能谱分析

波谱分析和能谱分析都是用于功能型电子显微镜的元素分析。波谱分析和能谱分析均能进行微区分析，波谱分析发展较早，但进展不大；近年来能谱分析成为微区分析的主要手段。两种方法比较如下：1.通常的能谱仪对入射X射线的吸收无法探测到超轻元素的特征X射线，但近年老出现的单窗口轻元素探测器，可同波谱仪探测器一样探测范围从B（5）到U（92），甚至还可探测Be。2.能谱仪接受信号范围宽，需时短。3.波谱仪的几何收集效率和量子效率均低于能谱仪。4.能谱仪造价比波谱仪低，且操作简便。5.能谱仪检测器的分辨率较低，谱峰重叠严重，信噪比较差。6.能谱中存在失真，是分析误差的来源；波谱中失真较少。7.由于能谱仪的一些问题引起分析误差，导致数据处理的复杂性；波谱仪的数据处理相对比较简单。8.波谱仪和能谱仪的空间分辨率基本相同。9.波谱可精确的计算成份比例。价格相对能谱贵些。10能谱速度快，操作简单，可以很快的判断元素的成份。

[color=#333333]光谱分析和能谱分析有什么区别[/color]

能谱：牛津link工作距离：25mm工作电压：20KV样品：金标样分析结果：Elmt Element Atomic % % O K 33.76 86.22 Pt M 18.00 3.77 Au M 48.24 10.01 Total 100.00 100.00 样品：BaSO4标样分析结果：Elmt Element Atomic % % O K 81.07 96.01 S K 3.05 1.80 Ba L 15.88 2.19 Total 100.00 100.00 大家帮忙分析是怎么回事，最近做实验一直都是测出来的轻元素如：氧，碳等含量极高，而且能谱的计数率也很低，一般是200-300

在电子探针或扫描电子显微镜中进行微区分析可以采用两种方法：波谱分析或能谱分析。波谱分析发展较早，但近年来没有太大的进展；能谱分析虽然只有将近20 年的历史，但发展迅速，成为微区分析的主要手段。以下为两种方法的比较。　　（a）通常的能谱仪探测器采用8μm 厚的铍窗口，由于它对入射X 射线的吸收无法探测到超轻元素的特征X 射线，元素探测范围为Na （11）到U（92）。而波谱仪的探测范围为B （5）到U（92）。　　虽然能谱仪过去也曾采用过超薄窗口（UTW）或无窗探测器扩大元素探测范围，但由于种种原因实际上无法推广。近年来出现了一种单窗口轻元素探测器，可以探测B（5）到U（92）之间的元素，甚至还可探测Be。　　（b）波谱仪的瞬间接收范围约为5eV ，即在同一瞬间只能接收某一极窄的波长范围内的X射线信号。因此采集一个全谱往往需要几十分钟。在此期间要求整个系统的工作条件（加速电压、束流等）有较高的稳定度。因此波谱分析不能用于束流不稳定的系统（如冷场发射电子枪的系统）中。　　能谱仪在瞬间可以接收全部有效范围内的X 射线信号，亦即在一短时间内（例如1 秒）可接收成千上百个各种能量的X 射线光子。由于其随机性，所以对整个系统的稳定度无严格要求，而且采集一个谱通常只需1～2min 。　　（c）波谱仪的几何收集效率（接收信号的立体角）较低（0.2%），而且随X 射线的波长变化。量子效率（进入谱仪和被计数的X射线之比）也较低（ 30%）。为了增加接收到的信号强度，不得不加大束流，束斑也随之加大，因此当扫描电子显微镜观察高分辨图像时，或透射电镜中由于薄膜样品的X射线信号强度太低，均无法进行波谱分析。　　能谱仪的几何收集效率（ 2 %）高于波谱仪一个数量级，而且只要探测器的位置固定，几何效率即为常数。在2～16keV的能量范围内，量子效率接近于100％。因此当扫描电子显微镜观察高分辨率图像时，或在透射电子显微中都可进行能谱分析。　　由于能谱仪的几何效率和量子效率在一定条件下是常数，所以可以进行无标样定量分析，这是波谱仪所无能为力的。

