扫描电镜全称为扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)。它的原理是基于电子与物质的相互作用,当高能入射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征X射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时,也可产生电子-空穴对、晶格振动(声子)、电子振荡(等离子体)等。利用这些信息,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理,采用不同的信息检测器,使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集,可得到有关物质微观形貌的信息;对X射线的采集,可得到物质化学成分的信息。
扫描电镜作为物质微观结构表征的重要手段,已被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。随着电镜技术越来越普及,人们对电镜仪器的选型需求也逐步突显。面对市面上众多的电镜品牌及型号,用户如何选择一款适合自己需求的扫描电镜?除了考虑预算、分辨率、电子源、加速电压、相关选配件等,还需注意其他哪些事项?
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