U22SL 系列单级减压器清洁气体,压力稳定。 可应用于非腐蚀性气体,腐蚀性气体,和有毒气体。膜片和阀体的密封采用了硬密封的设计,降低泄漏率,同时提高了安全性和使用寿命。
结构特点 Features
316L 不锈钢母体
膜片式硬密封,泄漏率低
可采用面板安装和后座安装
压力表标准连接: 1/4"FSR(M)
可选:1/4"FSR (F)
内部电解抛光
高清洁的组装和包装将适用于高纯洁度的半导体产业
使用寿命长
通过氦气测试
材质 Materials
母体:316L
阀座:PCTFE*,Vespel®
膜片:316L
上盖:316
功能特性 Functional Performance
流量:Cv=1.1
母体泄漏率:2x10-9 atm cc/sec He
阀座泄漏率:4x10-8 atm cc/sec He
设计验证压力:最大额定压力的 150%
设计爆破压力:最大额定压力的 400%
工作条件 Operating Conditions
最大的入口压力:500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar)
出口压力:0- 25 psi (1.7 bar) , 0-50 psi (3 bar),
0-100 psi (7 bar), 0-150 psi (10 bar),
0-250 psi (17 bar)
温度: -40℃~74℃(-40℉~165℉)
流道表面 Surface Finish
标准:Ra 20μin
可选:Ra 10μin
内部容积 Internal Volume
22.6 cc