2023-12-01 17:02嘉定区
关键内容 | 位移台 |
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开标时间 | 待定 |
采购金额 | 40.00万元 |
采购单位 | 上海大学 |
采购联系人 | 薛杰 查看联系方式 |
招标代理机构 | 上海政采项目管理有限公司 |
代理联系人 | 包智培 查看联系方式 |
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更新时间: | 2023-12-01 |
招标文件: | 附件1 |
项目编号:XC23000389
根据《上海大学采购管理办法(试行)》和《上海大学货物和服务快速采购实施细则》,上海大学微电子学院因教学、科研需要,现以上大迅采方式采购探针式台阶仪。
1、符合政府采购法第二十二条之供应商资格规定。
2、供应商未被列入“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)失信执行人名单、重大税收违法案件当事人名单,和中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)政府严重违法失信行为记录名单的供应商。
二、项目概况采购内容/设备名称 | 参考品牌 | 规格配置 | 明细预算(人民币/元) | 采购数量 | 计量单位 | 总价 |
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探针式台阶仪 | 技术测量:探针式表面轮廓测量技术;2.2样品观测:光学导航摄像头:不低于500万像素高分辨率彩色摄像机,FoV,1700*1400μm;探针传感器:超低惯量,至少LVDC传感器;测量力: 需要1-50mg可调;探针选型:探针曲率半径优于2μm,夹角60°;平台移动范围X/Y:电动X/Y(≥100mm*100mm)(可手动校平);样品R-θ载物台:电动,360°连续旋转;单次扫描长度:≥55mm;最大样品厚度: ≥50mm;载物台最大晶圆尺寸: ≥150mm(6吋),≥200mm(8吋);台阶高度重复性: <1nm(测量1μm台阶高度,1δ);传感器量程: 优于330μm;垂直分辨力: 分辨力<0.25 (量程为13um时);扫描速度: 2μm/s-10mm/s;仪器电源: 100-240 VAC,50/60 Hz | 400000 | 1 | 台 | 400000 |
参数名称 | 是否需要附件证明 | 评分等级 | 参数说明 |
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操纵杆 | 是 | 核心指标 | 集成开关机、XYZ三轴、旋转台调节功能、速度三档调节、光亮度调节功能。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
3D测量 | 是 | 核心指标 | 可实现三维图像测量和显示功能。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
水平位移台规格 | 是 | 核心指标 | XY平台直径≥100mm,行程≥150mm×150mm,电动控制,可手动校平。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
垂直扫描范围(传感器量程) | 是 | 核心指标 | ≥330μm。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
环境检测功能 | 是 | 核心指标 | 仪器具备检测环境中振动噪声的功能,能够定量评估当前使用环境对仪器的干扰。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
载物台旋转盘 | 是 | 非核心指标 | 具备360°旋转功能,电动控制。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
台阶高重复性 | 是 | 非核心指标 | <1nm (测量1μm台阶高度标准偏差,1δ)。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
对焦功能 | 是 | 非核心指标 | 具备自动对焦功能,可自动定位寻找最低点。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
测量功能 | 是 | 非核心指标 | 具备单线段测量、多线段自动测量功能。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
数据处理功能 | 是 | 非核心指标 | 具备曲线校平、形状去除、滤波等多种数据处理功能。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
分析功能 | 是 | 非核心指标 | 具备台阶高、轮廓分析、粗糙度分析等多个参数分析功能。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
传感器类型 | 是 | 非核心指标 | 具备电容式传感器(LVDC),具有超低惯量。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
样品观测影像导航功能 | 是 | 非核心指标 | 具备≥500万像素彩色相机,视场角(FOV)≥1700*1400μm。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
探针测力 | 是 | 非核心指标 | 1mg-50mg可调。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
Z轴行程(最大样品厚度) | 是 | 非核心指标 | ≥50mm,电动控制。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
单次扫描长度 | 是 | 非核心指标 | ≥55mm。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
扫描速度 | 是 | 非核心指标 | 2μm/s-10mm/s。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
测量技术 | 是 | 非核心指标 | 探针式表面轮廓测量技术。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
