面扫描

2019年4月3日，日立正式推出中型扫描电镜“SU3800”与大型扫描电镜“SU3900”。上述机型在支持超大/超重样品测试的同时，还通过自动化操作和大视野相机导航功能，大幅提升了操作性能。 　　在以纳米技术和生物技术为主的产业领域里，从物质的微细结构到组成成分，SEM在多种多样的观察与分析中得到了灵活应用。SEM用途日益扩大，但对于钢铁等工业材料和汽车零配件等超大/超重样品，由于电镜样品台能对应的样品尺寸和重量受到限制，所以观察时需要进行切割等加工。因此，对超大样品不施以加工处理，便可直接观察表面微细形貌和进行各种分析则成为重要的课题。　　近年来为了实现各种材料的高功能化和高性能化，需要观察并优化材料的微细结构。目前SEM的应用除了以往的研究开发以外，已扩展到质量和生产管理方面，使用频率日益高涨。同时市场也对仪器的操作性能提出了更高的要求，以进一步减轻操作人员的负担。 　　此次发售的“SU3800”与“SU3900”，支持超大/超重样品的观察，特别是大型扫描电镜“SU3900”，可选配最大直径300mm *1、最大承重5kg样品（比前代机型提高2.5倍*2）的样品台，即使是超大样品也无需切割加工即可观察。　　同时操作性能也得到了全面升级。样品安装完成后，通过自动光路调整及各种自动功能调整图像，随后可立即获得样品图像，真正实现了快速观察。　　前代机型是仅仅通过CCD导航相机的单一彩色图像寻找视野*3。新机型则通过旋转样品台，分别拍摄样品各个部分，再将各个图像拼接成1张大图像，实现了大视野的相机导航观察，十分适用于超大样品的大范围观察。 *1直径为300mm的样品台，与前代机型“S-3700N”一样*2指与前代机型 “S-3700N”的比较。但比较的内容仅限于样品台平面移动时的限制重量*3寻找视野：指测量开始时，确认当前测量样品位置的操作 主要特点：1. 支持超大/超重样品测试　　可搭载的最大样品尺寸：“SU3800” 标配可搭载直径200mm样品的样品仓，可应对最大高度为80mm、重量为2kg的样品。 “SU3900”作为日立高新技术的大型扫描电镜，标配可搭载最大直径300mm样品的样品仓，可应对最大高度为130mm、重量为5kg（比前代机型提高2.5倍*2）的样品2. 支持大视野观察　　“SU3800”与“SU3900”的最大观察范围分别是：直径130mm、直径200mm安装有“SEM MAP”导航功能，只需在导航画面上指定观察目标位置，即可移动视野安装有“Multi Zigzag”系统，可在不同的视野自动拍摄多张高倍率图像，并将取得的图像拼接在一起，生成大视野高像素图像3. 通过自动化功能提高操作性能　　通过自动光路调整和各种自动化功能，样品设置完后立即可以开始观察。关于图像调整，自动功能执行时的等待时间比前代机型*4缩短了三分之一以下安装有“Intelligent Filament Technology（IFT）”软件，自动监控钨灯丝*5的状况，显示预计的更换时期。在长时间的连续观察和颗粒度解析等大视野分析时，也可避免长时间测试过程中因钨灯丝使用寿命到期所造成的中断观察。*4指与前代机型 “S-3700N”的比较。*5钨灯丝：在真空中，通电加热后产生热电子的钨灯丝作为电子源的核心部件，起到光源作用。 关于天美：　　天美集团从事表面科学、分析仪器、生命科学设备及实验室仪器的设计、开发和制造及分销；为科研、教育、检测及生产提供完整可靠的解决方案。近年来天美集团积极拓展国际市场，先后在新加坡、印度、澳门、印尼、泰国、越南、美国、英国、法国、德国、瑞士等多个国家设立分支机构。公司亦先后收购了法国Froilabo公司、瑞士Precisa公司、美国IXRF公司、英国Edinburgh Instruments公司等多家海外知名生产企业和布鲁克公司Scion气相和气质产品生产线，以及上海精科公司天平产品线, 三科等国内制造企业、加强了公司产品的多样化。

如果你遇到了一个扫描任务，来三维扫描 这只大猫，你会如何着手?首先，分析一下这只大猫的特点然后，挑一款合适的设备以及选择合理的拼接模式 被扫描物体特点扫描对象：招财猫雕塑身高体积：约2.5米扫描难点：1、颜色较为单一，若使用纹理拼接，不利于软件识别抓取；2、体积较大，表面特征结构较少，若是使用常规的扫描幅面，需要贴点，使用标志点拼接，但是，标志点会遮挡部分的彩色数据信息，不利于色彩还原。最佳扫描拼接方式：使用拥有大幅面的3D扫描仪，使用特征拼接的方式，进行三维扫描以及数据拼接。大幅面的优势幅面即单次扫描幅面的大小，幅面越大，单次扫描的面积也越大。在大体积的物体扫描中，扫描速度也就越快，就像腿长的人，每跑一步，步长更大，因此相对可以跑的更快。部分情况下，大幅面扫描相对小幅面扫描，能采集到更多的复杂的形状，以便于拼接。例如，在下图中，在小幅面范围下，1和2为两次单幅扫描（小幅面）所获取的信息，十分相似，软件难以识别；3和4为两次单幅扫描（大幅面），差异较大，软件容易识别，利于拼接。 实际扫描示例综合分析，EinScan H的散斑模式，具有420*440mm的扫描大幅面，扫描这只大猫，能够更加快速高效。使用特征拼接，无需贴点，可节省近40分钟的贴点时间。得益于强大的3D视觉算法及软件的快速处理能力，扫描速度可达1,200,000点/秒，仅用了不到1.5小时就高效获取了招财猫高质量完整三维模型数据，同时，雕塑逼真的全彩纹理信息也轻松重现。后续应用将招财猫以数字化的形式进行数据存档，后续将用于周边衍生产品的设计开发。 EinScan H扫描大型物体中的优势EinScan H 拥有大幅面，在扫描大型物体时，能够更加快速；同时，因为大幅面能够抓取到更大面积的信息，在一些具有几何特征单没有那么明显的情况下，可以直接通过特征拼接，无需贴点，更加高效快速。总体而言，使用EinScan H进行大物体扫描时，能够大幅提高工作效率。 TIPS分享针对用于大型物体的场景应用，用户在选择3D扫描仪时可以重点关注以下几个问题：设备是否便携轻巧，能够满足在各种复杂空间内的灵活作业以及长时间手持操作的需求；针对不能贴标志点的物体，设备是否拥有丰富的数据拼接方式，能够适应各种扫描物体的需求；单次扫描幅面范围是否足够大，不用贴点或少贴点，软件就能识别抓取物体更多复杂形状，让拼接更加快速、准确，节省更多扫描工作时间；是否具有出色的彩色纹理获取能力，能够轻松重现物体全彩信息。

扫描仪体积小、重量轻，可以随身携带，几乎可以在任何地方使用。图片来源：朱利叶斯-马克西米利安-维尔茨堡大学在一项最新研究中，德国物理学家和医生团队成功开发出一种便携式扫描仪，可借助新的无辐射成像技术——磁粉成像，可视化人体内的动态过程，例如血流情况。科学家们表示，这是迈向无辐射干预的重要的一步。相关研究刊发于最新一期《科学报告》杂志。磁粉成像是一种基于对磁性纳米颗粒直接可视化的技术。这种纳米颗粒不是在人体内自然产生的，必须作为标记物给药。最新研究负责人、朱利叶斯-马克西米利安-维尔茨堡大学物理研究所的沃尔克贝尔教授解释道，与依赖放射性物质作为标记物的正电子发射断层扫描一样，他们开发出的磁粉成像技术具有灵敏快速的优势，不会“看到”来自组织或骨骼的干扰背景信号。论文第一作者、物理学家帕特里克沃格尔解释称，纳米颗粒的磁化强度在外部磁场的帮助下被专门操纵，因此不仅可检测到这些纳米颗粒的存在，还可检测到它们在人体内的空间位置。在最新研究中，贝尔等人开发出了一款新的介入磁粉成像扫描仪，其体积小、重量轻，几乎可带到任何地方。他们在逼真的人体血管模型上进行了测量，并拍摄出了第一批图像。研究团队表示，这是迈向无辐射干预的第一个重要步骤，有可能彻底改变这一领域。他们正在进一步提升这款扫描仪的性能，以提高图像质量。

在本届JASIS上，JEOL（日本电子株式会社）在5号展馆据有最大的展位，展出了许多新型仪器，包括最新型的触屏桌面扫描电镜、时间飞行质谱仪等。尚未上市的AccuTOF gcv 4G新型飞行时间质谱仪JEOL今年推出的JCM-6000 NeoScope新型台式扫描电子显微镜

先临三维于第六届TCT Asia展览会重磅推出神秘新品EinScan HX双蓝光手持3D扫描仪，作为线下的首次亮相，吸引了众多观众目光。“这款产品有两个光源，分别有它的使用侧重点，对于我来说，它不用贴点，就可以扫描包装产品，还可以用激光模式来获取包装模具的3D数据。设备还很轻，拿在手里扫描很轻松。”——某现场签约下单的包装行业客户它的精彩不止“一面”，EinScan HX是先临三维基于多年三维测量经验，同时结合市场需求的革新之作，创新性地将蓝色LED光源与蓝色激光光源集于一身，两种光源，兼容多种表面材质和物体尺寸；一机多用，兼顾效率与数据质量，满足用户的多重需求，既有LED结构光的快速高效，又兼顾激光的精度和细节，赋予EinScan HX更多应用可能。搭配双蓝光，让EinScan HX结合了LED结构光与激光的优势，提高了对扫描材质和环境光适应性，赋予产品广泛的应用。快速模式下，采用蓝色LED结构光扫描，无需粘贴标志点即可快速获取三维数据，扫描速度1,200,000点/秒；激光扫描模式配备双7线+1线蓝色激光，高精度，适合反光金属表面的三维扫描，为逆向设计、CAD/CAM以及3D打印快速提供高品质3D数据。激光模式下，精度0.04mm，最小点距0.05mm，高分辨率展示物体精致细节，满足大部分工业应用场景的需求。独特的反光材质及黑色表面算法，软件一键设置，轻松获取黑色和反光材质物体高品质3D数据。没有冗余的软件设置，清晰的工作指导流程，灵活便携，可在各种扫描场景中灵活应用。人体工学设计，净重仅710g，轻松握持。

近日，依托中国印刷科学技术研究所建设的&ldquo 包装印刷新技术北京市重点实验室&rdquo 成功研制出&ldquo 大幅面平台式非接触扫描仪&rdquo ，并通过北京市经济和信息化委员会组织的新产品鉴定。　　目前国内主流的大幅面扫描仪均由德国和意大利生产，每台仪器的单价在200万元左右。该实验室研发的&ldquo 大幅面平台式非接触扫描仪&rdquo ，具有自主知识产权，各项关键指标完全可以和同类国外仪器相媲美，价格仅为国外仪器的30%。该仪器的研制成功为市场提供了更多的选择，满足了越来越多的大幅面文化艺术品需要进行数字化处理的需求。