想请教一下关于能谱分析的一些实际操作方面的问题：用能谱仪进行微区成分定量分析（FEI 扫描电镜及 EDAX能谱仪）时，取得谱图后标定元素的过程往往让我很郁闷，总是对自己分析得到的结果不是很确定。一般软件自动peak ID会选择比较典型的含量较高的元素进行标识，可是这里面会有一些小峰未被识别，而识别小峰的过程就非常纠结，峰很弱的时候可能出现两种情况：一种情况是无法准确确认到底是何种元素；另一种情况是确定了是某种元素，但是Quantify后得出的该元素的含量非常低，可能0.1%左右，这种情况下是否可以认为该微区中存在这种元素？还有一个问题是一般来讲，峰高达到多少应该被分析还是只要有高于背底的峰，就应该逐个分析呢？这些问题一直困扰这我，希望有经验朋友能帮忙给予指导，先谢谢啦。

在装机培训时，工程师说到，最佳的能谱分析WD为10mm，可是我实际操作过程中，随着我对焦在需要分析的表面上，WD就会发生改变，此时的WD显示就不等于10mm，那么这对分析有何影响，我需要怎样调节才能再最佳WD，准确的对焦下进行能谱分析，希望大家不吝赐教！

直读光谱能分析钨吗？如果能分析，用什么电极？

现在老是不明白，能谱分析出来没有自动标出的元素（含量在0.3左右），需不需要自己手动标出来？但是有的元素正常是不含的？标不标出来都很纠结！

在给镀金样品表面做能谱的时候，定性分析出来的结果代表样品的表面还是样品的内部还是表面、内部一起代表？

各位专家们你们好，我想问下EDS能谱分析，能够分析到样品表面多深的距离？？？？坐等

现在有0.004mm左右的硼颗粒，能用能谱分析吗？含量应该在20左右，前提是需要在一堆的颗粒中找到硼颗粒。有什么好办法吗？今天眼睛都累坏了也没啥进展。

能谱分析中，选择加速电压通常需要考虑如下因素：1，加速电压必须大于被测元素线系的临界激发能。比如：NiK线的临界激发能为7.47kV，加速电压通常为其2-3倍，即15-20kV较合适。2，需要有合适的过压比。如此可使试样中产生的X-ray有较高的强度，较高的峰背比。实验表明，过压比约为2.5倍时，X-ray强度最高。而过压比大于1时，才能激发出该特征x-ray。为了有效激发获得高峰值强度，过压比至少等于1.8.。如试样中元素较多，加速电压无法满足每个元素的过压比2.5倍要求，则尽可能保证加速电压超过大部分元素的临界激发能的1.5倍为好。3，未达到能谱分析的统计性要求，至少保证x-ray计数总量约25w。则加速电压的高低，会影响采集到25w计数的时间等参数4，空间分辨率。对于同种元素，加速电压越高，电子束穿透样品的深度、广度越大。则空间分辨率越差。而对于需要检测空间尺度较小的颗粒或薄膜时，设定低加速电压可有效提高分析的空间分辨率。但此时产生的xray产额较低，需要采集更长时间。且如不满足过压比要求，部分原子序数较高的元素的K线系难以激发。通常选择20kV的加速电压，因为此时可以激发周期表中所有可分析元素的x-ray，至少一条x-ray被激发，不会漏检元素。而对于小颗粒薄膜或束流敏感材料，需要选择低电压分析时，尽量选择7kV以上，因为在7kV下，即使不能激发出最强线（K线系）也可以将元素周期表中所有可分析元素的x-ray激发出来。也就是说，如果对样品不了解的话，最低选用7kV也可对样品做较准确的定性分析。而如果确信样品中仅有原子序数较低的元素，如si等，则可以选择5kV，也不需担心漏检。但是如果无需担心空间分辨率或样品损伤的问题，则对元素种类较多且含有原子序数较大元素的样品，尽量选择高加速电压，即能够激发出K线系。毕竟L线系或M线系多集中在轻能端，彼此重叠的可能性较高，误标的几率也较高。

