半导体检测先进技术盘点_专题报道

半导体检测

半导体检测是一个涉及内容很广而又不断发展的技术领域，很难给出一个明确的界限和确切定义，常用半导体检测技术包括光学与电学测量、X光衍射、金相观察、激光光谱、俄歇电子能谱、二次离子质谱、电子显微分析、离子束分析、原子吸收分光光度、气相色谱、高频电感耦合等离子体发射光谱等。

媒体聚焦

半导体行业试剂篇——那些不可不提的酸

在电子产品的生产过程中需要用到的试剂是电子级试剂，要求电性杂质含量极低，才可以控制产品最终的质量。而有些半导体材料中甚至会人为加入一些特定的成分，从而其电导性能才具有可控性，因此试剂中杂质离子的含量，就变得尤为重要。

监控半导体芯片生产中离子污染的神器——ICS 6000离子色谱

空气中与超纯水中的杂质离子含量这么低，通过什么手段实现检测呢？

用户之声|CIC燃烧离子色谱-OLED材料卤素分析利器

CIC燃烧离子色谱法具有简单易行，灵敏度高的优势，已经成为电子电器行业卤素检测的权威方法。

你用的是99.999%的高纯气体吗？赛默飞GC-PDD告诉你！

通常半导体生产行业，将气体划分成常用气体和特殊气体两类。其中，常用气体指集中供给而且使用非常多的气体，比如 N2、H2、O2、Ar、He 等。随着国民经济各部门的飞速发展，对气体工业的产品提出了越来越多的需求，国内气体工业的大发展使气体产品不仅在品种上大大增多，而且气体纯度越来越高，其含量常常在99.999%以上。

中美科技竞争白热化半导体检测仪器如何发挥关键作用？

科学仪器当前在半导体产业中应用广阔，其中包括质谱仪、光谱仪、色谱仪、光学检测、电化学仪器等。半导体检测仪器不仅可用于特种气体、硅片、靶材、光刻胶等半导体原材料分析，也可以用于半导体制程工艺控制。

半导体硅片检测标准汇总涉气相色谱、二次离子质谱等多类仪器

硅片行业是资金和技术密集型行业，垄断度极高，目前前四厂商占有率占比超过80%，分别是日本信越、日本SUMCO、台湾环球晶圆、德国世创。

十五种分析仪器助力半导体工艺检测

随着半导体制程工艺的进步，工艺过程中微小的沾污和晶体缺陷等都可能导致电路的失效，半导体的工艺检测也凸显的越来越重要。

未雨绸缪：半导体检测仪器核心零部件抢先一步国产替代

从5G设备到半导体产业，随着贸易战的“战火”沿着产业链条不断蔓延，贸易战将波及哪些产业领域？国内检测仪器公司又该何去何从？“谜底”或可从贸易战的历程中窥得一二。

一年内半导体设备中标统计—后道检测设备篇

后道检测工艺涉及到的检测设备主要有测试台、探针台和分选机。仪器信息网特对半导体后道主要检测设备进行中标统计，（2019年10月1日—2020年10月1日）

这些检测仪器广东省采购量独占鳌头 ——半导体仪器设备中标市场盘点系列之前道量测篇

前道量检测根据测试目的可以细分为量测和检测。仪器信息网近期特对一年内半导体前道检测用光学显微镜、聚焦离子束、电子显微镜、四探针和椭偏仪的中标讯息整理分析，供广大仪器用户参考。

解决方案

离子色谱法测定浓硝酸中的痕量阴离子

无机阴离子的含量是浓硝酸试剂品质的一个重要指标。如在半导体加工工业中，硝酸常被当作刻蚀剂用来刻蚀晶圆，试剂中混杂的痕量氯离子会严重影响半导体器件的质量。因此，对于不同级别的浓硝酸试剂，对其无机离子尤其是氯离子、硫酸盐等有着严格的限量要求。国标对工业硝酸要求硫酸盐含量小于0.08%[1]，68%硝酸（优级纯）要求硫酸盐含量<0.0001%、氯离子<0.00005%。

半导体及相关行业赛默飞色谱质谱及光谱仪综合解决方案

在《国家集成电路产业发展推进纲要》和国家集成电路产业投资基金的推动下，中国半导体市场已成为全球增长引擎。半导体行业的生产良率与经济效益息息相关，而单晶硅锭和晶圆的品质、生产过程中使用的清洗剂和刻蚀剂、封装材料、环境洁净度等都可能会影响生产良率。同时，在当前对环境保护要求日益严苛的大背景下，工业废水等环保问题也成为半导体及相关企业越来越重视的关注点。

赛默飞离子色谱在浓氢氟酸中的阴离子应用

半导体行业硅片制造中经常使用氢氟酸刻蚀，这一行业对氢氟酸等高纯试剂中的阴离子含量有严格的要求，多为几个mg/L。本方法先用IonPac ICE-AS离子排斥柱将痕量阴离子与大量氢氟酸分离，再用浓缩富集柱将痕量阴离子富集，最后采用阴离子分离柱分离测定阴离子。

目前世界上很多的半导体生产都在中国大陆本土，相对应的一些半导体产业的下游企业，生产高纯氨气供应给上游企业。重金属含量是是其中的一个重要指标。一般测定主要是把氨气通过去离子水吸附，测定吸附后去离子水中的重金属。由于要求氨气纯度很高，而且氨气不能够无限被去离子水吸附。去离子水吸附氨气最高浓度20%，所以对测量仪器具有很高的灵敏度要求。电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定微量元素具有操作简单、干扰少等优点, 而且可多元素同时测定、灵敏度高、动态范围宽, 可测定氨水中的重金属元素。ICP-MS 法可进行多元素同时分析, 具有快速、准确等特点。下面介绍ICP-MS 测定氨水中的重金属杂质元素。