【作者按】衬度指的是图像上所存在的明、暗差异，正是存在这种差异才使得我们能看到图像。同是明、暗差异，衬度与对比度的不同在于：对比度是指图像上最亮处和最暗处的差异，是以图像整体为考量对象；衬度是指图像上每一个局部的亮、暗差异，它是以图像上的局部细节为考量对象。形貌衬度、二次电子衬度和边缘效应、电位衬度、Z衬度、晶粒取向衬度是展现扫描电镜表面形貌特征的几个主要衬度信息。形貌衬度是形貌像形成的基础，其余的衬度信息叠加在这个基础之上做为形貌像的重要组成部分，充实及完善形貌像所展现的表面形貌信息。依据辩证的观点，这些衬度信息各有其适用领域，相互之间不可能被完全替代。即便是形貌像的基础“形貌衬度”也不具有完全代替其余任何一个衬度的能力。对任何衬度呈现的缺失，都会使得表面形貌像存在程度不同的缺陷，使仪器分析能力受到一定程度的影响，这些都将在下面的探讨中通过实例予以充分的展示。在前面经验谈中有大量的实例及篇幅对以上衬度予以介绍。本文是对过去零散的介绍加以归纳总结，形成体系。下面将从形貌衬度开始，通过实例，依次介绍二次电子衬度、边缘效应、电位衬度、Z衬度以及晶粒取向衬度的成因、影响因素、所展现的样品信息以及应用实例和探讨。一、形貌衬度形貌衬度：呈现样品表面形貌空间位置差异的衬度信息。影响因素：探头接收溢出样品的电子信息的角度。形成缘由：要充分表述表面形貌三维空间的位置信息，形成图像的衬度应当包含两个基本要素：方向和大小。物体图像的空间形态取决于人眼观察物体的角度：侧向观察是立方体，顶部观察为正方形。这是由于该角度包含着形成图像空间形态的两个基本要素：方向和大小。扫描电镜测试时形貌衬度的形成也是同样道理。形貌衬度的形成与探头接收溢出样品的电子信息（二次电子、背散射电子）的角度密切相关。该接收角度发生改变，形貌衬度也将发生变化，形貌像就会跟着出现变动。接收角对形貌像的影响并不单调，而是存在一个最佳范围。不同厂家的不同类型扫描电镜，由于探头位置设计上的差异，各自都存在一个最佳工作距离以形成最佳的信息接收角，呈现出各自所能表达的样品表面形貌的最大空间形态。样品的倾斜会对接收角产生较大的影响，因此倾转样品可以发现表面形貌像的空间信息也会发生改变。任何测试条件的改变都不会带来唯一且单调的结果，而是遵循辨证法的规律，即对立统一、否定之否定和量变到质变。选择测试条件时，要针对样品特性及最终目的做到取舍有度。形貌衬度是形成形貌像的基础，但并不是形貌像的全部。形貌像中许多细小的形貌细节，会受到探头所接收的电子信息（SE和BSE）溢出区大小的影响。电子信息和电子束的能量越大对这些细节的影响也越大，当量变达到一定程度就会影响某些细节的分辨，从而对表面形貌像产生影响。要形成充足的形貌衬度，又该如何选择电子信息接收角的形成方式？依据样品特性及表面形貌特征可分为：A）低倍，低于10万倍，呈现的形貌细节大于20纳米。此时，背散射电子很难完全掩盖这些细节信息，随着所需呈现的样品表面细节的增大，背散射电子对图像清晰度的影响也会减小，图像也将越渐清晰。样品仓内的探头位于样品侧上方，与样品和电子束共同形成较大的电子信息接收角。由该接收角形成的形貌衬度能充分呈现20纳米以上的样品表面形貌细节。随着工作距离、样品台倾斜和加速电压的改变，该接收角的变化幅度较大，图像所呈现的形貌变化也较为明显。镜筒内探头位于样品顶部，与样品和电子束在一条直线上。其对信息的接收角度主要形成于电子信息的溢出角，该角度较小，形成的形貌衬度也较小，不利于充分展现大于20纳米的形貌细节。工作距离、样品台倾斜以及加速电压的改变对接收角的影响较小，图像形态变化不明显。基于以上原因：低于10万倍，观察的样品表面细节大于20纳米。以样品仓探头为主获取的形貌像，空间形态更优异。B）高倍，大于20万倍，观察的形貌细节小于20纳米。表面形貌的高低差异小，形貌衬度也小，电子信息的溢出角度即可满足衬度的形成需求。此时，低角度信息的接收效果将是主导因素，低角度信息越多，图像立体感越强烈。背散射电子因能量较高对这些细节影响较大，必须加以排除。为充分呈现这类形貌信息，应采用镜筒内探头从样品顶部接收充足的二次电子，尽量排除溢出面积较大的背散射电子信息溢出区对样品细节的影响。此时形成形貌像的关键是采用小工作距离（小于2mm），以增加镜筒内探头接收到的低角度二次电子。实例展示及探讨：A ）大于20纳米的细节，以样品仓探头为主（大工作距离）形成的形貌像，立体感强、细节更优异，形貌假象较少。B）样品仓探头获取的表面形貌像对工作距离的变化、样品倾斜、加速电压的改变都十分敏感，表面形貌像的形态随之改变也较为明显。镜筒探头位于样品顶端，改变以上条件对接收角的影响不大，形貌像的空间形态变化也不明显。 B1）改变工作距离对表面形貌像的影响（钴、铁、钨合金）B2）样品倾斜对形貌像立体感的影响B3）改变加速电压对形貌像立体感的影响（合金钢）C）小于10纳米的细节，形貌衬度要求较小，溢出样品的低角度电子信息就满足这类表面细节的呈现需求。此时如何避免样品中电子信息的扩散对形貌细节产生影响是首要选择，充分选用低能量的二次电子就显得极为关键。镜筒内探头因位置和结构的特别设计，使得它接收的样品信息以二次电子为主，是展现这类几纳米细节的首选。工作距离越小，镜筒内探头接收到更为丰富的多种角度的二次电子信息，对10纳米以下细节的分辨力最强。D）处于不同位置的镜筒内探头获取的形貌衬度也不相同。位于侧向的镜筒内（U）探头相较于位于顶部的镜筒内探头（T），可获取更多的低角度信息，形貌像的立体感更强。结论：形貌衬度是形成形貌像的基础，探头接收形貌信息的角度是形成形貌衬度的关键因素。不同大小的形貌细节要求的形貌衬度不同，该接收角的形成方式也不同。低倍时，形貌像的空间跨度大，要求的形貌衬度也大，需探头、样品和电子束之间形成一定的角度才能获得充分的形貌像。该角度有一个最佳值，探头位置不同，这个值也不同，形成的形貌像空间感也存在差异。高倍时，形貌空间跨度小，低角度电子信息即可满足形貌衬度的形成需求。此时避免电子信息的扩散对形貌像的影响就极为关键，充分获取低角度二次电子将成为测试时的首选。形貌衬度虽是形成表面形貌像的基础，但并不是唯一因素，要获取充足的形貌像，其他衬度的影响也不可忽视。下面将对形成形貌像的其他衬度加以探讨。二、二次电子衬度和边缘效应一直以来的主流观点都认为：二次电子衬度和边缘效应是形成扫描电镜表面形貌像的主导因素。各电镜厂家都把如何充分获取样品的二次电子做为形成高分辨形貌像的首选，对探头位置的设计，也以充分获取二次电子为目的来展开。这一理论体系的形成依据是：1. 二次电子的溢出量与样品表面斜率相对应，在边缘处的溢出最多。而表面形貌像可看成是不同斜率的平面所组成，故二次电子衬度和边缘效应含有充分的样品表面形貌信息。2. 二次电子能量低，在样品中扩散小，对样品表面那些极细小的细节影响小，分辨能力强，图像清晰度高。 但实际情况却往往于此相反。如下图：右图中二次电子衬度及边缘效应充足，但形貌信息相较左图却十分的贫乏，并在形貌像上带有极为明显的假象。为什么会出现这种与目前主流观点完全不一样的结果？原因何在？这还是要从扫描电镜形貌像的形成因素说起。表面形貌像呈现的是表面形貌高低起伏的三维信息，图像中必须含有两个重要的参数：方向与大小。表述一个斜面，需提供与该斜面相关的两个重要参数：斜率大小和斜面指向，这是向量的概念。二次电子衬度对斜率大小的呈现极为明显，亮、暗差异大；却对斜面指向的呈现极差。对形貌像来说，斜面指向形成的衬度差异对形成形貌像往往更重要。因此由二次电子衬度和边缘效应形成的图像只具二维特性，无法呈现形貌像的三维特征，失去形貌细节也在所难免。探头对样品信息的接收角所形成的形貌衬度能充分表达形貌像的指向差异。因此下探头即便接收的背散射电子较多，对斜率大小的表现较差，但呈现的形貌形态却更充足。任何信息都有其适用范围，在适用范围内总扮演着关键角色。二次电子衬度和边缘效应虽然对斜面指向不敏感，但对斜率大小却极度敏感，该特性能强化平面和斜面区域整体的衬度差异，有利于对区域整体进行区分。区域在形貌像中占比越小，被区分的优势就越大。需要注意：此时区域之间的衬度表述，并非该区域成分和密度的不同，而是各区域中斜面数量和斜率大小的差异。观察区域在图像中面积占比越低，区域中的形貌细节越难分辨，采用形貌衬度对区域进行区分也越难。此时，二次电子衬度和边缘效应对区域进行区分的作用也就越大，如下例：以上是钢铁表面的缺陷，在500倍时采用下探头是无法区分A、B两个区域有哪些不同，很容易被误认为是两块完全相同的平面。但是采用上探头（二次电子衬度优异）发现这两个区域存在非常明显的不同，放大到2万倍，可见区域A和B在形态上的差别巨大，A区域比B区域的起伏大。二次电子衬度和边缘效应的强弱可通过探头和工作距离的选择加以调整。对这一衬度的合理利用，可拓展对样品形貌特征进行分析的手段，获得更充分的形貌信息。此外，充分的运用二次电子，还有利于利用“电位衬度”来扩展对样品表面形貌信息进行分析的方法。三、电位衬度电位衬度：样品表面由于存在少量荷电场，对样品某些电子信息的溢出量产生影响而形成的衬度。影响因素：由于荷电场较弱，受影响的主要是二次电子，背散射电子的溢出量受影响较小。实用方向：样品表面存在有机物污染、局部氧化或晶体结构的改变。这些变化采用Z衬度很难观察到，而形成荷电场强度及位置的些微差异所产生的电位衬度却较明显。该特性在进行样品失效分析时对找出性能改变的区域，作用极其明显。实例展示及分析：A）智能玻璃表面的有机物污染表面镀膜的智能玻璃，通电后总是有明显的光晕出现。该部位用扫描电镜进行微观检测。结果如下：镜筒内（上）探头，SE为主，Z衬度较差。相较于样品仓（下）探头，BSE为主，出现以上类似Z衬度所形成的光斑图案的几率和强度要低，但结果却完全与常规认识相背离。原因何在？从探头的改变对结果影响判断，该图案不是Z衬度所形成，否则下探头图案将更为明显。图案形状如同液体滴在块体上所形成，怀疑为有机液滴落在薄膜表面，造成该处漏电能力减弱，形成局部的弱荷电场，影响二次电子的溢出而酿成电位衬度。背散射电子未受到荷电场的影响，薄薄的液滴层形成的Z衬度又小，故下探头无法呈现反映液滴污染的任何电子信息。能谱分析该处的碳含量略高一些。客户清洗设备，排除任何有机污染的因素，该现象消失。B）铁、钴、镍合金框架表面的氧化斑采用能谱分析颗粒物部位，多出硅和氧的成分信息，说明这里可能存在夹杂物，但含量极少用Z衬度很难区别。而硅、氧造成了其存在区域的漏电能力下降，使得该处的电位衬度极为明显。由此我们可轻松找到材料的缺陷点。通过以上实例可见，材料的缺陷，往往会由于工艺问题使某些部位局部被氧化或污染。这类缺陷采用Z衬度往往很难观察到，而采用电位衬度就会很容易找到。只有在大工作距离下，才可轻松切换样品仓和镜筒探头以分别对某个区域进行观察，针对形貌像所表现出的电位衬度差异，往往很容易找到样品的失效点并分析原因。二次电子和背散射电子都有其善于呈现的衬度信息。二次电子在二次电子衬度、边缘效应和电位衬度的展现上优势明显，上面已经充分的探讨。背散射电子在Z衬度和晶粒取向衬度（电子通衬度ECCI）的表现上更加的优异，下面将分别加以介绍。四、Z衬度Z衬度：由样品各个组成相的平均原子序数（Z）及密度差异所形成的图像衬度。形成因素：相同条件下，SE和BSE的溢出量和散射角会随组成样品的原子序数及密度的不同而不同，造成探头对其的接收量出现差异而形成Z衬度。背散射电子在量的改变上较二次电子更强烈，因此形成的Z衬度更大，灰度差异更明晰。实例展示并探讨：A）高分辨扫描电镜的样品仓探头比镜筒内探头接收到的背散射电子更多，形成的图像中Z衬度更明显。B）样品仓、镜筒、背散射电子探头的Z衬度结果对比。合金钢，能谱图中1、2、3三个区域的色彩，绿色：铁；红色：钨；绿黄：铁、铬。拟合下探头图像所展现的灰度差。低加速电压下，三种探头所形成的Z衬度差异将减弱。五、晶粒取向衬度晶粒取向衬度：晶体材料的晶粒取向差异会造成探头获取的电子信息出现差别，形成的衬度。与EBSD表述的信息有一定的对应性，但对晶粒取向变化的敏感度要远低于EBSD。也称“电子通道衬度”（ECCI），但命名原因及依据不明。形成缘由：从晶体表面溢出的电子信息会随晶粒取向的差异而不同。表现为信息的溢出量及取向上出现差别，使处于固定位置的探头所接收到的电子信息在数量上出现区别，形成表述晶粒取向差别的衬度。背散射电子受晶粒取向不同而出现的衬度差 异较二次电子更为强烈，这与两种电子信息在Z衬度上的表现基本一致。实例展示及探讨：A）zeiss电镜采用三种探头模式观察钢的表面（倍率：×5K）B）日立Regulus8230样品仓和镜筒探头的各种组合结果六、结束语扫描电镜表面形貌像是由呈现表面各种形貌信息的形貌衬度、二次电子衬度及边缘效应、电位衬度、Z衬度及晶粒取向衬度共同形成。其中形貌衬度是形成形貌像的基础，其余衬度叠加在形貌衬度之上，形成完整的表面形貌像。形貌衬度：该衬度的缺失，形貌像将只具有二维特性。形成形貌衬度的关键在于探头接收样品信息的角度，而样品信息（SE\BSE）的能量会对形貌细节的分辨产生影响。背散射电子，因能量较高，在样品中扩散范围较大，对直径小于几十纳米的细节或10万倍以上高倍率图像的清晰度影响较大，对直径十纳米以下细节的辨析度影响极大。虽然二次电子能量较弱，但其对5纳米以下的样品细节或30万倍以上图像清晰度和辨析度还是有明显的影响。低密度样品，以上受影响的放大倍率阈值也会相应降低。探头对信息接收角度的形成方式应依据所需获取的样品信息的特性和样品本身特征来做出合理的选择。样品的表面形貌起伏大于20纳米，所需的形貌衬度较大，需要探头、样品和电子束之间形成一定夹角才能满足需求。背散射电子的扩散，不足以掩盖掉这些细节的展现，相对于形成充分的形貌衬度来说，处于次要地位。此时应选择大工作距离，充分利用样品仓探头对样品信息进行接收，再结合镜筒内探头接收的样品信息给予加持，才能充分展现样品的形貌特征。样品表面起伏越大，样品仓探头在形成形貌像中的占比也相应提高，才有利于充分获取样品的表面形貌信息，形成的表面形貌像也更为充盈。样品表面起伏小于20纳米，所需的形貌衬度较小，溢出样品表面的电子信息角度即能满足形成表面形貌像所需的形貌衬度。此时背散射电子对形貌细节影响将成为形成表面形貌像的主要障碍，必须加以排除。充分利用镜筒内探头，排除样品仓探头的影响将成为获取形貌像电子信息的唯一选择。此时，镜筒内探头能否充分获取低角度电子信息是形成形貌像的症结所在。在实际操作中，选择小工作距离及镜筒内探头的组合就极为关键。有些电镜厂家在物镜下部设置的低角度电子信息转换板，有助于镜筒内探头对低角度电子信息的接收，充分运用该转换板将使得表面形貌像的立体感更加充分，形貌信息更为充实。二次电子衬度与边缘效应：一直以来的主流观点都认为该衬度是形成表面形貌像的基础。但该衬度因缺失对斜面指向因素的呈现，故无法表现形貌像的空间位置信息。由其形成的形貌像对形貌斜面的斜率大小表现充分，而对斜面的指向却没有体现，故形貌像只具二维特性。该衬度容易与Z衬度相混淆而出现形貌假象，但也能够加强斜面区域的衬度，有利于低倍时对形貌不同但组成成分相近的区域进行区分，如多层膜的膜层分割等。电位衬度：该衬度是由样品表面形成的少量荷电场引起的电子信息溢出异常所形成。背散射电子能量较大，信息的溢出量不易受该荷电场影响，故不存在该衬度或存在的衬度值较小。利用不同探头在接收样品信息时，对电位衬度的呈现差异，可对样品中被污染、氧化或发生晶体结构改变而形成漏电能力出现变化的部位，进行区分及分析。这在样品的失效分析中意义重大。Z衬度：由样品组成相的平均原子序数及密度不同所形成的信息衬度。背散射电子从样品表面溢出的数量和角度受样品的组成成份和密度的影响较大，由其为主形成的表面形貌像中，Z衬度的差值更大，图像更锐利，边缘更明晰，但表面细节较差。以二次电子为主形成的形貌像，具有的Z衬度差值较小，图像锐利度不足但细节更丰富。晶粒取向衬度：晶体的晶粒取向差异所形成的信息衬度。主流的称谓是：电子通道衬度（ECCI），命名的原由不明。该衬度如同Z衬度，背散射电子对其的呈现更为明显。对各种衬度信息的充分认识，将有助于正确理解形貌像上各种形貌信息的形成缘由。是正确选择扫描电镜测试条件，获取充分且全面的表面形貌像的基础，必须加以重视。参考书籍：《扫描电镜与能谱仪分析技术》 张大同 2009年2月1日 华南理工出版社《微分析物理及其应用》 丁泽军等 2009年1月 中科大出版社《自然辩证法》 恩格斯 于光远等译 1984年10月 人民出版社 《显微传》 章效峰 2015年10月 清华大学出版社作者简介：林中清，1987年入职安徽大学现代实验技术中心从事扫描电镜管理及测试工作。32年的电镜知识及操作经验的积累，渐渐凝结成其对扫描电镜全新的认识和理论，使其获得与众不同的完美测试结果和疑难样品应对方案，在同行中拥有很高的声望。2011年在利用PHOTOSHIOP 对扫描电镜图片进行伪彩处理方面的突破，其电镜显微摄影作品分别被《中国卫生影像》、《科学画报》、《中国国家地理》等杂志所收录、在全国性的显微摄影大赛中多次获奖。 延伸阅读：【系列专题：安徽大学林中清33载扫描电镜经验谈】林中清系列约稿互动贴链接（点击留言，与林老师留言互动）：https://bbs.instrument.com.cn/topic/7656289_1【专家约稿招募】为促进电子显微学研究、电镜应用技术交流，打破时空壁垒，仪器信息网邀请电子显微学领域研究、技术、应用专家，以约稿分享形式，与大家共享电子显微学相关研究、技术、应用进展及经验等。同时，每期约稿将在仪器信息网社区电子显微镜版块发布对应互动贴，便于约稿专家、网友线上沟通互动。若您有电子显微学相关研究、技术、应用、经验等愿意以约稿形式共享，欢迎邮件投稿或沟通（邮箱：yanglz@instrument.com.cn）。本期分享的是林中清老师为大家整理的33载扫描电镜经验谈之扫描电镜的衬度信息与表面形貌像，以飨读者。（本文经授权发布，分享内容为作者个人观点，仅供读者学习参考，不代表本网观点。）

