U53SL 系列减压器适用于超高纯净气体应用，采用内部无螺纹、非焊接膜片结构。膜片和阀体的密封产用了硬密封的设计，降低泄漏率，同时提高了安全性和使用寿命。
结构特点 Features
膜片式硬密封，泄漏率低
可采用面板安装和后座安装
压力表标准连接： 1/4" FSR(M)
可选：1/4" FSR (F)
内部电解抛光
高清洁的组装和包装将适用于高纯洁度的半导体产业
使用寿命长
通过氦气测试
材质 Materials
母体：316L，Hastelloy®
阀座：PCTFE
膜片：Elgiloy®，Hastelloy®
上盖：316，Hastelloy®
功能特性 Functional Performance
流量：Cv=0.054
母体泄漏率：2x10-9 atm cc/sec He
阀座泄漏率：4x10-8 atm cc/sec He
设计验证压力：最大额定压力的 150%
设计爆破压力：最大额定压力的 400%
工作条件 Operating Conditions
最大的入口压力：300 psi (20 bar)
出口压力：0- 30 psi (2 bar)
温度： -18℃~60℃(0℉~140℉)
流道表面 Surface Finish
标准：Ra 20μin
可选：Ra 10μin
内部容积 Internal Volume
9.3 cc
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