一般离子刻蚀样品（离子清洗样品）所用的枪为氩离子枪。主要清洗样品表面的粘污物和深度剖析时刻蚀样品。在电子能谱分析中常用离子刻蚀样品

请问大家，做了透射电镜的EDS能谱分析，给了能谱的excel，横坐标是1-4000，如何自己作图画出横坐标为电压的图呢？

个人感觉这里高手比较多:)大家都来 回答下下面的问题吧。原子光谱分析法、电子能谱分析法、质谱分析法与二次离子质谱分析法各有何特点？给出典型图谱并分析从中可以得到哪些信息？[em09511]

大家好，去年在南大做了电镜实验，顺便做了能谱分析，对结果有些疑惑，盼望知道的帮忙解答。 元素 重量百分比 原子百分比 O K 62.88 78.95 Mg K 1.50 1.24 S 14.86 9.31 Cl 1.49 0.85 Ca 19.27 9.66 总量 100.00 那个元素为什么有两个写在一起的，如O和K,Mg和K，写在一起后面的百分比又怎么算呢？请知道的帮忙解答一下，谢谢。

直读光谱能分析中间合金吗？

现在我使用的扫描电镜是JSM-5600LV ，能谱是Link ISIS300.最近做定量分析出现问题，我们主要是分析硬质合金，现在钴含量不准，W和Co的质量百分比达到差不多是1：1，并且现在C含量打不出来了，Co的K峰也没有了，校标也不管用，不知道那位专家能指点！谢谢！