p style="text-align: center "strong第三届电镜网络会议（iCEM 2017）特邀报告/strong/pp style="text-align: center "strong原位扫描电子显微学及其在纳米科技方面的应用/strong/pp style="text-align: center "strongimg width="230" height="307" title="陈清.jpg" style="width: 230px height: 307px " src="http://img1.17img.cn/17img/images/201705/insimg/f88b957c-19bb-4a3e-bb89-eec4e36b6d92.jpg" border="0" vspace="0" hspace="0"//strong/pp style="text-align: center "strong陈清 教授/strong/pp style="text-align: center "strong北京大学/strong/ppstrong　　报告摘要：/strong/pp　　本报告将重点介绍扫描电子显微学及原位扫描电子显微学的发展和在纳米材料、纳米加工和纳米器件研究中应用。具体包括：/pp　　1）扫描电镜基础和对纳米材料的表征。/pp　　2）原位加工和原位操纵方法和最新进展。/pp　　3）纳米材料的原位物性测量，及纳米材料的结构与性能关系研究。/pp　　4）纳米器件的原位制备和性能测量。/ppstrong　　报告人简介：/strong/pp　　陈清，北京大学教授，信息科学技术学院物理电子学研究所所长，纳米器件物理与化学教育部重点实验室副主任。1988年于北京大学物理系获得学士学位，1994年在北京科技大学材料物理系获得博士学位。2001年回到北京大学工作前，曾在英国剑桥大学、日本金属材料研究所和美国亚利桑那州立大学学习或工作。2009年入选基金委杰出青年，2014年入选国家百千万人才工程， 2015年被评为科学中国人2014年年度人物。享受过政府特殊津贴。/pp　　她在纳米材料的表征和结构与性能的关系、纳米操纵和纳米加工、及纳米器件的制备和性能研究方面做出了多项创新性成果，已发表170余篇SCI论文，总他引7600余次；h因子38。 她还是17项授权国家发明专利的主要发明人。2008年获得Thomson Reuters“中国卓越研究奖”， 2010年获得国家自然科学二等奖。/pp　　strong报告时间：2017年6月22日下午/strong/pp　strong　立即免费报名：a title="" href="http://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/iCEM2017/" target="_blank"http://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/iCEM2017//a/strongbr//pp style="text-align: center " a title="" href="http://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/iCEM2017/" target="_self"img title="点击免费报名参会.jpg" src="http://img1.17img.cn/17img/images/201705/insimg/c9793b9d-a3ec-4cb2-a453-330b3d0cbf03.jpg"//a/p

