专为光刻机配套开发的高精度测量系统;通过国家重大专项“极大规模集成电路制造技术及成套工艺”项目验收。采用直接输出线偏振光的双频激光器;非线性高精密测量系统,测量更精准;可提供1~20MHz频差内任意频差产品,满足各种测量速度需要。光源和测量信号接收单元分体式设计,方便搭建XY位移台等多轴测量系统;精巧的测量信号光纤接收头,即使空间狭小也能方便安装;标准光刻机干涉仪安装尺寸和数据接口,可直接替换现有产品。型号频差(MHz)最小出光功率(μW)光斑尺寸(mm)稳频精度(ppm)LH1000A1.5±0.55006±0.02LH1000B2.5±0.5 5006±0.02LH1000C3.5±0.5 5003, 6, 9±0.02LH1000D4.5±0.55006, 9±0.02LH1000DL5.5±0.5 5006, 9±0.02LH1000EL6.5±0.55006±0.02LH1000FL7.5±0.55006, 9±0.02LH1000GL8.5±0.5 5009±0.02LH1000H9.5±0.5 5003, 6, 9±0.02LH1000I10.0-20.0(按需定制) 5003, 6, 9±0.02
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