煤的中子瞬发伽玛能谱分析中国原子能科学研究院老科协孙汉城　　20世纪90年代初，我国某大型钢铁公司为正在建设中的京九铁路生产的一批钢轨，由于硫含量超标而全部退货，损失很大。因为硫含量超标的钢发脆，用在铁路上可能会造成重大事故。　　钢中硫含量为什么超标呢？问题出在进入炼焦炉的煤的质量上。煤中硫含量如果超过千分之一，所炼出的焦炭硫含量也就超标。用这样的焦炭炼出的钢也就不会合格了。　　要保证钢轨质量，就必须对炼焦所用煤的质量严格把关。　　煤中硫含量是可以用化学方法分析测定的。可惜，化学分析太慢，该钢铁公司每天炼焦所用煤要装500节火车厢运来。要对每节车厢的煤作化学分析，来不及。因此，大型钢铁企业很需要建立煤质快速分析方法。　　20世纪末，煤质快速分析方法在更大范围内提上了日程。环保要求，大型热电厂所用燃料煤中的硫含量要小于千分之五，否则城市空气中的二氧化硫含量就要超标。　　生活在北京市西南远郊区的人们不难发现，近几年来，每天晚上都有许多运煤大卡车在公路上迅跑。原来因为房山区磁家务煤矿产的煤含硫量极低，但发热量差些。将这样的煤与其他煤矿产的含硫量偏高的煤混合使用，就可达到含硫小于千分之五的环境保要求。　　北京每天空[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/bp][color=#3333ff]气质[/color][/url]量报告表明，近来三级(轻微污染)或使空[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/bp][color=#3333ff]气质[/color][/url]量更坏的罪魁祸首大多是“可吸入颗粒物”。二氧化硫含量经常是优良的一、二级，只有极少数日子才是三级。这其中就有发电厂用低硫煤的贡献。　　我国现有600多个市（包括县级市），其中大多数靠燃煤的热电厂供电。这些热电厂大多需要陆续安装煤质快速分析装置以达到环保要求。这是我国特有的国情，因为我国是燃煤大国。发达国家大多烧石油。　　发达国家的大型铝厂、大型水泥厂、钢厂等近年来用中子瞬发伽玛能谱仪在生产流水线上对原料的元素成分作在线分析以保证产品的质量，同时也可用于煤质分析。　　中子瞬发伽玛能谱仪由中子源、伽玛射线能谱仪、物料传送系统、射线屏蔽准直系统、控制与剂量安全系统等部分组成。其基本原理是，中子与物料中的各种元素的原子核作用，使原子核处于激发状态。这些激发态的寿命很短，即刻发射出特征伽玛射线。不同类的原子核发出来不同能量的伽玛射线。特征伽玛射线的强度与物料中该种原子核的含量成正比。这与光谱分析相仿，不同元素的原子发射出不同能量（波长）的光。两者差别只是发出光子的能量不同，光谱分析的可见光子能量只有几电了伏，而伽玛光子的能量是兆电子伏左右。再就是激发方式不同，光谱分析的激发源是加热燃烧，伽玛能谱分析的激发源是中子。　　为什么用中子去轰击物质呢？因为物料是大块物质，用中子才能穿透到大块物质的深部。　　瞬发伽玛能谱分析所用中子源有二类。一是锎-252自发裂变源。锎-252是人造的，原子序数高达98。它会自动分裂成两个较轻的原子核，同时放出3个中子。它的半衰期是2.64年，即10000个锎-252原子核经2.64年后就只剩5000个了。锎自发裂变中子的平均能量是2.4兆电子伏。另一类是中子管。中子管是小型的真空密封式加速器。由一个质子与一个中子组成的氘原子核加速到10万电子伏左右，打到由一个质子与二个中子组成的氚原子核上。氘氚核反应变成一个中子与一个氦核。中子的能量是14兆电子伏。　　锎源发出的中子与煤中各种原子核碰撞后损失能量（这一过程叫做慢化），很快就成为能量只有0.0253电子伏左右的热中子。所谓“热” 中子，就是其速度与周围物质的气体分子运动速度平衡的中子。室温时，其速度是2200米/秒。热中子在物质中扩散，然后被某原子核俘获吸收。中子从产生到被吸收的时间一般是数百毫秒。热中子被原子核吸收后立刻又发射出特征伽玛射线。这种伽玛射线叫做俘获伽玛射线，打到伽玛谱仪的探测器上就被记录下来。从中子的产生到俘获伽玛射线的产生不到1秒的时间，所以叫做“瞬发伽玛”。　　锎源的中子能量不高，较易屏蔽，而且运行维护简单。用锎源的瞬发伽玛分析装置可以测得煤中的硫含量与灰分含量。关于灰分，仪器直接测得的是钙、硅、镁、铁等元素的含量，再按其各自的氧化物计算，即得到灰分含量，因为灰分就是这些氧化物的总和。　　由于氧和碳的热中子俘获概率极低，用此方法测不到煤中氧和碳的总量。氢的热中子俘获概率较高，容易测到其俘获伽玛（2.2兆电子伏），但由于通常用石蜡、聚乙烯或水作屏蔽物质，周围物质产生的氢俘获伽玛本底太强，很难测准煤中氢的贡献，因而得不到煤中的水含量。要测水含量还要加别的装置。　　近年来开展起来用用中子管作源的瞬发伽玛谱仪系统，除了利用中子慢化后产生的俘获伽玛测定硫和灰分含量以外，还可以直接测得煤中碳与氧的总量，因为14兆电子伏的快中子可以与碳和氧核发生非弹性碰撞，使碳和氧核分别激发到4.43与6.13兆电子伏的激发态，并迅速退激发到基态而发射出4.43与6.13兆电子伏的特征伽玛射线。总碳量决定了煤的发热量，而总氧量减去灰分中的氧量就是煤中水的含氧量，由此可以得到煤中含水量。　　用中子管比之用锎源的优点是可以得到煤质的更全面的数据。缺点是14兆电子伏的中子的屏蔽准直装置比较庞大，运行维护复杂，所用中子管必需是长寿命的优质品，所用探测器也需有较强的抗辐照损伤的能力。　　我国南京某单位于20世纪90年代中期，与国外同期独立开发了用锎源的瞬发伽玛能谱分析系统，分析钢厂的煤，对硫含量与灰分含量的测定达到了使用要求，但未能完成煤中水分测定。　　20世纪90年代后期至今，南京另一单位进行了电厂用煤的中子管瞬发伽玛分析系统开发研究，并在此基础上与法国某公司合作开发研究，并在此基础上与法国某公司合作开发实用装置。　　21世纪初，长春某单位又用其自制中子管开发出电厂用煤的瞬发伽玛分析系统，正在电厂试用。　　由当前市场需求推动的中子瞬发伽玛能谱分析装置必将在我国生根、开花，结出丰硕成果，为经济建设和环保作出应用的贡献。