AutoScan Inspec全自动桌面三维检测系统将快速准确的三维扫描测量和功能齐全的三维全尺寸检测进行创新性结合，专注于小尺寸精密工件扫描，一体式外观设计，直观的用户界面，引导式操作方式，融合AI智能补扫算法；全自动高效扫描、工业级高精度、出色的数据细节、全尺寸检测流程，保证三维测量和质量控制快速完成，可广泛应用于塑料零部件、叶轮叶片、小尺寸铸件等逆向设计、批量化检测及质量控制等工业场景。● 计量级高精度高性能硬件搭配强劲的3D视觉算法，精度≤10μm，满足工业检测、质量控制等应用要求。● 全自动高效扫描一体式机身搭载三轴设计，自动亮度调节功能，一键快速获取扫描数据。支持多件扫描，数据自动分别存储，快速高效。●出色的数据细节得益于500万像素工业相机，高分辨率展示数据细节。●智能软件支持AI智能补扫算法，智能规划补扫路径，同时兼具路径存储功能，针对重复样品可以导入路径智能扫描。可轻松导出数据至CAD/CAM软件，对接Geomagic Control X、PolyWorks|Inspector、Geomagic Design X 等检测和逆向软件。●应用非接触测量质量检测逆向工程产品设计创新点：1.AutoScan Inspec全自动桌面三维检测系统将快速精准的三维扫描测量和功能齐全的三维全尺寸检测进行创新性结合；2.计量级高精度：高性能硬件搭配强劲的3D视觉算法，精度≤ 10μ m，满足工业检测、质量控制等应用要求；3.500万像素工业相机，高分辨率展示数据细节。先临三维全自动桌面检测三维扫描仪AutoScan Inspec

由于石棉的纤维柔软，具有绝缘、绝热、隔音、耐高温、耐酸碱、耐腐蚀和耐磨等特性，在商业、公共事业和工业设施中有相当多的用途，例如耐火的石棉纺织品、输水管、绝缘板等石棉水泥制品，及各种绝热材料等广泛的应用于建筑、电器、汽车、家庭用品等。 那么我们来看看怎么用日立台式扫描电镜来观测，分析石棉吧！ 样品制备滤膜剪切：利用滤膜或聚碳酸酯过滤器在大气环境下收集样品，然后用剪刀剪切。粘贴到样品台：用碳胶带完全覆盖住样品台，并把样品粘贴上。 样品寻找---直观高效没有喷金的情况下，用低真空BSE图像进行观察。BSE图像的成分衬度非常明显，能直观地观测到样品分布。 石棉纤维测试 该产品更多信息请关注:http://www.instrument.com.cn/netshow/SH102446/C220216.htm 关于日立高新技术公司: 　　日立高新技术公司是一家全球雇员超过10,000人，有百余处经营网点的跨国公司。企业发展目标是“成为独步全球的高新技术和解决方案提供商”，即兼有掌握最先进技术水准的开发、设计、制造能力和满足企业不同需求的解决方案提供商身份的综合性高新技术公司。日立高新技术公司的生命科学系统本部，通过提供高端的科学仪器，提高了分析技术和工作效率，有力推进了生命科学领域的研究开发。我们衷心地希望通过所有的努力，为实现人类光明的未来贡献力量。　　更多信息请关注日立高新技术公司网站：http://www.hitachi-hitec.cn/

近年来，3D数字化技术在医疗行业的应用十分广泛，尤其是在口腔医学、骨科手术、矫形康复、生物医学工程等细分领域中，已成为数字化精准医疗基础手段之一。随着3D数字化技术在医疗领域的不断普及，在整形外科领域也逐渐被应用于临床治疗中，为患者带来福音。本期，小编将分享一则使用3D扫描技术帮助临床医生准确测量软组织扩张患者皮肤缺损表面积的应用案例。案例背景软组织扩张术作为一种革命性的整形外科治疗手段，已广泛应用于全身多个部位各种病损的治疗，在瘢痕修复、耳、鼻等多器官再造及体表肿瘤、先天性巨大痣等多个领域发挥着重要的作用。图片源自于网络小编解读：软组织扩张术是指将硅胶制成的软组织扩张器，经手术植入皮下或肌层下，通过定期注入生理盐水，使表面皮肤及软组织逐渐被延伸扩大，从而提供“额外”的皮肤和软组织，用以修复邻近组织的缺损。传统测量手段目前在临床上测量扩张皮肤面积的主要手段为薄膜涂色法、几何测量法、湿布取样法等。但这些方式存在一些弊端，如：1、测量过程较为复杂繁琐2、无法精确地实时评估扩张皮肤的表面积有多大3、无法精确地实时评估皮肤缺乏需要多少皮肤基于此，广州中山大学附属第一医院整形外科 刘祥厦课题组提出了一种创新性的方法，就是利用三维扫描技术在术前对皮肤缺损面积及扩张后获得的皮瓣表面积进行精确的评估。3D数字化解决方案（部分患者案例展示）3D扫描临床医生为患有先天性巨大痣及小耳畸形症病人实施皮肤软组织扩张术后，深圳木比白科技的技术人员利用先临三维EinScan Pro系列多功能三维扫描仪获取了患者软组织扩张后的皮肤表面积。扫描过程展示部分扫描数据展示测量分析获取患者耳、痣及扩张器的三维模型后，课题组李泽泉医生利用软件对患者正常耳表面积、先天性巨痣&小耳畸形、每次扩张后的组织扩张器及其底面积进行三维测量及对比分析。数据重建最后，根据这些三维扫描的测量结果和其他相关因素，如皮肤的质地和扩张的总体积，综合判断是否进行第二阶段的重建。目前，这个新型技术手段在深圳木比白科技有限公司的协助下已应用于临床治疗中，帮助医生准确地做出了11例软组织扩张器重建患者的术前决策，并成功进行软组织扩张的重建。经临床研究证明，3D扫描技术与其他测量方式相比具有简单快捷，测量精度高，抗干扰能力强，立体构建图像逼真等优点，在软组织扩张术治疗中为确定扩张器的尺寸和第二阶段手术时间提供了有效的基础数据保障，为整形外科医生的决策提供帮助，让术前设计更客观、更科学。END非常感谢广州中山大学附属第一医院整形外科和深圳木比白科技有限公司为此案例提供素材。

高附加值产品中元器件的表面形貌，包括几何形状和微观纹理，对于其公差、装配和功能至关重要。表面形貌对制造工艺的变化非常敏感，由不同工艺形成的表面复杂且多样。表面形貌会影响零件的摩擦学特性、磨损和使用寿命，例如航发叶片的表面会影响飞机的空气动力学性能和燃料使用效率。扫描白光干涉术（SWLI），也称为相干扫描干涉术（CSI），是用于测量材料表面形貌最精确的技术之一。作为一种光学测量手段，扫描白光干涉术先天具有高精度、快速、高数据密度和非接触式测量等优势，被广泛应用于精密光学、半导体、汽车及航天等先进制造与研究领域。扫描白光干涉仪光路结构与成像原理示意图扫描白光干涉术经过30多年发展，在制造和科研领域得到验证，成为表面形貌高精度测量技术的标杆，尤其在半导体、精密光学和消费电子等产业的推动下，其测量功能和性能得到了持续提升。以扫描白光干涉术为代表的光学测量技术，充分利用了光的波动属性以及干涉和全息成像的优势，以光的波长作为“尺子”，在先进的光学、电子和机械元器件的支撑下，将在先进制造与智能制造中充当越来越重要的角色。第二届精密测量技术与先进制造网络会议期间，两位专家将现场分享扫描白光干涉技术及其在半导体行业的典型应用。部分报告预告如下，点击报名  》》》中国科学院上海光学精密机械研究所研究员 苏榕《扫描白光干涉表面形貌测量技术：原理及应用》（点击报名）苏榕博士，研究员，博士生导师，中国科学院及上海市海外高层次人才引进。长期致力于超精密光学干涉成像与散射测量仪器与技术研究，聚焦基础理论、核心算法、校准技术、工业应用及相关国际标准制定。主持多项国家和省部级重点研发项目；发表论文40余篇，书籍章节2章，部分技术被国际顶尖仪器制造商采用。担任期刊《Light: Advanced Manufacturing》和《Nanomanufacturing and Metrology》编委及《激光与光电子学进展》青年编委，SPIE-Photonics Europe、EOSAM和ASPE技术委员会委员，全国产品几何技术规范标准化技术委员会委员，中国计量测试学会计量仪器专业委员会委员，中国仪器仪表学会显微分会委员。【报告摘要】扫描白光干涉术是目前最精确的表面形貌测量技术之一，被广泛应用于各种工业与科研领域。从发明至今的三十余年间，在精密光学、半导体、汽车及航天等先进制造领域的需求牵引下，该技术不断取得新的进展与突破。本报告将介绍白光干涉技术的原理与应用，以及近年来的技术创新。布鲁克（北京）科技有限公司应用经理 黄鹤《先进封装工艺中三维几何尺寸监控的挑战与布鲁克白光干涉技术的计量解决方案》（点击报名）黄鹤博士现任布鲁克公司纳米表面仪器部中国区应用经理。服务于工艺设备和测量仪器行业超过15年，尤其在半导体、数据存储和材料表面工程研究领域拥有丰富经验，是一名材料学博士。黄鹤博士先后在香港理工大学任助研；在应用材料公司任高级应用工程师，负责化学机械抛光工艺和缺陷检测应用；在维易科公司任应用科学家，负责白光干涉三维形貌技术推广与导入。【报告摘要】在半导体行业路线图对不断缩小晶体管几何尺寸的快速追求的推动下，PCB/HDI尤其载板制造商正在通过更薄的高密度互连，将多芯片模块（包含芯粒）借由基板上开发更小、更密集的功能。在大批量生产过程中，对于更细线宽的铜线（Line）、更小开口的孔洞（Via）和深沟槽（Trench）及层间对位偏差（Overlay）等三维几何尺寸的测量面临多种新的挑战。而具备计量功能的 ContourSP 大型面板高效测量系统专门设计用于在制造过程中测量载板面板的每一层，确保在生产过程中最短的工艺开发时间、最高的产量、最长的正常运行时间和最稳定的测量结果。此外，本报告也会简略介绍白光干涉技术在晶圆封装时再布线工艺（RDL）监控中的典型应用。更多详细日程如下：第二届精密测量与先进制造主题网络研讨会报告时间报告题目报告嘉宾单位职称12月14日上午09:00-09:30纳米级微区形态性能参数激光差动共焦多谱联用测量技术及仪器赵维谦北京理工大学 光电学院院长09:30-10:00扫描白光干涉表面形貌测量技术：原理及应用苏榕中国科学院上海光学精密机械研究所研究员10:00-10:30先进封装工艺中三维几何尺寸监控的挑战与布鲁克白光干涉技术的计量解决方案黄鹤布鲁克（北京）科技有限公司应用经理10:30-11:00激光干涉精密测量技术、仪器及应用谈宜东清华大学 精密仪器系系副主任/副教授11:00-11:30关节类坐标测量技术于连栋中国石油大学（华东）教授12月14日下午14:00-14:30基于相位辅助的复杂属性表面全场三维测量技术张宗华河北工业大学教授14:30-15:00短脉冲光频梳激光测距技术杨睿韬哈尔滨工业大学副研究员15:00-15:30机器人精密减速器及关节测试技术程慧明北京工业大学 博士研究生15:30-16:00纳米尺度精密计量技术与国家量值体系施玉书中国计量科学研究院纳米计量研究室主任/副研究员16:00-16:30尺寸测量，从检验走向控制与孪生李明上海大学教授为促进精密测量技术发展和应用，助力制造业高质量发展，仪器信息网联合哈尔滨工业大学精密仪器工程研究院，将于2023年12月14日举办第二届精密测量技术与先进制造网络会议，邀请业内资深专家及仪器企业技术专家分享主题报告，就制造中的精密测量技术等进行深入的交流探讨。报名页面：https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/precisionmes2023/

