别
l 自动定量:自动选定谱峰定量范围
l 自动曲线拟合:可自动实现预定条件的曲线拟合
l 自动生成实验报告
3. 多方式样品观察
在XPS分析中,样品观察,特别是微区定位至关重要。PHI X-tool可通过以下三种方式进行样品观察:a. 进样室高空间分辨率图像;b. 实时CCD成像;c. 二次电子像(SXI)。利用这几种方法观察样品,不论样品大小,表面形貌如何均可轻松确定测试位置。
4. 详细的条件设定和直观的操作
结合材料和目的,可详细设定分析的条件。通过内置元素周期表,可设定各光电子峰和俄歇峰。通过更改通过能、步长、积分时间设定窄谱扫描参数。对每个样品可设置习惯的文件名和样品名称。
5. 快速化学成像
采用扫描X射线和高灵敏度检测器及非扫描模式,可实现快速成像分析。每个点都可以直接调取全部的谱数据。化学态成像的空间分辨率、灵敏度、能量分辨率与仪器主指标一致。
6. 采用PHI独有的最先进硬件设计
l 微聚焦扫描X-ray源;
l 双束中和系统,低能离子束及低能电子束自动配合;
l 浮动离子枪,离子加速电压条件范围可达0~5kV
用户单位 | 采购时间 |
---|---|
华南理工大学 | 2013-12-19 |
当用XPS仪器分析绝缘样品时,样品表面必须保持电中性,即样品表面无静电荷分布。假设样品表面分布有静电荷,就会导致光电子飞出的动能发生变化。通常表面荷电会导致光电子动能减小,即结合能向高端偏移。 为了很好的解决这个问题,ULVAC-PHI公司的XPS设备增加了双束中和枪的功能,中和枪为绝缘样品荷电区域提供了稳定的荷电补偿。
样品自制备后到放入分析室,确定分析位置需要经过几个步骤,各个步骤的精确定位以及样品导航,在ULVAC-PHI的XPS光電子能譜儀儀器上均经过精心设计,以满足用户不同层次的需求。本文将分别以PHI Quantera II(简称QII) 与PHI-5000 VersaProbeII (简称VP II)样品导航和定位为例,深入介绍ULVAC-PHI的XPS在该方面的设计理念及实际操作。
作为通用的能量分析器,半球形能量分析器(SCA/CHA)见图1,既可以用于光电子能谱仪(XPS),也可以用于俄歇电子能谱仪(AES)。考虑到俄歇电子发射效率低,为了将俄歇电子从背景信号中分离出来,提高俄歇电子检测灵敏度,SCA/CHA用于俄歇电子能谱仪时,首要的是提高俄歇电子传输效率,而不是提高谱仪的能量分辨率。本文将着重介绍SCA/CHA在俄歇电子分析中的应用。
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