谁有GB/T 2012 微束分析 能谱法定量分析的标准，分享一下谢谢！

最近实验室在搞实验室认可，扫描电镜能谱分析如果按标准来样品需要抛光，请问大家是用的什么类型的抛光机，能否告知型号，规格，谢谢

煤的中子瞬发伽玛能谱分析 　　20世纪90年代初，我国某大型钢铁公司为正在建设中的京九铁路生产的一批钢轨，由于硫含量超标而全部退货，损失很大。因为硫含量超标的钢发脆，用在铁路上可能会造成重大事故。　　钢中硫含量为什么超标呢？问题出在进入炼焦炉的煤的质量上。煤中硫含量如果超过千分之一，所炼出的焦炭硫含量也就超标。用这样的焦炭炼出的钢也就不会合格了。　　要保证钢轨质量，就必须对炼焦所用煤的质量严格把关。　　煤中硫含量是可以用化学方法分析测定的。可惜，化学分析太慢，该钢铁公司每天炼焦所用煤要装500节火车厢运来。要对每节车厢的煤作化学分析，来不及。因此，大型钢铁企业很需要建立煤质快速分析方法。　　20世纪末，煤质快速分析方法在更大范围内提上了日程。环保要求，大型热电厂所用燃料煤中的硫含量要小于千分之五，否则城市空气中的二氧化硫含量就要超标。　　生活在北京市西南远郊区的人们不难发现，近几年来，每天晚上都有许多运煤大卡车在公路上迅跑。原来因为房山区磁家务煤矿产的煤含硫量极低，但发热量差些。将这样的煤与其他煤矿产的含硫量偏高的煤混合使用，就可达到含硫小于千分之五的环境保要求。　　北京每天空[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/bp][color=#3333ff]气质[/color][/url]量报告表明，近来三级(轻微污染)或使空[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/bp][color=#3333ff]气质[/color][/url]量更坏的罪魁祸首大多是“可吸入颗粒物”。二氧化硫含量经常是优良的一、二级，只有极少数日子才是三级。这其中就有发电厂用低硫煤的贡献。　　我国现有600多个市（包括县级市），其中大多数靠燃煤的热电厂供电。这些热电厂大多需要陆续安装煤质快速分析装置以达到环保要求。这是我国特有的国情，因为我国是燃煤大国。发达国家大多烧石油。　　发达国家的大型铝厂、大型水泥厂、钢厂等近年来用中子瞬发伽玛能谱仪在生产流水线上对原料的元素成分作在线分析以保证产品的质量，同时也可用于煤质分析。　　中子瞬发伽玛能谱仪由中子源、伽玛射线能谱仪、物料传送系统、射线屏蔽准直系统、控制与剂量安全系统等部分组成。其基本原理是，中子与物料中的各种元素的原子核作用，使原子核处于激发状态。这些激发态的寿命很短，即刻发射出特征伽玛射线。不同类的原子核发出来不同能量的伽玛射线。特征伽玛射线的强度与物料中该种原子核的含量成正比。这与光谱分析相仿，不同元素的原子发射出不同能量（波长）的光。两者差别只是发出光子的能量不同，光谱分析的可见光子能量只有几电了伏，而伽玛光子的能量是兆电子伏左右。再就是激发方式不同，光谱分析的激发源是加热燃烧，伽玛能谱分析的激发源是中子。　　为什么用中子去轰击物质呢？因为物料是大块物质，用中子才能穿透到大块物质的深部。　　瞬发伽玛能谱分析所用中子源有二类。一是锎-252自发裂变源。锎-252是人造的，原子序数高达98。它会自动分裂成两个较轻的原子核，同时放出3个中子。它的半衰期是2.64年，即10000个锎-252原子核经2.64年后就只剩5000个了。锎自发裂变中子的平均能量是2.4兆电子伏。另一类是中子管。中子管是小型的真空密封式加速器。