项目编号：1371-2241GDGH1149项目名称：透射电子显微镜与扫描电镜大面积SDD能谱仪等设备采购采购方式：公开招标预算金额：4,410,000.00元采购需求：合同包1(透射电子显微镜与扫描电镜大面积SDD能谱仪等设备采购):合同包预算金额：4,410,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)1-1其他专用仪器仪表扫描电镜大面积SDD能谱仪1(套)详见采购文件890,000.00-1-2其他专用仪器仪表120KV透射电子显微镜1(套)详见采购文件3,520,000.00-本合同包不接受联合体投标合同履行期限：进口免税产品：扫描电镜大面积SDD能谱仪的合同签订后120天内交付使用；120kv透射电子显微镜的合同签订后300天内交付使用。

金属的电解抛光，是一种传统而常用的表面处理技术，通过可控的电化学反应使金属表面溶解（凸起部分溶解速度快）来降低表面粗糙度。利用电解抛光技术，可以获得纳米级粗糙度的镜面光泽表面，而且可以去除前序机械加工遗留的表面和亚表面损伤层。不过，不为一般仅使用该技术的研究者注意的是，在一定的电化学条件下，电解抛光后的金属表面会出现纳米级的图案（pattern），其中对金属铝的研究较多。研究者发现，金属铝（Al）经短时间电解抛光处理后，表面会出现周期或特征周期为几十至一百多纳米的有序条纹状（stripe）、六边顶角状（hexagon）及点状（dot）等多种有序或无序图案。这一现象，已经引起了研究者对其在金属表面微纳工程、微纳模板加工、微纳电子学等领域应用的关注。研究者已经开始深入挖掘纳米图案形成的机理，关键是揭示材料表面结构和界面电化学行为决定纳米图案类型及周期的物理化学规律。但是，目前已经发表的研究，缺少对多晶和单晶铝表面纳米图案形成行为的系统实验研究，定性的多定量的少，零散的多系统的少，难以用来检验和改进现有的表面纳米图案形成理论。其中一个被长期忽略的关键问题，就是铝表面结构差异导致的纳米图案的各向异性。哈尔滨工业大学化工与化学学院的甘阳教授和他指导的博士生袁原（论文第一作者）、张丹博士、杨春晖教授及机电学院的张飞虎教授，首次采用电子束背散射衍射（EBSD）对电解抛光后的多晶铝和单晶铝进行了定量的表面晶体学取向分析，并采用蔡司的Sapphire Supra 55场发射扫描电镜（FE-SEM）和原子力显微镜（AFM）对纳米图案的类型（type）和周期（size）进行了系统表征和量化分析，揭示了铝电解抛光表面纳米图案的类型和周期对于表面结构和晶体学取向的依赖性的规律。同时，基于表面物理化学的理论框架，对结果进行了深入分析和讨论，定性解释了大部分的实验结果，并指明了下一步的研究方向。研究结果近期以长文形式发表于电化学领域的国际知名期刊Journal of the Electrochemical Society，国际同行评审专家认为该工作是对本领域的重要贡献。甘阳教授课题组首先对多种铝样品的电解抛光表面纳米图案进行了系统的研究：1）多晶铝（polycrystalline Al）中不同取向的晶粒；2）切割角可控的系列单晶铝（monocrystalline Al）样品。通过EBSD测试获得晶粒表面的晶体学取向图，并结合定位SEM表征，他们发现，铝电解抛光表面纳米图案对晶面取向具有依赖性（如图1所示为多晶样品中三个毗邻的晶粒）。（背景知识：描述铝表面晶体学取向的EBSD反极图三角（IPF triangle）中，可划分为围绕三个低指数晶面方向（primary direction，主取向）的晶体学主取向区域—[101] //ND，[001] //ND和[111]//ND，单个晶粒或单晶的表面取向偏离主取向的角度称为取向差角（misorientation angle）。）通过对数十个不同取向的多晶晶粒的逐一定位SEM表征，他们发现了一系列未被报道过的现象（图2）：1）纳米图案类型和周期对晶面取向的依赖性是否显著取决于所属的主取向区域；2）在同一主取向区域内，纳米图案类型和周期随着取向差角的改变呈现渐变性规律；3）对于具有相同取向差角但偏向不同主取向的晶面，纳米图案类型和周期也发生变化；4）在两个或三个主取向的交界处，纳米图案类型和周期基本相同。他们进一步测试和分析了一系列取向差角可控的单晶铝样品（图3），证实了上述多晶样品的结果，并揭示出目前尚难以解释的单晶和多晶样品间的图案周期性大小的差异问题（图4）。图1 （a）电解抛光多晶Al样品的EBSD分析IPF图，（b）放大后的IPF图和IPF三角显示三个相邻的A、B、C晶粒及其所属的主取向区域和各自的晶面取向差角值，（c）三个晶粒的定位SEM形貌图像，相邻晶粒被晶界隔开并交于一点，（d–f）三个晶粒的AFM形貌图像和细节放大图及FFT分析图，（g–i）为对应AFM图中白线段的线轮廓分析图。图2 （a）电解抛光后不同晶面取向的多晶铝晶粒在IPF三角中的位置图，（b–y）不同晶粒表面的SEM形貌图和对应的FFT分析图（SEM图上均给出了取向差角和图案的周期）。图3 （a）不同晶面取向的单晶铝样品在IPF三角中的位置图，（b–s）电解抛光后不同单晶样品表面的SEM形貌图和对应的FFT分析图（SEM图上均给出了取向差角和图案的周期）。图4（a，b）单晶和多晶样品的表面纳米图案周期（L）随取向差角（θ）变化的L–θ图，上方刻图轴给出了三个主取向区域内与θ对应的所属表面的表面台阶宽度（w）。（c，d）单晶和多晶样品的各晶面在IPF三角中的对应位置图。L–θ图和IPF三角中的几条连线，表示的是连接了近似位于延某个主取向辐射出去的直线上的若干晶面（及IPF三角中的若干对应的点）。为了解释实验结果，他们建立了一系列不同取向晶面的表面原子排列的“平台–台阶”模型（图5），还特别关注了更复杂的“平台–台阶–扭折”表面结构（图6）。尽管尚没有考虑表面驰豫、重构等的影响，他们根据表面结构特征随取向差角的变化规律，解释了实验观察到的纳米图案类型和取向差角的关系。比如，在一个主取向区域内，随着取向差角的增大，表面台阶宽度逐渐减小而不是突变，界面能的变化也应该呈现渐变的特性，这就解释了纳米图案的类型随取向差角改变的渐变现象。此外，在两个或三个主取向区域的交界处，大取向差的晶面的表面结构（平台宽度和台阶处的原子排列）很相似，所以导致纳米图案的类型基本相同。而不考虑上述结构特征，就很难解释实验上观察到的现象。图5（a–f）[001]和[101]//ND主取向区域内6个不同取向差角的晶面的表面“平台–台阶”结构模型的正视图和侧视图。表面单胞用红色平行四边形或矩形表示。（g）6个晶面在IPF三角中的位置图。图6 （a–c）[001]//ND主取向区域内3个取向差角相等但偏向不同方向的晶面的表面“平台–台阶–扭折”结构模型的正视图。表面单胞用红色平行四边形表示，特别给出了平均台阶宽度。（d）3个晶面在IPF三角中的位置图。图7 在电解抛光过程中吸附分子在不同平台宽度“平台–台阶”表面的扩散和脱附行为差异的示意图。（a）宽平台表面；（b）窄平台表面。他们基于表面结构影响电化学溶解和界面分子吸附、扩散行为的理论框架，对文献中现有的“吸附–溶解”理论进行了深化，进一步提出了表面平台宽度和台阶位点的数量会影响电解抛光液中的表面吸附分子（如乙醇）在表面的扩散（以扩散系数表征）和吸脱附（脱附速率常数）行为。取向差角越大，平台宽度越窄（台阶密度也越大），分子在表面的扩散障碍越大，但同时脱附也更困难，这二者的竞争导致图案的周期先增加并逐渐达到峰值后减小。以外，他们还提出了一套结合SEM测量和图像的FFT处理的分析步骤，以此为基准来准确确定准无序纳米图案的平均周期大小，有效避免了单点测量的较大偏差。以上研究工作，对铝及其它金属（如Ti，Ta，Zn，W）及合金的电解抛光表面纳米图案化研究具有普通意义。甘阳教授课题组正在继续深入研究更多实验因素的影响、图案演化的计算机模拟及理论模型的建立，力图全面揭示金属电解抛光表面纳米图案的形成机理。该研究得到了国家自然科学基金重点项目、国家重点研发计划项目等的资助。恭喜哈尔滨工业大学化工与化学学院甘阳老师课题组使用蔡司场发射扫描电镜做科学研究，取得丰硕的科研成果！

第三代DSC（2017全新升级）YND系列上海盈诺精密仪器有限公司经过长时间的测试，证明升级版YND系列差示扫描量热仪，可全面替代我公司原有DSC系列差示扫描量热仪,且使用性、适用性均有明显提高，更加方便用户的操作、节省操作空间、无需另购配套电脑。1：内嵌10.8寸超大工业级别的电脑，无需另配电脑，一体化设备；2：仪器右侧标配四路USB接口，方便用户外接鼠标、键盘、打印机，U盘等外部设备，方便用户使用；3：仪器内部USB通讯接口，相对于原有仪器，稳定性更强、通用性强；4：预安装软件，无电脑适应性问题，减少由于更换使用电脑，安装驱动错误导致的连接等问题。5：新结构更简洁，内嵌式电脑拥有32GB容量、2GB系统内存，操作方式触摸屏与鼠键均可使用 我公司从即日起，将全面推出第三代差示扫描量热仪YND系列，并将逐步替代第二代产品，欢迎新老客户自由选择第二代、第三代产品。

