Ecopia快速退火炉(4~6英寸) 产地:韩国Ecopia;型号:RTP-1300/RTP-1600; RTP-1300, RTP-1600为Ecopia进口真空快速退火炉,仪器带有控制软件,为台式设计。RT-1300可以退火100mmX100mm尺寸的样品,RTP-1600可以退火150mmX150mm尺寸的样品。 技术规格:- 加热方式:红外卤素钨灯,1.2KW/支;- 卤素红外灯数量:12支,或18支;- 最快升温速率:100℃/秒;- 最快降温速率:60秒(1000℃ → 400℃);- 最高温度:1200℃;- 温度精度:+/-1℃- 最大样品尺寸:100 X 100mm, 或150mm X 150mm;- 退火环境:真空、惰性气体、空气、其他工艺气氛(如氧气、氢气等);- 真空泵及极限压力:机械泵,10-3Torr水平(选配);- 电压:220 V,单相或三相;- 仪器尺寸:500 X 400 X 500mm (W X D X H);- 质量:净重60Kg;仪器特点:- 可在真空/不同气氛/空气不同环境下,对样品进行快速热处理;- 温控精度高;- 适合高校或研究所科研使用;- 带有RTP控制软件;- 紧凑的台式设计;- 仪器操作方便,样片装取容易;- 价格合理,高性价比;应用领域:- 快速热退火 (Rapid Thermal Annealing,RTA) - 快速热氧化 (Rapid Thermal Oxidation,RTO) - 快速热氮化 (Rapid Thermal Nitridation,RTN) - 硅化 (Silicidation) - 扩散 (Diffusion) - 化合物半导体退火 (Compound Semiconductor Annealing) - 离子注入后退火 (Implant Annealing) - 电极合金化 (Contact Alloying) - 晶化和致密化 (Crystallization and Densification) - 合金熔点分析;- 薄膜沉积;等等…RTP-1300快速退火炉参考用户:北京师范大学、北京理工大学、昆明理工大学、东南大学、西安交通大学、渤海大学、中科院苏州纳米所、国电光伏、苏州新磊等...
留言咨询