由一个质子与一个中子组成的氘原子核加速到10万电子伏左右，打到由一个质子与二个中子组成的氚原子核上。氘氚核反应变成一个中子与一个氦核。中子的能量是14兆电子伏。　　锎源发出的中子与煤中各种原子核碰撞后损失能量（这一过程叫做慢化），很快就成为能量只有0.0253电子伏左右的热中子。所谓“热” 中子，就是其速度与周围物质的气体分子运动速度平衡的中子。室温时，其速度是2200米/秒。热中子在物质中扩散，然后被某原子核俘获吸收。中子从产生到被吸收的时间一般是数百毫秒。热中子被原子核吸收后立刻又发射出特征伽玛射线。这种伽玛射线叫做俘获伽玛射线，打到伽玛谱仪的探测器上就被记录下来。从中子的产生到俘获伽玛射线的产生不到1秒的时间，所以叫做“瞬发伽玛”。　　锎源的中子能量不高，较易屏蔽，而且运行维护简单。用锎源的瞬发伽玛分析装置可以测得煤中的硫含量与灰分含量。关于灰分，仪器直接测得的是钙、硅、镁、铁等元素的含量，再按其各自的氧化物计算，即得到灰分含量，因为灰分就是这些氧化物的总和。　　由于氧和碳的热中子俘获概率极低，用此方法测不到煤中氧和碳的总量。氢的热中子俘获概率较高，容易测到其俘获伽玛（2.2兆电子伏），但由于通常用石蜡、聚乙烯或水作屏蔽物质，周围物质产生的氢俘获伽玛本底太强，很难测准煤中氢的贡献，因而得不到煤中的水含量。要测水含量还要加别的装置。　　近年来开展起来用用中子管作源的瞬发伽玛谱仪系统，除了利用中子慢化后产生的俘获伽玛测定硫和灰分含量以外，还可以直接测得煤中碳与氧的总量，因为14兆电子伏的快中子可以与碳和氧核发生非弹性碰撞，使碳和氧核分别激发到4.43与6.13兆电子伏的激发态，并迅速退激发到基态而发射出4.43与6.13兆电子伏的特征伽玛射线。总碳量决定了煤的发热量，而总氧量减去灰分中的氧量就是煤中水的含氧量，由此可以得到煤中含水量。　　用中子管比之用锎源的优点是可以得到煤质的更全面的数据。缺点是14兆电子伏的中子的屏蔽准直装置比较庞大，运行维护复杂，所用中子管必需是长寿命的优质品，所用探测器也需有较强的抗辐照损伤的能力。　　我国南京某单位于20世纪90年代中期，与国外同期独立开发了用锎源的瞬发伽玛能谱分析系统，分析钢厂的煤，对硫含量与灰分含量的测定达到了使用要求，但未能完成煤中水分测定。　　20世纪90年代后期至今，南京另一单位进行了电厂用煤的中子管瞬发伽玛分析系统开发研究，并在此基础上与法国某公司合作开发研究，并在此基础上与法国某公司合作开发实用装置。　　21世纪初，长春某单位又用其自制中子管开发出电厂用煤的瞬发伽玛分析系统，正在电厂试用。　　由当前市场需求推动的中子瞬发伽玛能谱分析装置必将在我国生根、开花，结出丰硕成果，为经济建设和环保作出应用的贡献。

请各位帮帮忙提供一些能谱使用说明及谱图分析方法

使用能谱仪，我们可以分析一些元素的氧化物，在定量计算中不可避免的要选择不同价态的氧化物，那么我们选择要分析的氧化物时该如何选择呢？（如果是在对所测物体成份不是很了解的情况下）。还有，能谱仪除了分析氧化物以外，对其他的化合物分析是怎么样的？还有，定量计算中归一化是怎么回事，我看可以选100% 和 95% 90%.....这有什么作用？ 重量百分比 WT.% 与 原子百分比 Atom%，对分析氧化物或其它化合物时有什么指导作用？请高人帮帮忙！ 谢谢了！~

教材里说发射光谱可分析约70种元素，目前直读光谱实际能分析多少个元素？

哪里可以承接玻璃缺陷的能谱分析，请联系。http://simg.instrument.com.cn/bbs/images/brow/em09506.gif