Ken Coleman爱尔兰混合媒体艺术家科技发展日新月异，数字媒体进驻我们的生活为时已久，技术革新为生活带来便利的同时，也使人们得以揽阅世间各地的诸多新知。当数字技术与艺术相结合，传统平面画布上开始生出新的维度。眼下，越来越多的艺术家开始利用多种3D数字化技术手段，不断模糊着虚拟和现实的边界，勾勒未来视觉平面艺术新趋势。近期，Ken Coleman在Facebook平台分享了新作品制作过程。在这幅作品创作中，Ken使用EinScan-SE桌面式三维扫描仪去获取现实中英雄人物手办的三维数据，然后再利用三维数据进行创作视觉艺术海报。背景Ken Coleman是爱尔兰混合媒体艺术家。他的艺术灵感通常取自现实中的素材，然后利用摄影、3D建模软件、数字绘画等多种新兴技术，创作出令人惊叹的虚拟科幻系视觉艺术作品。图片源于Ken Coleman的InstagramKen擅长于将3D模型运用到视觉设计中，借助3D模型的渲染效果来呈现不一样的场景，带来更具感染力的视觉效果。因其独树一帜的艺术风格，Ken的作品不仅受到海外观众的喜爱，还经常收到海外知名乐队及出版社的邀请，为其创作插画。图片源于art of Ken Coleman官网但是在创作的过程中，平面摄影技术的局限性以及从零开始制作基础三维模型的繁琐，加之三维建模的制作周期较长，让Ken总是无法高效地将自己的艺术灵感充分的展示出来。3D扫描作为数据获取的工具，可以提高模型创建的效率，降低对建模人员的要求，便于艺术家创作灵感的实现。创作过程第一步：3D扫描Ken将英雄手办放置在EinScan-SE桌面式三维扫描仪的转盘上，获取了手办高质量的完整三维数据模型。第二步：修模数据获取完成后，Ken将模型导入三维建模设计软件Zbrush中刻画手办模型细节，并调整整体姿势造型。第三步：渲染将修好的模型导入KeyShot软件中，进行基础效果图渲染，导出合适角度的二维图片，作为主视觉素材使用。第四步：平面设计将渲染后的效果图导入Photoshop平面设计软件中，在人物的基础上使用数字绘画等技术完成作品。人物细节刻画添加视觉背景作品展示以上创作过程及作品展示图片均源于Ken Coleman的Facebook其他作品展示图片源于Ken Coleman的Instagram在艺术虚拟化越来越受欢迎的时代，科技正以光速赶超着人类的幻想，艺术家们也开始利用各种技术手段不断探索着艺术新形态。Ken Coleman把3D扫描技术运用到视觉设计创作里，将3D渲染的丰富表现力加载于作品中，为作品带来更新的美学，更自由的创作，更少的约束，以科技之力成就艺术创作。关于先临三维先临三维专注3D数字化及3D打印技术十余年，总部位于杭州，在德国斯图加特，美国旧金山设有子公司，是全球为数不多的拥有自主研发的“从3D数字化数据设计到3D打印直接制造”的软硬件一体化完整技术链的科技创新企业，提供“3D数字化-智能设计-3D打印”系统解决方案，应用于高端制造，精准医疗，定制消费等领域。公司致力于实现复杂结构产品的柔性生产，助力制造业高质量发展，让个性化产品走进亿万家庭，引领中高端消费。公司官网：www.shining3d.com

“根”本不一样的精彩——扫描电化学显微镜实现纳米级高分辨图像测试近日，天津大学纳米中心（TICNN）马雷教授课题组的在读博士生刘根利用自主研制的~50 nm探针和最小化应用电压方案，实现了扫描电化学纳米级别的成像，有效的解决了SECCM高分辨成像中液滴针尖的稳定性问题。其论文Topography Mapping with Scanning Electrochemical Cell Microscopy作为封面文章发表在Analytical Chemistry期刊上。△SECCM 纳米级高分辨图像扫描电化学显微镜能够能够同时实现样本被研究表面局部形貌和电化学信息获取，扫描探针与样本通过半月形微液滴接触，对样本形貌无损伤，无需脱水，固化、金属喷涂等复杂的预处理。还可以通过移液管向材料表面进行定量物质传送，因此SECCM在纳米材料沉积、电化学微传感器和电催化等方面有广泛的应用前景。△图为2022年帕克AFM奖学金获得者刘根与Park NX10原子力显微镜合照经过反复的测试与实验，该课题组利用自主研制的~50 nm直径探针及SECCM测试方案，最终得到了纳米级别的的高分辨率图像。同时也成功得到了~45 nm自组装单层金纳米颗粒的形貌和电化学产氢反应的活性图像。这项研究成果不仅能够在纳米尺度实现了SECCM的常规化测试，还能同时得到样品的形貌和电化学活性信息。该项研究成果为真正意义上的常规化测试迈出了坚实重要的一步，并极大扩展了SECCM在不同领域的应用。工欲善其事，必先利其器。Park NX 10在该研究起到了重要作用。“SECCM测试中使用的是50 nm左右的小探针，这意味着pA级别的小电流。而且多数时候，这一数值会小于1.0 pA。这对体系的稳定性有着极高的要求。而Park NX 10体系则很好的满足了这一需求。此外，Park AFM体系的z-方向位移台，可以稳定地运行0.1 μm/s的进针速度，提供0.1 nm的高分辨率，这均满足了SECCM测量中对硬件的极高要求，极大地增加了测试的可行性和成功率。”刘根同学介绍道。△2022年帕克AFM奖学金证书在此，Park表示将竭心为用户推出易于操作、测量精准、升级创新的AFM，助力科研。并预祝马雷教授及其课题组在未来可期的日子里取得更多优异的科研成果，为国家的纳米科技增光添彩！

前言：随着经济的发展和人民物质生活水平的提高，人们对于美的追求日益提高，个人护理用品和化妆品的需求也随之逐年增加。但是，近年来化妆品及个人护理品的质量安全新闻屡屡出现，化妆品安全问题越来越受到人们关注，因此对化妆品的质量管理和检测就尤为重要。滑石是一种含水的镁硅酸盐矿物，经过机械加工可以制成滑石粉，具有润滑性好和吸附力强等优点，被广泛运用于化妆品及个人护理产品中，例如爽身粉、粉底、隔离霜以及防晒产品等。滑石粉本身化学结构稳定，对人体并无危害。但是天然滑石矿与含有石棉成分的矿物常常共生，因此滑石粉原料中常伴有石棉杂质。而石棉已被国际公认为致癌物，因此各个国家和地区对滑石粉作为化妆品原料使用时，均会对其石棉残留物进行严格的控制要求。 图(1). 滑石（左）与石棉纤维（右），图片来源于网络在我国，《化妆品卫生规范》（2007年版）以及现行的《化妆品安全技术规范》（2015年版）都将石棉列为禁用物质，即不得作为化妆品原料使用的物质。此外在2010年的时候发布了《进出口化妆品中石棉的测定》（SN/T 2649.1-2010）这项出入境检验检疫行业标准。该测定标准中包括对试样进行X射线衍射分析方法和扫描电镜-能谱分析方法，其中通过扫描电镜检测出4个以上的石棉纤维粒子即判定该试样含有石棉，但是实际样品中的待检测粒子却是成千上万个的。因此，如何提高检测效率也是人们关注的问题。实验：日立台式电镜TM4000Ⅱ具有优良的自动化调节功能，可以配备续拍照-拼图软件Multi Zigzag以及能谱（EDS）探测器，对化妆品中的石棉检测的效率提高带来帮助。下面为大家介绍使用日立台式扫描电子显微镜TM4000Ⅱ检测石棉纤维的方法。步骤一：石棉纤维不喷金前处理制样将石棉纤维样品均匀放置在贴有导电胶的样品载台上。因为TM4000系列具有低真空功能，可以对不导电样品直接观察，因此不必对石棉纤维进行喷金前处理，避免对其形貌和元素分析产生干扰。步骤二：选择观察区域进行连续自动拍照通过TM4000Ⅱ标配的四分割背散射电子（BSE）探测器可以清晰的观察到石棉纤维结构，使用Multi Zigzag功能选择观察区域及相关参数，软件会自动控制样品台移动进行大范围拍照，参数设置和拍照过程如图(2)所示。图(2). Multi Zigzag参数设置及拍照过程步骤三：选择观察区域进行连续自动拍照如图(3)所示，在自动拍照完成后，我们可以对各个区域的每一张图片进行检索查看，快速统计石棉纤维的数量。TM4000Ⅱ还具有坐标记忆功能，选中包含石棉纤维的图片，一键式操作样品台就可以自动回到该图片坐标的位置，然后对石棉纤维进行更细致的观察。图(3). 自动拍照结果检索及坐标记忆功能演示步骤四：对石棉纤维进行尺寸测量和能谱元素分析如图(4)所示，在样品台自动移动到特定石棉纤维的坐标后，可以对该石棉纤维进行尺寸测量和能谱测试，进一步确认其形态和元素组成。图(4). 石棉纤维尺寸测量和能谱测试结果总结：由以上述分析可知，利用日立台式电镜TM4000Ⅱ可以有效地对石棉纤维进行形貌和成分进行观察分析。这一检测方法将有助于对制品和环境中的石棉纤维进行快速准确检测，满足人类对自身工作生活环境的健康需求。日立台式电镜TM4000Ⅱ产品特点简化寻找视野\图像拍摄\图像确认等一系列操作过程公司介绍：日立科学仪器（北京）有限公司是世界500强日立集团旗下日立高新技术有限公司在北京设立的全资子公司。本公司秉承日立集团的使命、价值观和愿景，始终追寻“简化客户的高科技工艺”的企业理念,通过与客户的协同创新，积极为教育、科研、工业等领域的客户需求提供专业和优质的解决方案。 我们的主要产品包括：各类电子显微镜、原子力显微镜等表面科学仪器和前处理设备，以及各类色谱、光谱、电化学等分析仪器。为了更好地服务于中国广大的日立客户，公司目前在北京、上海、广州、西安、成都、武汉、沈阳等十几个主要城市设立有分公司、办事处或联络处等分支机构，直接为客户提供快速便捷的、专业优质的各类相关技术咨询、应用支持和售后技术服务，从而协助我们的客户实现其目标，共创美好未来。

p　　2017年12月29日，赛默飞宣布已完成收购桌面扫描电子显微镜(SEM)公司Phenom-World。 赛默飞将把该业务融入旗下分析仪器部门。交易的具体条款没有披露。/pp　　Phenom-World总部位于荷兰艾恩德霍芬，为研究和工业市场提供一流的桌面型扫描电镜以及成像和分析软件包。Phenom World台式SEM平台的加入增强了赛默飞在电子显微镜领域的领先地位，并为在材料科学、工业制造、生命科学和电子行业的客户扩展了入门级和台式SEM产品的选择。/ppbr//p

“根”本不一样的精彩——扫描电化学显微镜实现纳米级高分辨图像测试 近日，天津大学纳米中心（TICNN）马雷教授课题组的在读博士生刘根利用自主研制的~50 nm探针和最小化应用电压方案，实现了50 nm的电化学图像分辨率，从而解决了SECCM高分辨测试中液滴针尖的稳定性问题。其论文Topography Mapping with Scanning Electrochemical Cell Microscopy作为封面文章发表在Analytical Chemistry期刊上，原文链接：https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acs.analchem.1c04692。SECCM纳米级高分辨率图像扫描电化学显微镜能够能够同时实现样本被研究表面局部形貌和电化学信息获取，扫描探针与样本通过半月形微液滴接触，对样本形貌无损伤，无需脱水，固化、金属喷涂等复杂的预处理。还可以通过移液管向材料表面进行定量物质传送，因此SECCM在纳米材料沉积、电化学微传感器和电催化等方面有广泛的应用前景。△图为2022年帕克AFM奖学金获得者刘根与Park NX10原子力显微镜合照 经过反复的测试与实验，该课题组利用自主研制的~50 nm直径探针及SECCM测试方案，最终得到了纳米级别的的高分辨率图像。同时也成功得到了~45 nm自组装单层金纳米颗粒的形貌和电化学产氢反应的活性图像。这项研究成果不仅能够在纳米尺度实现了SECCM的常规化测试，还能同时得到样品的形貌和电化学活性信息。该项研究成果为真正意义上的常规化测试迈出了坚实重要的一步，并极大扩展了SECCM在不同领域的应用。 工欲善其事，必先利其器。Park NX 10在该研究起到了重要作用。“SECCM测试中使用的是50 nm左右的小探针，这意味着pA级别的小电流。而且多数时候，这一数值会小于1.0 pA。这对体系的稳定性有着极高的要求。而Park NX 10体系则很好的满足了这一需求。此外，Park AFM体系的z-方向位移台，可以稳定地运行0.1 μm/s的进针速度，提供0.1 nm的高分辨率，这均满足了SECCM测量中对硬件的极高要求，极大地增加了测试的可行性和成功率。”刘根同学介绍道。在此，Park表示将竭心为用户推出易于操作、测量精准、升级创新的AFM，助力科研。并预祝马雷教授课题组能够取得更多优异的科研成果，为国家的纳米科技增光添彩！