探针类型 | 是 | 非核心指标 | 探针曲率半径优于2μm,夹角60°。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
垂直分辨力 | 是 | 非核心指标 | 分辨力<0.25 (量程为13um时)。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
图像缩放功能 | 是 | 非核心指标 | 具备视频图像的放大与缩小功能,便于定位微小特征样件确认扫描路径。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
防撞保护功能 | 是 | 非核心指标 | Z轴集成探针的防撞保护功能,当探针向下位移触碰到样品表面时,即停止下移。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
载物台支持的最大晶圆尺寸 | 是 | 非核心指标 | ≥150mm(6吋)与≥200mm(8吋)。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
仪器电源 | 是 | 非核心指标 | 符合100-240 VAC,50/60 Hz。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
使用环境 | 是 | 非核心指标 | 相对湿度:湿度 (无凝结)30-40% RH;温度:16-25℃ (每小时温度变化小于2℃);地面振动:6.35μm/s(1-100Hz);音频噪音:≤80dB;空气层流:≤0.508 m/s(向下流动)。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
尺寸和重量 | 是 | 非核心指标 | 长×宽×高:≤ 640*626*534(mm),仪器总重量:<50kg。(供应商响应时需要提供对应技术参数公开发布的印刷材料或宣传资料或产品说明书等材料予以佐证,响应时直接复制需求说明文字作为响应材料的,视为没有实质性响应,将被判定为无效响应。) |
要求名称 | 是否需要附件证明 | 要求说明 |
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营业执照(三证合一) | 是 | 请上传相关证明材料(须加盖供应商公章) |
信用中国证明 | 是 | 信用信息报告日期最早应为本项目迅采公告发布之日(须加盖供应商公章) |
要求名称 | 是否需要附件证明 | 要求说明 | 评分内容 |
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同类业绩 | 是 | 供应商需提供自2020年1月起至今的同类货物的销售合同,其中需体现合同的签约主体、销售货物名称、签订日期等合同要素的相关内容。同类业绩合同供应商需分列填报上传,合并文件填报或集中填报在同一格子内的算1份业绩。 | |
培训计划 | 是 | 到货后7天内供应商提供面向不少于3人、不低于10小时的线上或现场培训指导,供应商响应时提供详细的培训计划。 | |
质保期 | 是 | 自到货并验收合格之日起,最低要求质保期2年。 | 2年3年4年及以上 |
付款方式 | 是 | 合同签订后支付20%,货到学校,验收合格并签署验收报告后支付80% | |
交货期 | 是 | 在签订合同后7日内交货。 |
1、质保期为自用户签署最终验收报告之日起,在质保期间出现故障,供应商在接收到用户通知后于1小时以内予以回应、提出解决方案,4小时内维修人员到场,72小时排除故障(特殊情况和不可抗拒因素除外)。在此期间,设备发生任何非误操作造成的故障和损坏,均由供应商负责免费修复,失效零件予以免费更换,更换时所发生的费用均由供应商负担。质量保证期内,停机待修时间不得超过一个月,若超过一个月,则保修期延长待机时间的3倍。同时,提供软件免费升级。
2、货物到达学校后7天内由供应商负责免费安装、调试与技术培训,调试仪器所需耗材由供应商自行负担。仪器安装、调试时进行现场软硬件使用的培训:参与培训人员3~5人;内容:设备的工作原理、操作步骤、正常维护和应用等,使培训人员能够正确、熟练操作及掌握仪器简易的故障判别及排除、维修。培训人员必须为供应商公司专职技术人员,不得派出学生或供应商用户等非公司专职技术人员提供培训,否则用户方将拒绝接受。
3、 供应商根据合同提供的货物应是全新的未使用过的而且是符合国家有关制作标准和环保要求。供应商提供详细的中文操作、维护指南。
4、 定期维护,终身保修,只收取零部件成本费。
四、供应商须知1、供应商须先完成并通过供应商注册,方可进行响应。注册网址:https://czb.shu.edu.cn/
2、供应商应具有连续多年从事该设备生产或销售经历,并有良好的声誉,且能提供良好的技术支持。
3、供应商应完全按照标书规定的设备名称、技术要求、数量报价、供货,我方不接受不确定报价。
4、供应商应保证随设备提供必要的安装、调试、培训、维修等服务,并提供合同所约订的免费维修时间及终身成本维修。
5、响应报价中标明的价格或在评审后确定的价格在合同执行过程中是固定不变的(除非采购人对设备提出新的要求)不得以任何理由予以变更。
6、供应商应在响应文件中注明货物的交货期。
7、若成交供应商的报价超出本次项目的经费预算,采购人有取消本次采购的权利。
8、供应商须登录上大迅采系统对每一项要求项进行一一响应,提交证明和支撑材料(加盖单位公章),无证明和支撑材料视为没有响应。
9、响应供应商须保证所提交的响应文件、资料的内容真实、完整、有效、一致,如递交虚假的响应文件、资料或填写信息错误导致的与本项目有关的任何损失由供应商承担。
五、汇款信息与代理服务费收费标准1、汇款信息
采购代理机构名称:上海政采项目管理有限公司
采购代理机构开户银行(人民币):招商银行股份有限公司上海南方商城支行
账号(人民币):121924394410101
户名:上海政采项目管理有限公司
2、代理服务费收费标准
1980号文下浮37%,每个项目下限为2500.00元人民币,具体金额以成交公告为准,由成交供应商直接向代理机构支付。
上海大学
2023-12-01
位移台
82.00万元 2024-08-05
位移台,激光诱导击穿
3449.00万元 2024-07-25
共聚焦显微镜,位移台
490.00万元 2024-07-25
位移台
46.50万元 2024-07-15
位移台,激光拉曼光谱
240.00万元 2024-05-28
位移台
35.43万元 2024-05-11
轮廓仪,位移台
189.08万元 2024-05-11
位移台,激光拉曼光谱
240.00万元 2024-05-07
位移台
40.00万元 2023-12-01
位移台
22.00万元 2023-11-30