基于现实的数字对象以及3D打印越来越受到关注，无论是视觉效果工作室，还是游戏工作室，抑或是想将艺术品以数码形式保存的博物馆，都在期待着这方面的技术革新。加拿大Creaform(格瑞方姆 音译)公司正是看到了这一商机，推出了名为“Go!SCAN 3D(去!3D扫描)”的三维扫描设备。　　该扫描仪的重量仅为1.1公斤，能用单手轻松握住。Creaform公司总部位于加拿大魁北克省，在美国、法国、德国、中国、日本和印度设有办事处。据称，这款扫描仪扫描速度相当于其他竞争对手的10倍。它的大小与无绳电钻相当，安装有环绕着白色LED灯的摄像头，任何人无需经验都可以扣动开关对物体表面进行扫描。该扫描仪还能根据物体的几何形状，有无定位目标点均可扫描。扫描获得的图像可以通过该公司的软件进行分析，生成精度达0.1毫米的三维几何图像，所以可用于保存珍贵的建筑遗产。

2018年5月4日，滨松中国NanoZoomer新技术北京交流会成功举办，最新数字病理切片扫描仪NanoZoomer S360完成了其中国首秀。 滨松中国NanoZoomer新技术北京交流会S360具有“高速、高通量”的突出特点，一小时可完成82片切片的扫描，即一张切片（15mm*15mm）仅需30秒就可完成扫描。这也打破了其上一代产品XR保持的35秒/张的速度记录。且实现了20倍和40倍的扫描速度一致，即使在需求更高图片质量的40倍扫描时，也不需要更多的等待时间。此外其采用了转轮式的设置，共12组切片槽，每一组槽内可载入30片切片，一次性可装入360片切片。结合其高速扫描、高速数据传输的性能，在满载的情况下（360片），也只需4.5小时就能全部完成任务。即在一天的工作中，只需设置3次，最多可完成1080片切片的扫描！独立唯一的二维码也可实现对卡槽的管理，及数据分类。这对于有大量切片扫描需求的大型医院和第三方检测中心来讲，是十分便利的。软件方面，其可通过Focus score和rescan support来减轻繁重的图像检查工作。系统将智能的判断出需要检查和扫描失败的切片，进行明确提示和排列，并在切片中标记出需要检查的部分。整体的软件工作流程也十分简便，很大程度上可以提高扫描结果把控的效率。与会者也在会议现场进行了NanoZoomer S360的样机实操，体验了从硬件和软件两方面带来的全新切片扫描技术的风采。滨松NanoZoomer S360实操介绍会中，滨松技术人员还向与会者们介绍了滨松数字化组织学解决方案。滨松致力于在成像领域的新技术和新应用开发，除了在数字切片扫描仪的硬件性能上不断提升之外，还与国际领先的数字病理图像分析公司进行深度合作，帮助病理医生和科研工作者从病理图像中获得形态学之外的更丰富更客观的信息。滨松数字化组织学解决方案分享此外，针对用户们提出的常见问题，技术人员也为与会者们分享了扫描切片的常见问题解决办法，以及扫描的技巧。帮助用户更好地利用数字病理切片扫描仪。 会后，与会者们亦参观了滨松中国产品展厅，滨松的光电技术有着60余年的发展历史，一直以来都秉承通过不断淬炼基础技术，来促进应用的发展。在病理领域亦是如此，滨松也将继续发挥光电领域的技术优势，将数字病理扫描技术不断地带至更高的水平。与会者参观滨松中国产品展厅

飞纳台式扫描电镜以表面细节丰富的高质量的优质照片，15 秒钟快速抽真空，简单人性化的操作而著称。如果您需要快速得到扫描电镜样品测试结果，却又不得不排队等候测试，那么请您致电飞纳台式扫描电镜测试中心，专业的工程师将以最快的速度为您提供最真实的数据，详情请联系我们的客服人员咨询及预约测试。联系方式（许小姐）：邮箱：service@phenom-china.com电话：400 857 8882

扫描电镜作为一种高效、高灵敏度的分析工具，已广泛应用于各个领域。面对市场上琳琅满目的扫描电镜品牌和型号，如何挑选出最适合自己的产品成为许多用户和研究者的难题。为了帮助大家更好地了解和选择扫描电镜，我们特别推出了《扫描电镜排行榜》，通过综合分析各品牌产品的性能、功能、价格以及用户评价等多个方面，为您推荐市场上口碑良好、性能稳定的扫描电镜。希望这份排行榜能为您的实验室采购提供有力参考，助您在研究工作中取得更好的成果。钨灯丝扫描电子显微镜品牌型号：日本电子 | JSM-IT210价格：17万日本电子株式会社(JEOL)电话咨询留言咨询国仪量子场发射扫描电镜SEM5000品牌型号：国仪量子 | SEM5000价格：250万 - 300万国仪量子技术（合肥）股份有限公司电话咨询留言咨询Apreo 2超高分辨场发射扫描电镜品牌型号：赛默飞 | Apreo 2价格：300万 - 400万北京欧波同光学技术有限公司电话咨询留言咨询FusionScope多功能显微镜品牌型号：Quantum Design | FusionScope价格：面议QUANTUM量子科学仪器贸易（北京）有限公司电话咨询留言咨询纳克微束高分辨场发射扫描电镜SEM FE-1050系列品牌型号：纳克微束 | FE-1050系列价格：200万 - 500万纳克微束(北京)有限公司电话咨询留言咨询TESCAN MIRA 场发射扫描电镜品牌型号：泰思肯 | TESCAN MIRA价格：200万 - 250万泰思肯（中国）有限公司电话咨询留言咨询库赛姆（COXEM）EM-30+ 台式扫描电镜品牌型号：库赛姆 | EM-30 +价格：面议北京天耀科技有限公司电话咨询留言咨询TESCAN MAGNA 新一代超高分辨场发射扫描电镜品牌型号：泰思肯 | TESCAN MAGNA价格：300万 - 400万泰思肯（中国）有限公司电话咨询留言咨询屹东光学(Yidon Technologies)场发射扫描电子显微镜YF-1801品牌型号：屹东光学 | YF-1801价格：面议屹东光学技术(苏州)有限公司电话咨询留言咨询惠然科技高分辨广适配热场发射扫描电镜F6000—整机“风”系列品牌型号：惠然科技 | F6000价格：面议惠然科技有限公司电话咨询留言咨询

随着科学技术的日新月异，扫描电镜在多个领域的应用日益广泛。作为一种重要的分析设备，扫描电镜以其高效、准确的特性受到了广大科研工作者和实验室技术人员的青睐。为了满足市场需求，市场上涌现出了众多品牌和型号的扫描电镜，而如何从中挑选出性能优越、稳定可靠的设备成为了用户关注的焦点。在此背景下，我们特别推出了扫描电镜排行榜，旨在为用户提供一个权威、公正的参考依据。排行榜的评选不仅综合了仪器的技术性能、可靠性、售后服务等多个维度，还结合了市场上的用户反馈和行业专家的评价。我们相信，通过这份排行榜，用户能够更加清晰地了解各个品牌和型号扫描电镜的优劣势，从而作出更加明智的购买决策。我们期待着这份排行榜能够为广大用户带来实质性的帮助，并推动扫描电镜行业的持续发展和创新。同时，我们也欢迎广大用户提出宝贵的意见和建议，共同促进扫描电镜技术的进步和应用范围的拓展。钨灯丝扫描电子显微镜品牌型号：日本电子 | JSM-IT210价格：17万日本电子株式会社(JEOL)电话咨询留言咨询国仪量子场发射扫描电镜SEM5000品牌型号：国仪量子 | SEM5000价格：250万 - 300万国仪量子技术（合肥）股份有限公司电话咨询留言咨询Apreo 2超高分辨场发射扫描电镜品牌型号：赛默飞 | Apreo 2价格：300万 - 400万北京欧波同光学技术有限公司电话咨询留言咨询FusionScope多功能显微镜品牌型号：Quantum Design | FusionScope价格：面议QUANTUM量子科学仪器贸易（北京）有限公司电话咨询留言咨询纳克微束高分辨场发射扫描电镜SEM FE-1050系列品牌型号：纳克微束 | FE-1050系列价格：200万 - 500万纳克微束(北京)有限公司电话咨询留言咨询TESCAN MIRA 场发射扫描电镜品牌型号：泰思肯 | TESCAN MIRA价格：200万 - 250万泰思肯（中国）有限公司电话咨询留言咨询库赛姆（COXEM）EM-30+ 台式扫描电镜品牌型号：库赛姆 | EM-30 +价格：面议北京天耀科技有限公司电话咨询留言咨询TESCAN MAGNA 新一代超高分辨场发射扫描电镜品牌型号：泰思肯 | TESCAN MAGNA价格：300万 - 400万泰思肯（中国）有限公司电话咨询留言咨询屹东光学(Yidon Technologies)场发射扫描电子显微镜YF-1801品牌型号：屹东光学 | YF-1801价格：面议屹东光学技术(苏州)有限公司电话咨询留言咨询惠然科技高分辨广适配热场发射扫描电镜F6000—整机“风”系列品牌型号：惠然科技 | F6000价格：面议惠然科技有限公司电话咨询留言咨询

在当今的化学分析和实验室研究中，扫描电镜已成为一种至关重要的工具。扫描电镜以其高效、准确、灵敏的特点，为科研人员提供了强大的分析手段。本文将为您提供一份详尽的扫描电镜指南，从选型、性能评估到实际应用案例，旨在帮助您挑选出最适合自己实验室需求的扫描电镜。随后，我们将通过一些实际应用案例来展示扫描电镜在不同领域的应用。无论您是初学者还是专业人士，本文都将为您的采购决策提供有力的支持。通过阅读本文，您将能够更好地了解扫描电镜的选型、性能评估以及实际应用案例，从而挑选出最适合自己实验室需求的扫描电镜。钨灯丝扫描电子显微镜品牌型号：日本电子 | JSM-IT210价格：17万日本电子株式会社(JEOL)电话咨询留言咨询国仪量子场发射扫描电镜SEM5000品牌型号：国仪量子 | SEM5000价格：250万 - 300万国仪量子技术（合肥）股份有限公司电话咨询留言咨询Apreo 2超高分辨场发射扫描电镜品牌型号：赛默飞 | Apreo 2价格：300万 - 400万北京欧波同光学技术有限公司电话咨询留言咨询FusionScope多功能显微镜品牌型号：Quantum Design | FusionScope价格：面议QUANTUM量子科学仪器贸易（北京）有限公司电话咨询留言咨询纳克微束高分辨场发射扫描电镜SEM FE-1050系列品牌型号：纳克微束 | FE-1050系列价格：200万 - 500万纳克微束(北京)有限公司电话咨询留言咨询TESCAN MIRA 场发射扫描电镜品牌型号：泰思肯 | TESCAN MIRA价格：200万 - 250万泰思肯（中国）有限公司电话咨询留言咨询库赛姆（COXEM）EM-30+ 台式扫描电镜品牌型号：库赛姆 | EM-30 +价格：面议北京天耀科技有限公司电话咨询留言咨询TESCAN MAGNA 新一代超高分辨场发射扫描电镜品牌型号：泰思肯 | TESCAN MAGNA价格：300万 - 400万泰思肯（中国）有限公司电话咨询留言咨询屹东光学(Yidon Technologies)场发射扫描电子显微镜YF-1801品牌型号：屹东光学 | YF-1801价格：面议屹东光学技术(苏州)有限公司电话咨询留言咨询惠然科技高分辨广适配热场发射扫描电镜F6000—整机“风”系列品牌型号：惠然科技 | F6000价格：面议惠然科技有限公司电话咨询留言咨询

扫描电镜能谱技巧分享｜4种方法提高扫描电镜能谱的准确性能谱（EDS）结合扫描电镜使用，能进行材料微区元素种类与含量的分析。其工作原理是：各种元素具有自己的 X 射线特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量 E，能谱仪就是利用不同元素 X 射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。 能谱定量分析的准确性与样品的制样过程，样品的导电性，元素的含量以及元素的原子序数有关。因此，在定量分析的过程中既有一些原理上的误差（数据库及标准），我们无法消除，也有一些人为因素产生的误差（操作方法），这些因素都会导致能谱定量不准确。 飞纳能谱面扫01 根据衬度变化判断元素的富集程度 利用能谱分析能够根据衬度变化判断元素在不同位置的富集程度。 如图 1，我们获得了材料的背散射图像以及能谱面扫 Si 的分布图，其中 Si 含量为20.38%。在背散射图及面扫图中，可以看到不同区域衬度不同，这是不同区域 Si 含量不同造成的。我们选取了点 2-7，其点扫结果 Si 含量分别为 19.26%、36.37%、18.06%、1.54%、20.17%、35.57%。 这种通过衬度判断元素含量的方法在合金（通过含量进而推断合金中含有金相的种类，不同的金相含有的某种元素有固定的含量区间），地质（通过含量判断矿石等的种类）等行业有广泛的应用。 图1. 左图为材料背散射图及能谱点扫位置，右图为能谱面扫 Si 含量的分布 02 判断微量元素的分布 利用能谱，可以寻找极微量元素在材料中分布的具体位置，先通过面扫进行微量元素分布位置的判断，然后通过点扫确定。 如下图，左边为背散射图像，右边分别对应 Al、Cr、Fe、Mg、Si、Ca、Ti、P，它们的含量如表 1，通过能谱面扫描分析得到各元素含量，其中 P 的含量为 0.09%。 图2. 材料的背散射图及 Al、Cr、Fe、Mg、Si、Ca、Ti、P 元素的分布 表1. 图 2 中 Al、Cr、Fe、Mg、Si、Ca、Ti、P 元素含量 工程师对样品进行点扫确认，位置 7 是面扫结果P元素富集区，其各元素分布如表 2，这个位置的P含量高达 14.56%，局部含量比整体含量高 160 倍。 图3. 背散射图像及样品点扫位置 表2. 样品点扫位置 7 各元素的含量飞纳台式扫描电镜获得高质量面扫结果的原因1. 灯丝亮度决定能谱信号的强度，飞纳电镜采用 CeB6 灯丝，具有高亮度，可以获得高强度的能谱信号。 2. 采用新型 SDD 窗口材料 Si3N4，提高了穿透率，透过率由 30% 提高到 60%。比传统聚合物超薄窗透过率提高 35% 以上。 3. 采用 Cube 技术提高响应速度（计数率）并降低了噪音（分辨率提高），是国际上处理速度最高的能谱系统，解决了计数率与分辨率的冲突。 如图 4 所示，飞纳电镜能谱一体机可以获得更高计数率与更高分辨率的能谱结果。 图4. 飞纳能谱结果 飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 不需要液氮、制冷速度快、信号强度大、分辨率高、体积和重量小，真空密封性高，可以使用更少的能量获得更低的温度。尺寸更为紧凑，适用于不同环境需求。小技巧 - 如何提高能谱的准确性能谱使用前要校准保证样品平整保证分析区域均质、无污染保证样品导电性、导热性良好

小至手机和运动手环，大至各种电动汽车，锂离子电池都是其中的关键能源供给装置。锂离子电池重量轻，能量密度大，循环使用寿命长，且不会对环境造成污染。对于锂离子电池来说，电容量是衡量电池性能的重要指标之一。锂离子电池电极的材料主要有铝（正电极）和铜（负电极）。在充电和放电期间，电子转移发生在集流体和活性材料之间。当集流体和电极表面之间的活性材料电阻过大时，电子转移的效率降低，电容量就会减少。若集流体的金属箔的表面粗糙度过大，则会增加集流体和电极表面之间的活性材料电阻，并降低整体电容量。 集流体（左图：铝 右图：铜）如何进行锂电池负极集流体的铜箔粗糙度测定呢？ 奥林巴斯提供非接触式表面粗糙度测量的解决方案： Olympus LEXT 3D激光扫描显微镜 奥林巴斯 OLS5000 激光共焦显微镜使用奥林巴斯 OLS5000 激光共焦显微镜，能够通过非接触、非破坏的观察方式轻松实现3D 观察和测量。仅需按下“Start（开始）”按钮，用户就能在亚微米级进行精细的形貌测量。 锂电池负极集流体的铜箔粗糙度测定使用奥林巴斯 OLS5000 显微镜测量粗糙度时，用户会得到以下三种类型的信息：粗糙度数据，激光显微镜3D彩色图像和高度信息以及光学显微镜真实彩色图像。这让使用人直观的看到粗糙度数据。同时，使用人可以从数据中了解集流体表面的状态。通过观察这些图像，也可以观察到实际的表面形貌。产品优点与特点 非接触式：与接触式粗糙度仪不同，非接触式测量可确保在测量过程中不会损坏易损的铜箔。这有助于防止由于样品损坏而导致的数据错误。专用物镜：LEXT OLS5000使用专用的物镜，因此您可以获得在视场中心和周围区域均准确的数据。平面数据拼接：数据可以水平拼接，从而可以在大区域上采集数据。由于拼接区域的数据也非常准确，因此与传统的测量方法相比，可以更高的精度获取电池集流体的粗糙度数据。超长工作距离：载物台水平范围为300 mm×300 mm使您可以测量较大的样品，例如汽车电池中的集流体，也不需要制备样品就可以在显微镜下观察。OLS5000显微镜的扩展架可容纳高达210毫米的样品，而超长工作距离物镜能够测量深度达到25毫米的凹坑。在进行这两种测量时，您只需将样品放在载物台上即可。

韩国科学家开发出世界上首个超声波诱导激光扫描显微镜，该技术能够利用超声波临时产生的气泡对生物组织进行更深入、更详细的观察，有望促进生物科学研究以及临床实践的发展。相关研究发表于最新一期《自然光子学》杂志。US-OCM（ultrasound-induced optical clearing microscopy）可进行深度组织成像。图片来源：物理学家组织网光学成像和治疗技术广泛应用于生命科学研究和临床实践，但由于生物组织内存在光散射现象，使光传输率较低，导致组织深部的图像采集和处理存在固有的局限性，严重阻碍了其广泛使用。2017年，大邱庆北科学技术院电气工程与计算机科学系张金昊（音译）教授领导的团队提出了解决方案：使用通常在生物组织暴露于高强度超声波时观察到的微米大小的气泡。超声波暂时产生的气泡会导致与入射光传播方向相同的光散射，因此会增加光的穿透深度。基于这一原理，研究人员开发出一项技术，并开始着力扩大利用超声波诱导气泡产生的光学成像技术的应用范围。共焦荧光显微镜能有选择地检测在光焦平面上产生的荧光信号，并提供微型生物组织（如癌细胞）的高分辨率、高对比度图像，成为生命科学研究领域使用最广泛的设备。但由于组织内发生的光散射，当深度超过100微米时，光的焦点会变得模糊，严重限制共焦荧光显微镜的应用和有效性。为此，联合研究团队借助超声波技术，在活组织内有密集气泡（密度为90%或以上）的区域内创建一个气泡层，并在获取图像时保持产生的气泡。在这个气泡层中，光子的传播方向不会发生畸变。实验证明，即使在较深的生物组织中，也可以实现光聚焦。此外，通过将这项“超声诱导组织透明性”技术应用于共焦荧光显微镜，他们开发出首个超声波诱导光学清晰显微镜（US-OCM），其成像深度是传统共焦显微镜的6倍，且不会对生物组织造成任何损伤。张金昊表示：“本研究获得的新技术将应用于各种光学成像技术，包括多光子显微镜和光声显微镜，以及包括光热疗法和光动力疗法在内的几种光学疗法。

生物分类是研究生物的一种基本方法。生物分类主要是根据生物的相似程度（包括形态结构和生理功能等），把生物划分为种和属等不同的等级，并对每一类群的形态结构和生理功能等特征进行科学的描述，以弄清不同类群之间的亲缘关系和进化关系。了解生物的多样性，保护生物的多样性，都需要对生物进行分类。 聊城大学生命学院主要从事植物学和生态学的研究工作，专长于海洋线虫及地衣植被的分类和多样性研究。 物种分类的依据是生物在形态结构和生理功能等方面的特征，其中利用生物的形态分类是最直接、最快速和最常用的方法。线虫一般呈现透明状，可以利用光学显微镜观察虫体结构来进行分类，有时为了便于观察，往往需要对线虫进行染色。 由于光学显微镜分辨率的限制，虫体表面细节很难在光镜下观察清楚，给线虫分类带来了较大困难。扫描电镜具有较大的放大倍数和分辨率，可以对样品表面进行观察，生物类样品经过前期固定、脱水、喷金等处理后，可以放入电镜中进行观察。 飞纳台式扫描电镜具有操作简单、成像速度快、寻找样品视野方便等特点，受到客户的青睐。聊城大学的师生利用飞纳台式扫描电镜，可以通过观察线虫表面角质层的形态进行分类，环纹的粗细程度、侧区是否有网纹、侧区外是否有纵脊或纵线等特征都是重要分类依据。 同时线虫的头部、尾部结构，侧器、唇区形态也是分类的重要依据。飞纳台式扫描电镜能清晰地将这些结构展现在研究人员的面前，为线虫的分类和研究提供重要图像。利用扫描电镜观察叶片表面硅藻利用扫描电镜观察线虫的头部细节 通过飞纳中国工程师的培训，聊城大学的师生很快熟悉了飞纳台式扫描电镜的操作，切身体会到飞纳台式扫描电镜操作简单，成像速度快的特点，并且高分辨率的图像成为了他们重要的研究资料。